Betriebsanleitung


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Betriebsanleitung | Manualzz

Betriebsanleitung

XDS-Trockenpumpe

A726-01-882

Ausgabe M, Übersetzung

A72X-YY-ZZZ

Pumpenmodell Typ Variante

X YY

6 = XDS10

4 = XDS5

01 bis 99

Motorbeschreibung

ZZZ

903 = Spannung 220 - 240V, 50/60 Hz, einphasig

904 = Spannung 100/200 V, 50 Hz, einphasig

100/200 - 210 V, 60 Hz, einphasig

905 = Spannung 200 - 230/380 - 460V, 50/60 Hz, dreiphasig

906 = Spannung 110 - 120V, 50/60 Hz, einphasig

Konformitätserklärung

Wir, Edwards

Crawley Business Quarter,

Manor

Crawley,

West Sussex, RH10 9LW, UK erklärt in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Rechtsperson gemäß der Autorisierung durch die EU zur

Erstellung des technischen Dokuments, dass die Produkte

A72X – YY – ZZZ

X YY

4 = XDS5

6 = XDS10

01 bis 99 903 = Spannung festgelegt auf 220 bis 240 V, 50 Hz,

230 bis 240 V, 60 Hz, einphasig

904 = Spannung festgelegt auf 100/200 V, 50 Hz,

100/200 bis 210 V, 60 Hz, einphasig

905 = Spannung festgelegt auf 200 bis 230/380 bis 460 V,

50/60 Hz, dreiphasig

906 = Spannung festgelegt auf 110 V, 50 Hz, 115 bis 120 V,

60 Hz, einphasig auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, folgenden Normen oder anderen normativen Dokumenten entsprechen:

EN1012-2:1996, A1: 2009

EN60034-1: 2010

C22.2 61010-1-04: 2004

UL61010-1, 2. Auflage

EN13463-1: 2009

Kompressoren und Vakuumpumpen. Sicherheitsanforderungen. Vakuumpumpen

Drehende elektrische Maschinen. Bemessung und Betriebsverhalten

Sicherheitsanforderungen an elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte – Teil 1: Allgemeine Anforderungen

Sicherheitsanforderungen an elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und

Laborgeräte – Teil 1: Allgemeine Anforderungen

Nicht-elektrische Geräte für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen.

Grundlagen und Anforderungen

EN13463-5: 2003

EN50581: 2012

Nicht-elektrische Geräte für den Einsatz in explosionsgefährdeten Bereichen.

Grundlagen und Anforderungen

Technische Dokumentation zur Beurteilung elektrischer und elektronischer

Geräte hinsichtlich der Beschränkung der Verwendung bestimmter

Gefahrenstoffe und erfüllt die entsprechenden Bestimmungen gemäß

2006/42/EG Sicherheitsrichtlinie Maschinen

2006/95/EG Niederspannungsrichtlinie

2004/108/EG

94/9/EG

2011/65/EU*

Richtlinie zur elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV-Richtlinie)

ATEX-Richtlinie zum Gebrauch bei zündfähiger Luft

Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung gefährlicher Stoffe

(RoHS-Richtlinie)

* z. B. enthält das Produkt in homogenem Material (mit den in der Richtlinie aufgeführten Ausnahmen) weniger als 0,1 % Gewichtsanteil sechswertiges Chrom, Blei, Quecksilber, PBB und PBDE sowie weniger als 0,01 %

Gewichtsanteil Cadmium. Die RoHS-Richtlinie ist für industrielle Vakuumausrüstung bis Juli 2019 (Juli 2017 für

Instrumente) nicht rechtlich bindend.

Hinweis: Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Datum der Unterzeichnung dieser

Erklärung.

18.10.2013, Hill

Peter Meares

GV Technical Support Manager

Ort und Datum

Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO900:2008 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.

Dokumentvorlage: 02B01010 Anlage 4, Ausg. 1

A726-01-882 Ausgabe M, Übersetzung

Inhaltsverzeichnis

Abschnitt

3.6.2

3.6.3

3.7

3.7.1

3.7.2

3.7.3

3.8

3.9

3.1

3.2

3.3

3.4

3.5

3.6

3.6.1

4

2.1

2.2

2.2.1

2.2.2

2.3

2.3.1

2.3.2

2.4

2.4.1

2.4.2

2.5

3

4.1

4.2

4.3

4.3.1

4.3.2

4.4

1

1.1

1.2

1.3

1.4

1.5

1.6

2

Seite

Einleitung .......................................................................................... 1

Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1

Auswirkungen der ATEX-Richtlinie .................................................................................... 2

Beschreibung ............................................................................................................. 4

Gasballastregler .......................................................................................................... 4

Bauweise .................................................................................................................. 4

CSA-Produktklassifikation .............................................................................................. 5

Technische Daten ................................................................................. 7

Betriebs- und Lagerbedingungen ...................................................................................... 7

Leistung ................................................................................................................... 7

Allgemeines ............................................................................................................... 7

Leistungskennwerte ..................................................................................................... 8

Mechanische Daten .....................................................................................................10

Allgemeines .............................................................................................................. 10

Geräusch- und Schwingungsdaten ....................................................................................10

Elektrische Daten .......................................................................................................10

Einphasige Pumpen .....................................................................................................10

Dreiphasige Pumpen ....................................................................................................10

Gesetzgebung und Normen ............................................................................................11

Einbau ............................................................................................ 13

Sicherheitshinweise ....................................................................................................13

Erwägungen bei der Anlagenkonstruktion ...........................................................................13

Auspacken und Überprüfen ............................................................................................13

Heben der Pumpe .......................................................................................................14

Aufstellen der Pumpe ..................................................................................................14

Elektroinstallation: Einphasige Pumpen .............................................................................14

Prüfung und Konfiguration des Motors ...............................................................................14

Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung .....................................................................15

Drehrichtung prüfen ....................................................................................................15

Elektroinstallation: Dreiphasige Pumpen ...........................................................................17

Prüfung und Konfiguration des Motors ...............................................................................17

Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung .....................................................................17

Drehrichtung prüfen ....................................................................................................18

Einlass- und Auslassstutzen ...........................................................................................18

Dichtigkeitsprüfung des Systems .....................................................................................19

Betrieb ........................................................................................... 21

Gasballastregler (falls installiert) ....................................................................................21

Betriebsbeginn ..........................................................................................................21

Erzielen des Endvakuums (mit installiertem Gasballast) .........................................................22

Bereits im Betrieb befindliche Pumpen .............................................................................22

Neue, soeben gewartete/aufbereitete oder längere Zeit gelagerte Pumpen .................................22

Pumpen kondensierbarer Dämpfe (mit installiertem Gasballast) ...............................................22

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Seite i

A726-01-882 Ausgabe M, Übersetzung

5.5

5.6

5.7

5.8

5.1

5.2

5.3

5.4

5.8.1

5.8.2

5.8.3

5.8.4

5.8.5

6

4.5

4.5.1

4.5.2

4.5.3

4.6

5

6.1

6.2

7

7.1

7.2

7.3

7.3.1

7.3.2

7.3.3

7.3.4

7.3.5

Auswirkungen der ATEX-Richtlinie ...................................................................................22

Einleitung ................................................................................................................22

Entflammbare/luftentzündliche Stoffe .............................................................................22

Gasspülung ............................................................................................................... 23

Stilllegung ................................................................................................................ 23

Wartung und Instandhaltung .................................................................. 25

Sicherheitshinweise ....................................................................................................25

Wartungsplan ............................................................................................................26

Einlassfilter kontrollieren und reinigen .............................................................................26

Gasballastregler (falls installiert) kontrollieren und reinigen ...................................................27

Außengebläseabdeckung reinigen ....................................................................................27

Die Tip Seals und das Auslassventil erneuern ......................................................................28

Motorzustand prüfen ...................................................................................................28

Störungssuche ...........................................................................................................28

Die Pumpe läuft nicht an ..............................................................................................28

Die Pumpe erreicht die erforderliche Leistung nicht .............................................................28

Die Pumpe ist laut ......................................................................................................28

Die Oberflächentemperatur der Pumpe ist über 100 °C ..........................................................29

Die Saugleistung ist schwach ..........................................................................................29

Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 31

Lagerung .................................................................................................................31

Entsorgung ...............................................................................................................31

Ersatzteile und Zubehör ....................................................................... 33

Einleitung ................................................................................................................33

Ersatzteile ...............................................................................................................33

Zubehör ..................................................................................................................33

Magnetventil ............................................................................................................. 33

Gasballastadapter (nicht für 05-Ausführungen) ....................................................................33

Schwingungsabsorber ...................................................................................................33

Auspuffadapter ..........................................................................................................34

XDS-Schalldämpfer .....................................................................................................34

Index .............................................................................................. 35

Vor der Rücksendung von Produkten füllen Sie bitte die am Ende dieses Handbuchs befindlichen

HS-Formulare aus.

