取扱説明書 - ノイズ研究所

℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
※
℃
℃
MODEL※
ESS-6002/6008
1.05
AEC00206-001-0F
•
•
•
•
•
•
•
•
TM ®
※ ※
※ ※ ※
1 15
16
16
1.
A
C
B
D
E
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※
A
(MODEL※ ESS-6002
ESS-6008) ——————————————————
B
(HBM)
(MODEL※ 01-00054A) ———
C
(MM)
(MODEL※ 01-00055A) ——
D AC
————————————————————————————————————————————————————————————————
E
———————————————————————————————————————————————————
1
1
1
1
1
1
2.
EMC
EMC
2
3.
℃
℃℃
℃
℃
細関関器操守守廃奈操守守条℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
FAX
FAX
※
※
※
※
3
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
℃
4
4.
1.
................................................................
........................................................................................
........................................................ 1
2.
................................................................
...........................................................................................
........................................................... 2
3.
................................................................
............................................................................
............................................ 3
4.
................................................................
................................................................................................
.........................................................................
......................................... 5
5.
................................................................
................................................................................................
..................................................................
.................................. 7
............................................................................................. 7
6.
.............................................
............................................. 8
6
6
1.
2. DANGER※
................................................................................................ 8
.................................................................................. 11
6
6
3. WARNING※
4. CAUTION※
............................................................................... 11
................................................................................. 13
7.
................................................................
........................................................................
........................................ 15
8.
................................................................
...........................................................................
........................................... 15
9.
................................................................
...........................................................................
........................................... 16
9
9
1.
2.
............................................................................ 16
............................................................................ 17
9
9
9
3.
4.
5.
.............................................................................................. 18
................................................................................................. 20
................................................................................................. 21
10.
................................................................
................................................................................................
................................................................ 22
10
10
1.
2.
10
10
3.
4. AC
11.
................................................................................... 22
................................................................................... 23
....................................................................................... 25
........................................................................................ 26
................................................................
................................................................................................
................................................................ 27
11
11
1)
2)
3)
4)
1.
2.
................................................................................ 27
........................................................................ 27
ESD
±
VOLTAGE
TEST LEVEL
.................................................................................27
......................................................................................27
................................................................28
.................................................................28
5
5)
6)
7)
11
INTERVAL
COUNT
EXT TRIG
3.
1)
2)
3)
8)
9)
....................................................... 29
............................................................................ 29
....................................................................... 30
.............................................................................................. 31
MEASURE
CALL
SWEEP
STAGE
MANUAL
..................................................................... 31
.............................................................................. 32
........................................................................... 32
............................................................................ 34
........................................................................ 34
11
4. TRIG OUT ................................................................................................. 35
11
11
5.
6.
................................................................................................. 36
................................................................................................. 36
12.
................................................................
...............................................................................
............................................... 37
13.
................................................................
.................................................................
................................. 38
14.
................................................................
................................................................................................
.......................................................................
....................................... 39
15.
................................................................
................................................................................................
.......................................................................
....................................... 42
16.
................................................................
...............................................................................................
............................................................... 44
17.
................................................................
............................................................................
............................................ 44
6
5.
ESS-6002/6008
ESS-6002/6008
ESS-6002/6008
ESS-6002/6008
§
1.
2.
10V 2 kV ESS-6002
HBM
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001
Test Method304
IEC
61340-3-1Ed.1.0 2002
IEC
60749-26 Ed.1.0 2003
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003
JEDEC JESD22-A114D Mar.2006
100V 8kV ESS-6008
MM
JEDEC JESD22-A115A Oct.1997
ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001
Reference Test Method
IEC
61340-3-2 Ed.1.0-2002
IEC
60749-27 Ed.1.0 2003
AEC-Q100-003-REV-E※ Jul.2003
7
6.
6
1.
8
9
UP SIDE
15
0.2N
10
m
6
2. DANGER℃
6
3. WARNING℃
℃
AC
AC
※
※
STOP
DUT
DUT Device Under Test
DUT
11
DUT
UP SIDE
15
100V 240V
AC
AC220
AC
AC
AC
AC100
120V
240V
性
STOP
AC
AC
℃
AC
AC
AC
AC
AC
AC
AC
12
6
4. CAUTION℃
1
0.3s
START
1
MEASURE
BNC
MEASURE
℃
BNC
1.3%
AC
AC
AC
AC
5
13
※
0.2N m
※
10cm
AC
※
DUT Device Under Test
14
7.