Abbildungen

6

7

4

5

8

9

1

2

3

Abbildung Seite

Die einphasige XDS-Trockenpumpe ................................................................................... 3

Leistungskennwerte ..................................................................................................... 8

Abmessungen ............................................................................................................. 9

Elektrische Schnittstelle: Einphasige Pumpen ......................................................................14

Unterseite der Pumpe ..................................................................................................16

Dreiphasige Anschlüsse: 200 bis 230 V ...............................................................................16

Dreiphasige Anschlüsse: 380 bis 460 V ...............................................................................16

Baugruppe Einlassfilter ................................................................................................26

Baugruppe Gasballastregler ...........................................................................................27

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Tabellen

6

7

4

5

8

9

1

2

3

Tabelle Seite

Allgemeine Kennwerte .................................................................................................. 7

Leistungskennwerte ..................................................................................................... 8

Abmessungen (mm) ...................................................................................................... 9

Elektrische Daten (einphasige Pumpen mit Artikelnummer -903 oder-906) ...................................11

Elektrische Daten (einphasige Pumpen mit Artikelnummer -904) ...............................................11

Elektrische Daten (dreiphasige Pumpen mit Artikelnummer -905) ..............................................11

Farbcodierung der Drähte .............................................................................................15

Wartungsplan ............................................................................................................26

Magnetventil .............................................................................................................33

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1 Einleitung

1.1

Umfang und Definitionen

Dieses Handbuch enthält Anweisungen zum Einbau, Betrieb und zur Wartung der Edwards XDS5 und XDS10 trocken verdichtenden Pumpen. Verwenden Sie die XDS-Pumpe ausschließlich gemäß den Anweisungen in diesem Handbuch.

Vor dem Einbau und Betrieb der XDS-Pumpe ist dieses Handbuch zu lesen.

Wichtige Sicherheitshinweise sind unter WARNUNG bzw. VORSICHT hervorgehoben. Diese sind unbedingt einzuhalten.

WARNUNGEN und VORSICHTSHINWEISE sind wie folgt definiert.

WARNUNG

Mit WARNUNG werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt zu befolgen sind, um Personenschäden (Tod oder Verletzung) zu vermeiden.

VORSICHT

Mit VORSICHT werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt zu befolgen sind, um Sachschäden

(an Geräten, Zubehörteilen und/oder Fehler im Gesamtprozess) zu vermeiden.

In diesem Handbuch werden die Nummern von Seiten, Abbildungen und Tabellen aufeinanderfolgend angegeben.

Die folgenden IEC-Warnsymbole befinden sich an der Pumpe:

Warnung - siehe Begleitdokumentation.

Warnung - Gefahr eines Stromschlags.

Warnung - heiße Oberflächen.

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1.2

Auswirkungen der ATEX-Richtlinie

z

Dieses Gerät erfüllt die Anforderungen der Gerätegruppe II Kategorie 3 der Richtlinie 94/9/EG des

Europäischen Parlaments und des Rates vom 23. März 1994 zur Angleichung der Rechtsvorschriften der

Mitgliedsstaaten für Geräte und Schutzsysteme zur bestimmungsgemäßen Verwendung in explosionsgefährdeten Bereichen (ATEX-Richtlinie).

Die ATEX-Kategorie 3 gilt für potenzielle Zündquellen im Inneren des Gerätes. Es wurde keine ATEX-Kategorie für potenzielle Zündquellen außerhalb des Gerätes zugeordnet, da dieses Gerät nicht zum Einsatz in einer externen, potenzielle explosions-gefährlichen Atmosphäre geeignet ist.

z

Im normalen Betrieb befindet sich keine potenzielle Zündquelle im Innern der Pumpe; im Falle vorhersehbarer bzw. seltener Funktionsstörungen können sich jedoch potenzielle Zündquellen, wie in der

Richtlinie definiert, entwickeln. Obwohl die Pumpe zum Pumpen entflammbarer Werkstoffe und Mischungen geeignet ist, sollten die Arbeitsabläufe deshalb gewährleisten, dass unter allen normalen und vorhersehbaren Bedingungen die Werkstoffe und Mischungen außerhalb der Explosionsgrenze liegen.

Kategorie 3 gilt als geeignet, um eine Entzündung zu vermeiden für den unwahrscheinlichen Fall, dass eine

Funktionsstörung entflammbare Werkstoffe oder Mischungen durch die Pumpe laufen lässt, während die

Materialien innerhalb ihrer Explosionsgrenzen liegen.

Enthält das Gerät entzündliche Stoffe, ist unbedingt Folgendes zu beachten: z

Lassen Sie keine Luft in das Gerät eindringen.

z

Vergewissern Sie sich, dass das System dicht ist.

Nähere Informationen erhalten Sie von Edwards: Angaben zur nächst gelegenen Niederlassung von Edwards finden Sie auf der Rückseite dieses Handbuchs.

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Abbildung 1 - Die einphasige XDS-Trockenpumpe

1. NW25 Ansaugstutzen

2. Gasballastregler (an 05-

Ausführung nicht installiert)

3. Kühlgebläse

4. DN25NW/3/4" BSP Auslass

5. Grundplatte

6. Netzspannungswähler

7. Ein-/Ausschalter

8. Betriebsstundenzähler

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1.3

Beschreibung

Die XDS-Pumpe ist in Abbildung 1

. dargestellt. In der nachstehenden Beschreibung sind die Positionsnummern in

Abbildung 1 in Klammern angeführt.

Die XDS-Pumpe ist eine kompakte und zuverlässige Vakuumpumpe mit hoher Wasserdampfverträglichkeit. Sie ist eingeschränkt auch zum Fördern korrosiver Gase geeignet; nähere Informationen zum Pumpen entflammbarer

Gase finden Sie in Abschnitt 4.5

; sie können Sich auch an Edwards wenden, um Rat einzuholen.

Der Pumpenkörper besteht aus einer feststehenden und einer oszillierenden Spirale. Der Antrieb erfolgt über den

Elektromotor über eine Exzenternocke an der Motorantriebswelle. Die ineinandergreifende Bewegung der Spiralen bildet fortlaufende, sichelförmige Hohlräume. Das durch den Ansaugstutzen in die Pumpe eintretende Gas wird durch die bewegte Spirale verdichtet und in die Mitte der Festspirale befördert. Das Druckgas entweicht durch die

Auslassöffnung nahe der Mitte der Festspirale und wird durch den Auspuff aus der Pumpe abgelassen.

Die XDS ist eine trocken verdichtende Vakuumpumpe, da alle Lager und deren Schmierstoff vom Vakuumraum getrennt sind.

Der Pumpmechanismus wird direkt über einen einphasigen Drehstrom-Elektromotor getrieben. Der Motor ist mit einem Ein-/Ausschalter (7) und einem Thermoschutz ausgestattet. Der Thermoschutz ist mit einer automatischen

Rückstellung versehen; nach dem Abkühlen wird das Gerät zurückgestellt und der Motor startet wieder (es sei denn,

Sie haben eine Steuerung eingebaut, die von Hand zurückgestellt werden muss.)

Die Luftkühlung der Pumpe erfolgt über ein Gebläse, das gegenüber dem Motor angebracht ist.

Die Pumpe ist auf einer Grundplatte auf Gummifüßen montiert. Abschnitt 7

enthält Angaben über geeignete

Schwingungsabsorber und sonstiges Zubehör.

1.4

Gasballastregler

Bei Fördergut mit hohem Dampfgehalt wird Gasballast in die Pumpe befördert, um eine Kondensierung des mitgeförderten Dampfes zu verhindern.

Im Feinvakuumbereich kann Luft über das Gasballastventil (an 05-Ausführung nicht installiert) eingeführt werden.

Wahlweise kann ein inertes Gas, wie z.B. Stickstoff, über ein geeignetes Außenventil zugeführt werden.

Der Gasballastregler hat drei Stellungen: z z geschlossen (Stellung ,0‘) niedriger Durchfluss (Stellung ,I‘) z hoher Durchfluss (Stellung ,II‘)

1.5

Bauweise

Die Pumpenspiralen sind aus eloxiertem Aluminium gefertigt; das Motorgehäuse besteht ausschließlich aus

Aluminium. Die Pumpenflächen, die dem gepumpten Gas ausgesetzt sind, enthalten kein Kupfer, Zink oder Kadmium.

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1.6

CSA-Produktklassifikation

Schutzart vor Stromschlag

Versorgungsspannung

Betriebsart

Explosionsschutz

Schutz vor Eindringen von Flüssigkeiten

Installationskategorie

Verschmutzungsgrad

Mobilitätsgrad

Klasse 1

110-120V, 50/60 Hz oder 220-240V, 50/60 Hz

Kontinuierlich

Nicht geschützt

Nicht geschützt (IPXO)

II

2

Tragbar (tischmontiert)

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2 Technische Daten

2.1

Betriebs- und Lagerbedingungen

Umgebungstemperatur:

Betrieb

Lagerung

10 bis 40 °C

-30 bis 70 °C

Oberflächentemperatur der Pumpe bei Vollbetrieb in der Regel 45 °C über Umgebungstemperatur

Maximale Luftfeuchtigkeit (in Betrieb) 90 %

Einsatz in Höhen bis zu 2000 m

2.2

Leistung

2.2.1

Allgemeines

Tabelle 1 enthält die allgemeinen Kennwerte der Pumpen: Verdrängung, Pumpleistung sowie maximal zulässige

Drücke an den Ein- und Auslässen.

Der Druckanstieg beim Ausschalten der Pumpe beträgt in der Regel 30 mbar ls

-1

(Leckdichtigkeit: 1 x 10

-6

mbar ls

-1

).

Tabelle 1 - Allgemeine Kennwerte

XDS 10 XDS 5

Maximale Verdrängung (m

3

/hr)

50 Hz Leistung

60 Hz Leistung

Maximale Pumpleistung (m

3

Pneurop 6602 (1979)

/hr)

50 Hz Leistung

60 Hz Leistung

Maximal zulässiger Einlassdruck und

Gasballasteinlassdruck

11,3

13,4

9,3

11,1

0,5 Bar

5,7

6,7

4,8

6,0

0,5 Bar

Maximal zulässiger Auslassdruck * 1 Bar 1 Bar

* Die XDS-Pumpe ist robust genug, um einem Überdruck von 1 bar in der Abgasleitung standzuhalten.

Der Abgasdruck sollte jedoch unter normalen Betriebsbedingungen (bei laufender Pumpe) dem

Atmosphärendruck möglichst genau entsprechen. Wenn die Pumpe bei erhöhtem Abgasdruck betrieben wird, beschleunigt sich die Abnutzung der Tip Seals. Dies beeinträchtigt die Leistung der Pumpe.

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2.2.2

Leistungskennwerte

Die Stellung des Gasballastreglers bestimmt die Leistungskennwerte der Pumpe. Diese Leistungskennwerte werden ausführlich in

Tabelle 2 aufgeführt.

Die in

Abbildung 2

dargestellten Kurven zeigen die Beziehung zwischen Einlassdruck und Saugleistung der Pumpe.

Tabelle 2 - Leistungskennwerte

XDS 10 XDS 5 Parameter

Gasballastregler geschlossen (Stellung ,0‘) typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 50 Hz

Einheiten typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 60 Hz mbar

Pa mbar

Pa

Gasballastregler geschlossen (Stellung ,1‘)* typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 50 Hz typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 60 Hz

Gasballastdurchfluss*

Wasserdampfförderleistung

Gasballastregler geschlossen (Stellung ,2‘)* typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 50 Hz mbar

Pa mbar

Pa l / min g / hr typisches Endvakuum (Gesamtenddruck) 60 Hz

Gasballastdurchfluss*

Wasserdampfförderleistung

Wasserdampftoleranz mbar

Pa mbar

Pa l / min g / hr mbar

Pa

* Nur für Ausführungen mit Gasballast

Abbildung 2 - Leistungskennwerte

< 7 x 10

< 7

< 6 x 10

< 6

1,5 x 10

15

1,2 x 10

12

3

70

3,5 x 10

35

3 x 10

30

15

> 200

35

3,5 x 10

-2

-2

-1

-1

-1

-1

3

< 7 x 10

< 7

< 6 x 10

< 6

1,5 x 10

15

1,2 x 10

12

3

70

3,5 x 10

35

3 x 10

30

15

> 200

50

5 x 10

-2

-2

-1

-1

-1

3

-1

Seite 8

1. 60 Hz Leistung

2. 50 Hz Leistung

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Abbildung 3 - Abmessungen

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2 Löcher, O9

4 Gummifüße

Die Unterseite des Betriebsstundenzählers befindet sich 44 mm über dem Boden.

Vom Motorende bis zur Mitte der einphasigen Buchse = 200 mm

Vom Motorende bis zur Mitte des Netzschalters = 124 mm

Siehe

Tabelle 3 für Abmessungen

Tabelle 3 - Abmessungen (mm)

Abmessungen

(siehe

Abbildung 3 )

H =

J =

K =

L =

M =

N =

P =

A =

B =

C =

D =

E =

F =

G =

XDS5

55

135

147

290

288

133

220

249

210

427

297

120

230

275

XDS10

133

220

249

210

427

315

55

135

147

290

288

120

230

275

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2.3

Mechanische Daten

2.3.1

Allgemeines

Maximaler Kippwinkel

Motordrehzahl (50 Hz-Versorgung)

Motordrehzahl (60 Hz-Versorgung)

Masse (kg)

Einlass-/Auslassstutzen

Gesamtabmessungen (mm)

10°

1440 Upm

1730 Upm

XDS 5 = 23

XDS 10 = 24,5

DN25NW

427 x 290 x 249

2.3.2

Geräusch- und Schwingungsdaten

Schalldruck beim Endvakuum, gemessen nach ISO 11201

Schwingung: gemessen am Einlassstutzen nach ISO 10816-1: 1995

55 dB(A) bei 1m

Klasse 1C

< 4,5 mms

-1

(Effektivwert)

2.4

Elektrische Daten

2.4.1

Einphasige Pumpen

Der Zweispannungsmotor ist für eine Einphasen-Stromversorgung ausgelegt und eignet sich für 50 oder 60 Hz-Betrieb

(siehe Tabellen 4 und 5

für elektrische Daten). Der Motor ist von Hand zwischen den Netzspannungen 110 bis 120 V und

220 bis 240 V zu schalten (siehe Abschnitt 3.6

).

2.4.2

Dreiphasige Pumpen

Der Zweispannungsmotor ist für eine Dreiphasen-Stromversorgung ausgelegt und eignet sich für den 50-Hz- oder

60-Hz-Betrieb (siehe

Tabelle 6 für elektrische Daten). Der Motor ist von Hand zwischen den Netzspannungen

220 bis 240 V und 380 bis 460 V schaltbar (siehe

Abschnitt 3.7

). Im Lieferzustand sind die Pumpen für 380 bis 460 V

eingestellt.

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2.5

Gesetzgebung und Normen

Die Normen und Vorschriften, die von der XDS-Pumpe eingehalten werden, sind vollständig in der Konformitätserklärung auf der Einbandseite dieses Handbuches angeführt.

Tabelle 4 - Elektrische Daten (einphasige Pumpen mit Artikelnummer -903 oder-906)

Pumpe

XDS5 und XDS10

Netzspannung

(V)

220 - 240

230 - 240

110

115 - 120

Frequenz

(Hz)

50

60

50

60

Leistung

(W)

250

300

250

300

Strom

(A)

3,6

3,2

7,2

6,4

Empfohlene

Absicherung (A)

5

5

10

10

Pumpe

Tabelle 5 - Elektrische Daten (einphasige Pumpen mit Artikelnummer -904)

XDS5 und XDS10

Netzspannung

(V)

200

200 - 210

100

100

Frequenz

(Hz)

50

60

50

60

Leistung

(W)

250

300

250

300

Strom

(A)

4

3,7

8

7,5

Empfohlene

Absicherung (A)

10

10

5

5

Pump

Tabelle 6 - Elektrische Daten (dreiphasige Pumpen mit Artikelnummer -905)

XDS5 und XDS10

Netzspannung

(V)

200 - 230

200 - 230

380 - 415

400 - 460

Frequenz

(Hz)

50

60

50

60

Leistung

(W)

250

300

250

300

Strom

(A)

1,77

1,80

0,96

1,00

Empfohlene

Absicherung (A)

5

5

3

3

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3 Einbau

3.1

Sicherheitshinweise

WARNUNG

XDS-Trockenpumpe von Edwards ist nicht zum Pumpen von Gefahrenstoffen geeignet.

Es obliegt Ihrer Verantwortung zu gewährleisten, dass die XDS-Pumpe für Ihren Anwendungszweck geeignet ist.

Sollten Sie Zweifel über die Eignung der XDS-Pumpe für Ihren Anwendungszweck haben, so ziehen Sie bitte die

Edwards Richtlinien über die Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen zu Rate (siehe Veröffentlichungen am Ende des Inhaltsverzeichnisses vorne in diesem Handbuch).

Die Montage der XDS-Pumpe ist von einem angemessen geschulten und überwachten Techniker durchzuführen.

Bei der Montage der XDS-Pumpe, insbesondere beim Anschluss der Pumpe an ein vorhandenes System, sind die nachstehend aufgeführten Sicherheitsanweisungen zu befolgen. Einzelheiten über die besonderen

Sicherheitsmaßnahmen sind an der entsprechenden Stelle in den Anweisungen aufgeführt.

z z

Bei Kontakt mit verunreinigten Bestandteilen ist geeignete Schutzbekleidung zu tragen. Verunreinigte

Teile sind in Abzugsschränken auseinanderzunehmen und zu reinigen.

Vor Beginn der Montage ist das Vakuumsystem zu entlüften und zu reinigen.

z

Vergewissern Sie sich, dass der Monteur mit den Sicherheitsvorschriften für das jeweilige Fördergut vertraut ist.

z

Die anderen Komponenten des Pumpsystems sind vom Stromnetz zu trennen, um ein unbeabsichtigtes

Einschalten auszuschließen.

3.2

Erwägungen bei der Anlagenkonstruktion

Bei der Konstruktion Ihres Pumpsystems sind folgende Punkte zu berücksichtigen:

Wenn die Pumpe vor dem Pumpen von kondensierbaren Dämpfen warmlaufen oder das Vakuum bei ausgeschalteter

Pumpe erhalten bleiben muss, verwenden Sie ein geeignetes Ventil zur Trennung der Pumpe vom Vakuumsystem.

Hohe Wärmezufuhr von den Verfahrensgasen in die Pumpe ist zu vermeiden, da die Pumpe sonst heißlaufen und sich festfressen und dadurch den Motor-Thermoschutz auslösen könnte.

Wird die Pumpe bei hohen Umgebungstemperaturen und bei hohem Gasdurchsatz eingesetzt, so könnte die Temperatur des Pumpenkörpers 100 °C erreichen; um Kontakt mit heißen Oberflächen zu vermeiden, sind deshalb geeignete

Schutz-vorrichtungen anzubringen.

Achten Sie darauf, dass die Abgasleitung nicht verstopft werden kann. Sofern die Pumpe mit einem Auslasstrennventil ausgestattet ist, vergewissern Sie sich, dass die Pumpe bei geschlossenem Ventil nicht betrieben werden kann.

3.3

Auspacken und Überprüfen

Entfernen Sie alle Verpackungsmaterialien, entnehmen Sie die Pumpe aus der Verpackungskiste, lösen Sie die

Schutzabdeckungen von der Einlass- bzw. Auslassöffnung und untersuchen Sie die Pumpe. Bei beschädigter Pumpe benachrichtigen Sie bitte den Lieferanten und den Spediteur schriftlich unter Angabe der Artikelnummer der Pumpe,

Ihrer Auftragsnummer und der Rechnungsnummer des Lieferanten. Das gesamte Verpackungsmaterial ist zur Prüfung aufzubewahren. Eine defekte Pumpe darf nicht verwendet werden.

Soll die Pumpe nicht sofort eingesetzt werden, so sind die Schutzabdeckungen wieder anzubringen. Die Pumpe ist unter geeigneten Bedingungen zu lagern, wie in

Abschnitt 6.1

beschrieben.

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3.4

Heben der Pumpe

Obwohl die Pumpe weniger als 25 kg wiegt und manuell gehoben werden kann, wird empfohlen, wann immer möglich eine geeignete Hebevorrichtung zu benutzen. Mechanisches Hebezeug ist am Oberrohr des dreiarmigen Pumpenkäfigs zu befestigen. Es ist zu beachten, dass die Pumpe während des Hebens ihre Stellung ändern kann, wofür entsprechende Sicherheitsvorkehrungen zu treffen sind.

3.5

Aufstellen der Pumpe

Die Pumpe ist auf einer festen, ebenen Grundfläche aufzustellen. Platzieren Sie die Pumpe so, dass der

Gasballastregler (falls installiert) und der Ein-/Ausschalter zugänglich sind.

Sofern die Pumpe eingebaut betrieben werden soll, ist eine ausreichende Belüftung entlang der Pumpe zu gewährleisten, damit die Umgebungstemperatur um die Pumpe 40 °C nicht übersteigt. Der Abstand zwischen

Pumpe und Gehäusewand muss mindestens 25 mm betragen.

Darüber hinaus ist zu gewährleisten, dass die Pumpe so aufgestellt wird und alle Verbindungselemente

(wie z.B. Verfahrensleitung, Abgasleitung und Stromkabel) so verlegt werden, dass sie keine Gefahren darstellen, wie z.B. Stolpergefahr.

3.6

Elektroinstallation: Einphasige Pumpen

3.6.1

Prüfung und Konfiguration des Motors

VORSICHT

Vergewissern Sie sich, dass der Motor vorschriftsmäßig für Ihre Stromversorgung konfiguriert ist. Betreiben der

Pumpe bei unvorschriftsmäßiger Konfiguration führt zu Schäden am Motor.

Für die in Klammern angegebenen Positionsnummern beziehen Sie sich bitte auf Abbildung 4

.

Abbildung 4 - Elektrische Schnittstelle: Einphasige Pumpen

Seite 14

1. Ein-/Ausschalter (I = an, O = aus)

2. Spannungswahleinsatz

3. Kabelsteckdose

4. Befestigungsschrauben Netzspannungswähler

5. Spannungsschild - Referenzpfeil

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Vergewissern Sie sich, dass die im Spannungsschild (5) an der Motorabdeckung angegebene Spannung Ihrer

Netzspannung entspricht. Ist dies nicht der Fall, so müssen Sie die Konfiguration des Pumpenmotors entsprechend

Ihrer Netzspannung ändern, wie unten beschrieben.

1. Die beiden Schrauben (4) lösen und den Spannungswahleinsatz (2) herausheben.

2. Den Spannungswahleinsatz (2) drehen, so dass die korrekte Spannung neben dem Pfeil (5) an der

Klemmenkastenabdeckung angezeigt wird.

3. Die beiden Schrauben (4) wieder anbringen.

3.6.2

Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung

WARNUNG

Vergewissern Sie sich, dass die Elektroinstallation der XDS-Pumpe gemäß den örtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen erfolgt. Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und geschützte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschließen.

Schließen Sie den Pumpenmotor mit einer IEC320 Kaltgerätebuchse an, die die Anforderungen Ihres örtliches

Stromnetzes erfüllt. Ihr Lieferant oder Edwards liefert geeignete Kabel.

Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und geschützte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschließen.

Sofern Ihre XDS-Pumpe mit einem Netzkabel geliefert wurde, ist dieses Kabel an einem Ende mit einem gekapselten

IEC-Anschluss ausgestattet. Am anderen Kabelende kann ein für Ihre örtliche Stromversorgung geeigneter Stecker angebracht werden. Ein Kabel ohne Stecker enthält folgende farbig codierten Drähte:

1. Vergewissern Sie sich, dass der Ein-/Ausschalter auf ‚Aus‘ gestellt ist.

2. IEC-Anschluss am Kabelende in den elektrischen Eingangsanschluss am Motor stecken.

Tabelle 7 - Farbcodierung der Drähte

Konvention Erde

Europa grün und gelb

USA grün

Null blau weiß

Strom-führend braun schwarz

3. Ggf. den Stecker am anderen Kabelende an die Stromversorgung anschließen. Ist kein Stecker vorhanden, die Kabeldrähte an die vorschriftsmäßigen Klemmen Ihrer Stromversorgung anschließen.

3.6.3

Drehrichtung prüfen

VORSICHT

Korrekte Drehrichtung des Pumpenmotors prüfen. Durch falsche Drehrichtung kann die Pumpe und das

Vakuumsystem unter Druck gesetzt werden.

1. Die Kunststoffabdeckung über der Schraub in der Mitte der Motorrückplatte entfernen.

2. Mit dem Ein-/Ausschalter die Stromversorgung an den Motor einige Sekunden lang einschalten.

3. Prüfen, ob die Schraube an der Rückseite des Motors in die korrekte Richtung dreht, wie durch den Pfeil am

Motor angezeigt. Bei falscher Drehrichtung die Stromversorgung sofort ausschalten. Setzen Sie sich mit Ihrem

Lieferanten oder Edwards in Verbindung.

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Abbildung 5 - Unterseite der Pumpe

1. Schrauben

2. Abdeckplatte

Abbildung 6 - Dreiphasige Anschlüsse: 200 bis 230 V

Abbildung 7 - Dreiphasige Anschlüsse: 380 bis 460 V

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3.7

3.7.1

Elektroinstallation: Dreiphasige Pumpen

Pr ü fung und Konfiguration des Motors

VORSICHT

Vergewissern Sie sich, dass der Motor vorschriftsmäßig für Ihre Stromversorgung konfiguriert ist. Betreiben der Pumpe bei unvorschriftsmäßiger Konfiguration führt zu Schäden am Motor.

VORSICHT

Zum Anschluss der Drehstrompumpe an die Stromversorgung ist ein Netzkabel mit einer Bemessung von 70 °C zu verwenden, anderenfalls könnte das Kabel beschädigt werden, wenn die Pumpe in hohen

Umgebungstemperaturen benutzt wird.

1. Die Pumpe mit der Unterseite nach oben hinlegen (siehe

Abbildung 5

). Die drei Schrauben, mit denen die

Abdeckplatte gesichert ist, herausdrehen.

2. Vergewissern Sie sich, dass der Motor vorschriftsmäßig für Ihre Stromversorgung konfiguriert ist. Konfigurieren

Sie den Motor gegebenenfalls für Ihre Stromversorgung neu (siehe Abbildung 6 und 7

).

z z

Für eine Stromversorgung von 200-230V wird der Motor gemäß

Abbildung 6 konfiguriert.

Für eine Stromversorgung von 380-460V wird der Motor gemäß

Abbildung 7 konfiguriert.

3.7.2

Anschluss der Pumpe an die Stromversorgung

WARNUNG

Vergewissern Sie sich, dass die Elektroinstallation der XDS-Pumpe gemäß den örtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen erfolgt. Die Pumpe ist an eine entsprechend gesicherte und geschützte Stromversorgung und an eine geeignete Erdung anzuschließen.

WARNUNG

Verlegen Sie das Stromversorgungskabel sowie die Einlass- und Auslassschläuche der Pumpe sorgfältig, insbesondere dann, wenn die Pumpe auf dem Boden eines Arbeitsbereichs aufgestellt wird. Sorgen Sie dafür, dass alle Arbeitskräfte in diesem Bereich über eventuelle Hindernisse im

Pumpenbereich informiert sind.

Das Stromversorgungskabel ist permanent an der Dreiphasenpumpe angebracht. Stellen Sie sicher, dass das Kabel so verlegt ist, dass es keine Stolpergefahr darstellt und es sich nirgends verhaken kann.

Hinweise: 1. Um das automatische Wiederanlassen des Pumpenmotors zu verhindern, wenn der Motor nach einem

Stromausfall wieder mit Spannung versorgt wird, muss die Pumpe über eine geeignete Steuerung, die nach dem Stromausfall von Hand zurückgestellt wird, an der Stromversorgung angeschlossen sein.

2. Um die Konformität mit den CSA- (Canadian Standards Association) Normen zu gewährleisten, muss in den Stromversorgungs-kreis der Pumpe ein Leistungsschutzschalter oder ein äquivalenter Schalter eingebaut sein. Dieser Schalter muss in der Nähe der Pumpe angeordnet, einfach zugänglich und deutlich als Schalter, der die Pumpe von der Stromversorgung trennt, gekennzeichnet sein.

Wir empfehlen, zwischen Pumpenmotor und Stromversorgung einen Starter oder Leistungsschutzschalter mit einem thermischen Überstromschutz einzubauen, der den in

Tabelle 6

. gezeigten Werten entsprechend schaltbar ist. Die in

Tabelle 6

angegebenen Sicherungsbemessungen sind nur Richtwerte. Es ist möglich, dass vom Lieferanten Ihres thermischen Überstromschutzes andere Werte angegeben werden, um den korrekten Betrieb von Sicherung und

Überstromschutz zu gewährleisten.

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Hinweis: Im Folgenden wird der Anschluss eines Kabels am Klemmbrett im Klemmenkasten erläutert. Ist das

Produkt bereits mit einem Kabel versehen, können Sie die folgende Anleitung ignorieren, bewahren

Sie diese aber bitte gut auf, falls das Kabel später einmal ersetzt wird. Es ist trotzdem erforderlich, die Drehrichtung zu prüfen.

Der Durchmesser des Stromversorgungskabels sollte 7 bis 11 mm betragen. Größe und Farbe des Kabels müssen allen zutreffenden Vorschriften für elektrische Anlagen und Geräte entsprechen.

1. Führen Sie das Stromversorgungskabel durch die Stopfbüchse und das Führungsloch.

2. Schließen Sie die Kabeldrähte so, wie in

Abbildung 6 und 7

. gezeigt, mittels isolierter Crimpstecker an den

Klemmen U1, V1, W1 und Erde im Klemmenkasten an. Benutzen Sie für jeden Anschluss eine Unterlegscheibe, einen Federring und eine Mutter (in dieser Reihenfolge).

3. Bringen Sie die Abdeckplatte wieder an.

4. Ziehen Sie die Zugentlastungsmutter an der Kabel-Stopfbüchse fest.

3.7.3

Drehrichtung prüfen

VORSICHT

Korrekte Drehrichtung des Pumpenmotors prüfen. Durch falsche Drehrichtung könnten Pumpe und

Vakuumsystem unter Druck gesetzt werden.

1. Die drei Halteschrauben herausdrehen und die Kunststoffabdeckung in der Mitte der Motorrückplatte entfernen.

2. Die Stromversorgung des Motors für einige Sekunden einschalten.

3. Prüfen, ob die Schraube an der Rückseite des Motors in die korrekte Richtung dreht, wie durch den Pfeil am

Motor angezeigt.

4. Bei falscher Drehrichtung die Stromversorgung ausschalten und die Pumpe von der Stromversorgung trennen.

Den Gerätestecker öffnen und die Lage der schwarzen Drähte tauschen.

3.8

Einlass- und Auslassstutzen

WARNUNG

Der Auslass ist an eine geeignete Aufbereitungsanlage zu leiten, um den Austritt von gefährlichen

Gasen und Dämpfen in die Umgebungsatmosphäre zu verhindern.

Bevor Sie die Pumpe an das Vakuumsystem anschließen, bringen Sie den Zentrierring und den Einlassfilter

(im Lieferumfang der Pumpe enthalten) am Ansaugstutzen an. Beim Einbau dürfen keine Fremdkörper in die

Pumpe eindringen.

Beachten Sie folgende Informationen, wenn Sie die Pumpe an Ihr Vakuumsystem anschließen. Angaben über

die nachstehend aufgeführten Zubehörteile sind in Abschnitt 7

enthalten. Zum Anschluss der Pumpe sind

DN25NW-Armaturen (nicht um Lieferumfang enthalten) zu verwenden.

Für optimale Pumpleistung ist die an den Pumpeneinlass angeschlossene Rohrleitung so kurz wie möglich zu halten und ein Innendurchmesser von mindestens 25 mm zu wählen.

z

Stützen Sie die Vakuumrohrleitung ab, um eine Belastung der Kupplungsstellen zu vermeiden.

z

Ggf. elastische Rohrleitungen im System einbauen, um Schwingungsübertragungen zu mindern und eine Belastung der Kupplungsstellen zu verhindern. Beim Einsatz von elastischen Faltenbälgen muss der Höchstnenndruck der Faltenbälge höher als der vom System erzeugte Höchstdruck sein.

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Bei einigen Anwendungen, z. B. beim Einsatz mit einer turbomolekularen Pumpe, ist es empfehlenswert, ein

Einlasstrennventil in die Rohrleitung vom Vakuumsystem zur Pumpe zu integrieren, damit das Vakuumsystem im ausgeschalteten Zustand von der Pumpe abgekoppelt werden kann.

Die Dichtflächen müssen sauber und frei von Kratzern sein.

z

Wir empfehlen den Einsatz einer Absaugeinrichtung, die für alle zu fördernden Verfahrensgase geeignet ist.

Achten Sie darauf, dass die Absaugeinrichtung bei laufender Pumpe nicht blockiert oder verstopft werden kann.

Um einen Rücklauf des verschmutzten Kondensats in die Pumpe zu vermeiden, ist an der Absaugeinrichtung ein

Sammelbehälter zu verwenden.

Es ist möglich, dass sich eine geringe Menge Dichtungsabrieb in der Auspuffleitung der Pumpe ansammelt.

Der Staub kann mit dem ersten Luftstoß nach Starten der Pumpe herausgeblasen werden. Dies ist normal und das Staubaufkommen wird mit der Zeit geringer.

VORSICHT

Bei hohen Temperaturen (über 250 °C) beginnt die Zersetzung von Dichtungsmaterial; dies erzeugt gesundheitsschädliche Dämpfe.

3.9

Dichtigkeitsprüfung des Systems

Das System nach Einbau auf Undichtheiten prüfen und festgestellte Leckagen beheben, um den Austritt von Stoffen aus dem System und das Eindringen von Luft in das System zu verhindern.

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4 Betrieb

4.1

Gasballastregler (falls installiert)

Mit dem Gasballastregler können Sie die Leistung der trocken verdichtenden Pumpe für Ihre Anwendung optimieren.

Die Leistungskennwerte der Pumpe mit verschiedenen Ballasteinstellungen sind in

Tabelle 2

angegeben. Die Stellung des Gasballastreglers kann bei ausgeschalteter oder laufender Pumpe geändert werden.

Mit dem Gasballastregler wird die Luftmenge, die in die Endstufe der Pumpe eingeführt wird, geändert.

Die Anwendung von Gasballast verhindert die Kondensation von Dämpfen in der Pumpe; Kondensate führen zu Verschmutzungen der Pumpe. Durch Drehen des Gasballastreglers können Sie zwischen den nachstehend angeführten drei Stellungen wählen:

Zum Schließen des Gasballasts den Regler auf die Stellung ,0‘ drehen. Diese Einstellung dient: z zum Erzielen des besten Endvakuums z zum Fördern von Trockengasen.

Für geringen Gasballast den Regler auf die Stellung ,I‘ drehen. Diese Einstellung dient: z z zum Pumpen von kondensierbaren Dämpfen zum Verdünnen von Prozessgasen, falls erforderlich.

Für hohen Gasballast den Regler auf die Stellung ,II‘ drehen. Diese Einstellung dient: z zum Pumpen von hohen Konzentrationen kondensierbarer Dämpfe z z zum Verdünnen von Prozessgasen, falls erforderlich zur Beseitigung von überschüssigen Dämpfen nach der Verarbeitung.

4.2

Betriebsbeginn

WARNUNG

Achten Sie darauf, dass die Konstruktion des Systems eine Blockierung der Abgasleitung nicht zulässt.

VORSICHT

Während der Anlaufphase kann feiner Staub vom Auspuff der Scroll-Pumpe ausgestoßen werden, besonders wenn die Pumpe neu ist oder neue Tip Seals eingesetzt wurden. Nähere Informationen zur Montage neuer

Tip Seals finden Sie in

Abschnitt 5.6

.

Befolgen Sie folgende Schritte zur Inbetriebnahme der Pumpe:

1. Schließen Sie ggf. das Trennventil des Vakuumsystems.

2. Die Stromzufuhr zur Pumpe mit dem Ein-/Ausschalter am Motor einschalten.

3. Öffnen Sie ggf. das Trennventil des Vakuumsystems.

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4.3

4.3.1

Erzielen des Endvakuums (mit installiertem Gasballast)

Bereits im Betrieb befindliche Pumpen

Wenn die Pumpen längere Zeit abgeschaltet waren, ist es möglicherweise erforderlich, die Pumpen mindestens eine Stunde lang mit hohem Gasballastdurchfluss („II“) zu betreiben, um sie von kondensierbaren Dämpfen

(wie z. B. Atmosphärenwasserdampf) zu befreien.

Stellen Sie den Gasballastregler auf „0“, um ein optimales Vakuum zu erzielen.

4.3.2

Neue, soeben gewartete/aufbereitete oder längere Zeit gelagerte Pumpen

Neue oder längere Zeit gelagerte Pumpen müssen möglicherweise mit Gasballast betrieben werden, um

Atmosphärenwasserdampf zu entfernen. Dies kann je nach Lagerbedingungen bis zu 24 Stunden dauern.

Stellen Sie nach dem Betrieb der Pumpen mit Gasballast den Gasballastregler wieder auf „0“, um eine optimale

Leistung zu erzielen (siehe

Abschnitt 4.1

).

4.4

Pumpen kondensierbarer Dämpfe (mit installiertem Gasballast)

Wählen Sie Gasballast (Gasballastregler in Stellung I oder II), wenn die Verfahrensgase einen hohen Anteil an kondensierbaren Dämpfen enthalten. Die Pumpe sollte die Betriebstemperatur erreicht haben, bevor sie den kondensierbaren Dämpfen ausgesetzt wird.

4.5

Auswirkungen der ATEX-Richtlinie

4.5.1

Einleitung

Dieses Gerät erfüllt die Anforderungen der Gerätegruppe II Kategorie 3 der Richtlinie 94/9/EG des Europäischen

Parlaments und des Rates vom 23 März 1994 zur Angleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedsstaaten für Geräte und Schutzsysteme zur bestimmungsgemäßen Verwendung in explosionsgefährdeten Bereichen (ATEX-Richtlinie).

Die ATEX-Kategorie 3 gilt für potenzielle Zündquellen im Inneren des Gerätes. Es wurde keine ATEX-Kategorie für potenzielle Zündquellen außerhalb des Gerätes zugeordnet, da dieses Gerät nicht zum Einsatz in einer externen, potenzielle explosionsgefährlichen Atmosphäre geeignet ist.

Im normalen Betrieb befindet sich keine potenzielle Zündquelle im Innern der Pumpe; im Falle vorhersehbarer bzw. seltener Funktionsstörungen können sich jedoch potenzielle Zündquellen, wie in der Richtlinie definiert, entwickeln.

Obwohl die Pumpe zum Pumpen entflammbarer Werkstoffe und Mischungen geeignet ist, sollten die Arbeitsabläufe deshalb gewährleisten, dass unter allen normalen und vorhersehbaren Bedingungen die Werkstoffe und Mischungen außerhalb der Explosionsgrenze liegen. Kategorie 3 gilt als geeignet, um eine Entzündung zu vermeiden für den unwahrscheinlichen Fall, dass eine Funktionsstörung entflammbare Werkstoffe oder Mischungen durch die Pumpe laufen lässt, während die Materialien innerhalb ihrer Explosionsgrenzen liegen.

4.5.2

Entflammbare/luftentzündliche Stoffe

WARNUNG

Folgende Maßnahmen sind zu treffen, damit das geförderte Gas außerhalb des

Zündbereichs bleibt.

Sofern das Gerät flammbare oder luftentzündliche Stoffe enthält, beachten Sie unbedingt folgendes: z

Lassen Sie keine Luft in das Gerät eindringen.

z

Vergewissern Sie sich, dass das System dicht ist.

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Verdünnen Sie alle entflammbaren Gase bzw. Dämpfe durch Spülen mit inertem Gas (z. B. mit Stickstoff) am Pumpeneinlass und/oder Gasballast (falls installiert), um die Konzentration entflammbarer Gase oder

Dämpfe in der Pumpe und der Abgasleitung auf weniger als ein Viertel der unteren Explosionsgrenze (UEG) zu reduzieren.

z

Verhindern Sie die Kondensation von entflammbaren Dämpfen im Pumpenmechanismus und in der

Abgasleitung durch Spülen mit inertem Gas am Gasballastanschluss. Beachten Sie, dass diese Option bei 05-Ausführungen ohne Gasballast nicht zur Verfügung steht. Bei diesen Pumpen kann lediglich eine

Einlassspülung verwendet werden.

4.5.3

Gasspülung

WARNUNG

Falls Sie Spülungen mit inerten Gasen einsetzen, um gefährliche Gase auf ein sicheres Niveau zu konzentrieren, achten Sie darauf, dass die XDS-Pumpe ausgeschaltet wird, falls die Zufuhr von inertem Gas versagt.

WARNUNG

Folgende Maßnahmen sind zu treffen, damit die geförderte Gase außerhalb des

Zündbereichs bleiben.

Schalten Sie die Spülung mit inertem Gas ein, um vor Verfahrensanlauf Luft aus der Pumpe und der Abgasleitung zu entfernen. Der Spülstrom darf am Ende des Verfahrens erst ausgeschaltet werden, nachdem alle entflammbaren

Gas- oder Dampfreste aus der Pumpe und der Abgasleitung gespült worden sind.

Falls Flüssigkeiten, die entflammbare Dämpfe erzeugen, in der Pumpenzufuhrleitung vorhanden sein könnten, muss die Spülung mit inertem Gas an die XDS-Pumpe zu allen Zeiten, zu denen diese Flüssigkeit vorhanden ist, eingeschaltet sein. Entflammbare Flüssigkeiten können sich aufgrund von Kondensation in der Zufuhrleitung befinden oder als Verfahrensüberreste vorhanden sein.

Bei Berechnung der Durchflussmenge von inertem Gas für Verdünnungszwecke ist die maximale Durchflussmenge für die evtl. auftretenden entflammbaren Gase/Dämpfe zu berücksichtigen. Beispielsweise ist bei Einsatz von MFCs

(Mass Flow Controllers, Massendurchflusscontrollern) für die Zufuhr von entflammbaren Gasen von einem Durchfluss auszugehen, der bei vollständig geöffnetem MFC eintreten würde.

Die Durchflussmenge der Spülung ist ständig zu messen: wenn die Durchflussmenge unter die erforderliche Menge abfällt, ist der Zufluss der entflammbaren Gase oder Dämpfe an die Pumpe zu unterbrechen.

Hinweis: Wir empfehlen, dass Sie die Publikation „Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen“

(Nr. P300-20-000) von Edwards oder Ihrem Lieferanten bestellen und lesen.

4.6

Stilllegung

Befolgen Sie folgende Schritte zur Stilllegung der Pumpe:

1. Wenn die Pumpe längere Zeit gelagert werden soll, beseitigen Sie vor dem Abschalten alle Verfahrensgase mithilfe der Einlassspülung oder durch Betrieb der Pumpe mit hohem Gasballastdurchfluss (falls Gasballast installiert ist).

2. Ggf. das Vakkumsystem-Trennventil schließen, um ein Zurücksaugen in das Vakuumsystem zu vermeiden.

3. Die Pumpe mit dem Ein-/Ausschalter am Motor ausschalten.

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5 Wartung und Instandhaltung

5.1

Sicherheitshinweise

WARNUNG

Die nachfolgend aufgeführten Sicherheitshinweise sind genau zu beachten und die entsprechenden Vorsichtsmaßnahmen zu treffen. Die Nichtbeachtung dieser Hinweise kann zu Verletzungen und Schäden an der Anlage führen.

Die XDS-Pumpe ist so konzipiert, dass nur geringe Wartungsmaßnahmen seitens des Benutzers erforderlich sind.

Bei Instandhaltungsarbeiten an der Pumpe sind folgende Richtlinien zu beachten: z

Die Wartung ist von entsprechend geschulten und überwachten Technikern durchzuführen. Die örtlichen und nationalen Sicherheitsanforderungen sind einzuhalten.

z

Vergewissern Sie sich, dass der Wartungstechniker mit den Sicherheitsvorschriften für das jeweilige

Fördergut vertraut ist.

z z z

Vergewissern Sie sich vor Beginn der Arbeiten, dass aller erforderlichen Teile vorhanden sind.

Die Pumpe und andere Komponenten von der Stromversorgung trennen, um ein unbeabsichtigtes

Einschalten zu vermeiden.

Vor Beginn der Wartungsarbeiten die Pumpe abkühlen lassen (auf eine sichere Temperatur für Hautkontakt).

Vergewissern Sie sich, dass die Pumpe ausgeschaltet ist, damit der Thermoschutz die Pumpe nicht wieder starten kann.

z z

Interne O-Ringe nicht wiederverwenden.

Die Pumpe ist mit Verfahrenschemikalien verschmutzt, die während des Betriebs gefördert wurden.

Die Pumpe ist vor Beginn der Wartungsarbeiten zu reinigen und angemessene Vorkehrungen zu treffen, um das Personal vor Auswirkungen von Gefahrenstoffen zu schützen.

z

Die thermischen Zersetzungsprodukte von fluorierten Produkten, die sich in der Pumpe befinden können, wenn diese auf Temperaturen über 260 °C erhitzt wurde, dürfen weder berührt noch eingeatmet werden.

Fluorierte Stoffe sind im Normalgebrauch unbedenklich, können sich jedoch bei Erhitzung auf mindestens

260 °C in sehr gefährliche Stoffe (u.a. Fluorwasserstoff) zersetzen. Bei falscher Anwendung oder im Falle eines Feuers kann es zum Heißlaufen der Pumpe kommen. Sicherheitsdatenblätter für die in der Pumpe verwendeten fluorierten Substanzen sind auf Wunsch erhältlich: Wenden Sie sich diesbezüglich bitte an

Ihren Lieferanten oder an Edwards.

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Seite 25

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5.2

Wartungsplan

Die Wartungsmaßnahmen sind u.U. in kürzeren Abständen erforderlich, wenn die Pumpe zum Fördern von aggressiven

Gasen und Dämpfen eingesetzt wird, wie z.B. von Lösungsmitteln, organischen Stoffen und Säuren, oder wenn die

Pumpe im Dauerbetrieb im oberen Betriebstemperaturbereich arbeitet (siehe Abschnitt 2.1

. Den Wartungsplan ggf. nach eigener Erfahrung abwandeln.

Tabelle 8 - Wartungsplan

Betrieb

Einlassfilter kontrollieren und reinigen

Gasballastregler (falls installiert) kontrollieren und reinigen

Außengebläseabdeckung reinigen

Tip Seals und Auslassventil erneuern

Motorzustand prüfen

Lager auswechseln

Häufigkeit

Jährlich

Jährlich

Jährlich

Jährlich oder je nach

Erfordernis

15000 Stunden

35000 Stunden

Siehe Abschnitt

5.3

5.4

5.5

5.6

5.7

Wenden Sie sich an Edwards

5.3

Einlassfilter kontrollieren und reinigen

Beim Abkoppeln der Pumpe vom Vakuumsystem empfehlen wir jeweils die Durchführung folgender Arbeiten: z

Die vom Einlassfilter (in der Einlassöffnung) aufgefangenen Fremdkörper entfernen.

z

Einlassfilter kontrollieren und ggf. mit einer für das Fördergut geeigneten Reinigungslösung reinigen.

Vor Wiederanschluss der Pumpe an das Vakuumsystem den Einlassfilter wieder einbauen.

1. Siehe auch

Abbildung 8 . Vakuumsystem vom Ansaugflansch (3) abkoppeln und Zentrierring und Filterbaugruppe

(1) und den O-Ring (2) entfernen. Zentrierring und O-Ring kontrollieren. Sofern diese sauber sind, ab Schritt 5 fortfahren. Bei Verschmutzung ab Schritt 2 fortfahren.

2. O-Ring (2) aus dem Zentrierring und der Filterbaugruppe (1) entnehmen. Der O-Ring darf nicht mit der

Reinigungslösung in Berührung kommen.

3. Zentrierring und Filterbaugruppe in einer geeigneten Reinigungslösung waschen und trocknen lassen.

4. Ggf. den O-Ring mit einem sauberen, trocknen, fusselfreien Tuch abwischen.

5. Zentrierring, Filterbaugruppe und O-Ring an der Einlassöffnung wieder einbauen. Das Vakuumsystem wieder an den Ansaugflansch montieren.

Abbildung 8 - Baugruppe Einlassfilter

Seite 26

1. Zentrierring und Filter

2. O-Ring

3. Ansaugflansch

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5.4

Gasballastregler (falls installiert) kontrollieren und reinigen

Der Gasballast-Filtereinsatz ist im Sitz eingeklebt; bitte nicht entfernen.

1. Siehe auch

Abbildung 9 . Gasballastregler auf die Stellung Hochdurchfluss (II) stellen.

2. Den Regler so weit wie möglich nach unten gegen die Druckfeder (6) drücken, dann den Regler leicht nach links gegen den Uhrzeigersinn drehen, um die Bajonettnocken (5) zu lösen, und den Regler (1) entfernen.

3. Ggf. den Regler mit einem sauberen, trockenen, fusselfreien Tuch abwischen. Vergewissern Sie sich, dass das

Luftloch nicht verstopft ist.

4. Den Regler wieder in den Gasballasteinlass einbauen. Vergewissern Sie sich, dass die Druckfeder vorschriftsmäßig zwischen den Bajonettnocken sitzt.

5. Den Regler so weit wie möglich nach unten drücken, dann den Regler leicht nach rechts im Uhrzeigersinn drehen, bis die Bajonettnocken vorschriftsmäßig einrasten.

6. Den Gasballastregler in die erforderliche Stellung zurückdrehen.

Abbildung 9 - Baugruppe Gasballastregler

1. Gasballastregler

2. O-Ring

3. Luftloch

4. O-Ring

5. Bajonettnockes

6. Feder

7. Filtereinsatz

5.5

Außengebläseabdeckung reinigen

Wird die Gebläseabdeckung nicht sauber gehalten, so kann es zu Einschränkungen der Luftkühlung über die Pumpe und zum Heißlaufen der Pumpe kommen.

1. Die Pumpe abschalten und vom Netz trennen.

2. Mit einem trockenen Tuch und einer weichen Bürste Schmutz und Ablagerungen von der Gebläseabdeckung und dem Pumpenkörper entfernen.

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5.6

Die Tip Seals und das Auslassventil erneuern

Hinweise zum Auswechseln der Tip Seals und des Auslassventils entnehmen Sie bitte der

Betriebsanleitung A726-01-840

5.7

Motorzustand prüfen

Erdungs- und Isolationswiderstand des Pumpen-motors gemäß den örtlichen Vorschriften für die regelmäßige

Prüfung von Elektrogeräten prüfen.

Die Motoren der einphasigen XDS-Pumpen entsprechen EN61010. Zur Einhaltung von EN61010 empfehlen wir einen Erdungswiderstand unter 0,1 Ω und einen Isolationswiderstand über 10 M Ω.

Wenn der Motor diese Prüfungen nicht besteht, setzen Sie sich bitte mit Edwards in Verbindung.

5.8

Störungssuche

5.8.1

Die Pumpe läuft nicht an

z

Die Pumpe ist nicht an die Stromversorgung angeschlossen (z. B. wegen defekter Sicherung).

z z

Die Netzspannung entspricht nicht der Spannung, für die der Motor konfiguriert wurde.

Der Motor ist defekt.

z

Der Thermoschutz hat die Pumpe ausgeschaltet.

5.8.2

Die Pumpe erreicht die erforderliche Leistung nicht

z z

Das Vakuumsystem ist undicht.

Ihr Druckmessvorgang oder Manometerkopf ist ungeeignet bzw. zeigt einen falschen Druck an.

z z

Die Vakuumarmaturen sind schmutzig oder beschädigt.

Der Einlassfilter ist verstopft.

z z

Die Auspuffleitung ist verstopft.

Die Pumpe enthält Reste von Verfahrensdämpfen oder Atmosphärenwasserdampf. Die Pumpe muss mindestens eine Stunde bei hohem Gasballastdurchfluss („II“) und anschließend für bis zu 24 Stunden bei niedrigem Gasballastdurchfluss („I“) betrieben werden, um die Nennleistung der Pumpe wiederherzustellen.

z z

Die Pumpe arbeitet außerhalb der vorgegebenen Betriebsbedingungen.

Der Gasballastregler (falls installiert) ist nicht ordnungsgemäß geschlossen.

z z

Die Tip Seals müssen ausgewechselt werden.

Sofern die Netzspannung mehr als 10 % unter der niedrigsten Spannung liegt, die auf dem Spannungsschild angegeben ist, läuft die Pumpe u.U. mit reduzierter Vakuumleistung.

5.8.3

Die Pumpe ist laut

z z

Die Lager sind verschlissen.

Die Pumpe ist mit Partikeln verschmutzt.

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5.8.4

Die Oberflächentemperatur der Pumpe ist über 100 °C

z

Die Umgebungstemperatur ist zu hoch.

z z

Die Luftkühlung ist unzureichend oder zu heiß.

Die Netzspannung ist zu hoch.

z z

Das Verfahrensgas ist zu heiß.

Das Gebläse funktioniert nicht.

5.8.5

Die Saugleistung ist schwach

z

Der Durchmesser der Anschlussleitungen ist zu klein.

z z

Die Anschlussleitungen sind zu lang.

Der Einlassfilter ist verstopft.

z

Die Auspuffleitung ist verstopft.

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6 Lagerung und Entsorgung

6.1

Lagerung

Befolgen Sie zur Lagerung der Pumpe folgende Schritte:

1. Die Pumpe wie in

Abschnitt 4 beschrieben stilllegen.

2. Die Pumpe von der Stromversorgung trennen.

3. Das Vakuumsystem und die Pumpe mit trockenem Stickstoff spülen und die Pumpe vom Vakuumsystem trennen.

4. Schutzvorrichtungen über die Ein- und Auslassstutzen anbringen.

5. Die Pumpe bis zur Wiederverwendung kühl und trocken lagern. Bei Bedarf die Pumpe wie in

Abschnitt 3

beschrieben vorbereiten und installieren.

6.2

Entsorgung

Pumpe und Pumpenkomponenten sicher gemäß den örtlichen und nationalen Sicherheits- und

Umweltschutzvorschriften entsorgen.

Lassen Sie besondere Vorsicht walten bei Komponenten, die mit gefährlichen Verfahrens-substanzen in Berührung gekommen sind.

Flouroelastomer-Dichtungen und O-Ringe dürfen nicht verbrannt werden.

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7 Ersatzteile und Zubehör

7.1

Einleitung

Die Produkte, Ersatz- und Zubehörteile von Edwards sind über Edwards-Niederlassungen in Belgien, Brasilien, Kanada,

Frankreich, Deutschland, Hongkong, Italien, Japan, Korea, der Schweiz, Großbritannien, den USA und ein weltweites

Netz von Vertriebsfirmen erhältlich. Die Mehrzahl dieser Unternehmen beschäftigt Kundendiensttechniker, die an umfassenden Edwards-Schulungskursen teilgenommen haben.

Ersatzteile und Zubehör können Sie bei der nächstgelegenen Edwards-Niederlassung oder Vertriebsfirma bestellen.

Bitte geben Sie bei Ihrer Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an: z z

Modell- und Bestellnummer Ihres Gerätes

Seriennummer z

Bestellnummer und Bezeichnung des Teils.

7.2

Ersatzteile

Produkt

Tip Seal und Auslassventil Satz XDS 5/10

7.3

Zubehör

Bestellnummer

A726-01-805

7.3.1

Magnetventil

Setzen Sie das Magnetventil zwischen Ihr Vakuumsystem (siehe Tabelle 9

) und den Pumpeneinlass, um eine sichere

Vakuumtrennung zu gewährleisten, wenn die Pumpe ausgeschaltet ist.

Tabelle 9 - Magnetventil

Produkt

PV25EK Ventil

PV25EK Ventil

Stromversorgung

220-240V 50/60 Hz

110-127V 50/60 Hz

Bestellnummer

Aluminiumgehäuse Stahlgehäuse

C413-01-000

C413-03-000

C413-02-000

C413-04-000

7.3.2

Gasballastadapter (nicht für 05-Ausführungen)

Es stehen zwei Gasballastadaptersätze zur Verfügung, die je nach den Anforderungen der Anwendung benutzt werden können:

Gasballastadaptersatz

(mit dem EB-Ventil verwenden)

A505-02-000

Gasballastadaptersatz

(kontrollierter Fluss durch die Öffnung)

A506-26-801

7.3.3

Schwingungsabsorber

Schwingungsabsorber reduzierend Schwingungen und Lärm bei Pumpen, die auf dem Boden bzw. auf einem

Rahmen aufgestellt sind, und tragen außerdem bei unebenen Aufstellflächen zur Reduzierung der Belastung bei.

Schwingungsabsorber (4-er Packung) A248-01-404

Einbauanleitung: Siehe Betriebsanleitung A248-01-880.

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7.3.4

Auspuffadapter

Der Auspuffadapter wird in den Auslassflansch eingeschraubt. Der Auspuffadapter dient dazu, den Pumpenauslass an den Kunststoffschlauch mit 12 mm Innendurchmesser anzuschließen.

Auspuffadapter A505-09-000

7.3.5

XDS-Schalldämpfer

Der XDS-Schalldämpfer dient dazu, den Lärmpegel beim Auspumpen und Einsatz des Gasballasts zu reduzieren.

XDS-Schalldämpfer A505-97-000

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Index

A

Abmessungen ...............................................9

Aufstellen der Pumpe ................................... 14

Auspacken und überprüfen ............................. 13

B

Bauweise ....................................................4

Beschreibung ...............................................4

Betrieb .................................................... 21

Betriebs- und Lagerbedingungen ........................7

Betriebsbeginn ........................................... 21

C

CSA-Produktklassifikation ................................5

D

Dichtigkeitsprüfung des Systems ...................... 19

Die einphasige XDS-Trockenpumpe .....................3

Dreiphasige Pumpen ..................................... 10

E

Einbau ..................................................... 13

Einlass- und Auslassstutzen ............................ 18

Einleitung ...................................................1

Einphasige Pumpen ...................................... 10

Elektrische Daten ........................................ 10

Elektroinstallation

Dreiphasige Pumpen ............................... 17

Einphasige Pumpen ................................ 14

Entsorgung ................................................ 31

Ersatzteile ................................................ 33

Ersatzteile und Zubehör ................................ 33

Erwägungen bei der Anlagenkonstruktion ........... 13

Erzielen des Endvakuums

.

G

Gasballastregler ............................................4

Gasballastregler (falls installiert) ..................... 21

Geräusch- und Schwingungsdaten ..................... 10

Gesetzgebung und Normen ............................. 11

I

Instandhaltung ........................................... 25

L

Lagerung .................................................. 31

Lagerung und Entsorgung ............................... 31

Leistung .....................................................7

Leistungskennwerte .......................................8

M

Mechanische Daten ...................................... 10

Motorzustand prüfen .................................... 28

P

Pumpen kondensierbarer Dämpfe ..................... 22

S

Sicherheitshinweise ..................................... 13

Stilllegung ................................................ 23

Störungssuche ............................................ 28

T

Technische Daten ..........................................7

Tip Seals und das Auslassventil erneuern ............ 28

U

Umfang und Definitionen .................................1

W

Wartungsplan ............................................. 26

Z

Zubehör ................................................... 33

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