2
CALL
2
24
※
※
℃
℃
8.
℃
℃
℃
℃
15
※
9.
9
1.
※
※
※
※
※
※
※
※
※
9
1.
1
2
8
7
3
6
5
4
MODEL
MODEL
2.
8kVmax ESS-6008
3.
2kVmax ESS-6002
※
4.
5.
6.
EXT TRIG IN
BNC
7.
TRIG OUT
BNC
8.
STAGE CONTROL
MODEL 18-00076A
9.
16
9
2.
10
11
16
12
15
10.
11. AC
AC
250V F 2A
12. FG
MODEL 18-00076A
13. INTERLOCK
STOP
14.
15.
MODEL
16.
17
14
13
9
3.
MODEL※ 01-00054A
HBM
MODEL※ 01-00055A※
MM
MODEL
B
A
C
D
F
E
A
HOT
GND
B
HBM
HBM-M
Middle
MM
MM-MF
Frequency
MODEL 06-00064A
C MODEL
MODEL
D MEASURE
HBM MM
BNC
DUT
MEASURE
MEASURE
MEASURE BNC
MEASURE
BNC
18
1.3%
Middle
E
F
19
9
4.
±
※
※
CALL
1 5
※
TEST LEVEL
※
SWEEP
※
EXT TRIG
※ ※ ※
ESD
※
※ COUNT
STAGE
VOLTAGE
INTERVAL
※
PIN PITCH DUT
MANUAL
PIN COUNT
HOME
※
※
※ ※
※ ※ ※
MEASURE
DUT
START
STOP
※
MODEL 1818-00076A
※
20
9
5.
RL1
RL4
R3
R1
HV
RL2
C1
R2
GND
PE
RL3
BNC
HV
C1
R1
HBM
MM
100pF
200pF
1M
HBM
MM
1.5k
0
R2
10M
RL4
HOT
R3
RL1
RL2
RL3
BNC
MEASURE
MEASURE
21
10.
℃
℃
℃
AC
5
10
1.
2
0.8kV
22
℃
℃
UP SIDE
15
℃
10
2.
1)
MODEL
23
18-00075A
2)
MODEL 18-00075A
MODEL 18-00076A
MODEL
MODEL
18-0075A
24
18-0076A
10
3.
℃
℃
℃
1)
HBM
2)
HBM
HBM
(HBM)
HBM M Middle
4 6ns
※ MODEL 06-00064A
4
※
(HBM)
HBM
2
HBM
6
MM
(MM)
MM MF Middle Frequency
75 83ns
F Fast
4ns
S Slow
8ns
MM
MM
25
(MM)
MM HF High Frequency
69 75ns
MM LF Low Frequency
83 89ns
10
4. AC
AC
℃
AC
℃
AC
℃
℃
AC
AC
AC
℃
AC
3P AC
℃
AC
AC
AC
AC
26
11.
℃
11
1.
※ ※
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※
℃
11
2.
1)
ESD
ESD
VOLTAGE ,INTERVAL ,COUNT
ESD
STOP
3
2)
ESD
VOLTAGE
ESD
INTERVAL
±
±
±
±
±
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※
±
±
START
27
COUNT
3)
VOLTAGE
ESD
VOLTAGE
VOLTAGE
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ VOLTAGE
Max
Min
ESS-6002
2000V
10V
1V
ESS-6008
8000V
100V
10V
MODEL
4)
※ ※
TEST LEVEL
TEST LEVEL
LEVEL
℃
ESD STRESS
LEVEL
HBM
MM
※ ESS-6002
HBM
Level1
Level2
Level3
Level4
MM
250V
500V
1000V
2000V
100V
200V
400V
800V
HBM
250V
500V
1000V
2000V
4000V
8000V
100V
200V
400V
800V
-----
※ ESS-6008
Level1
Level2
Level3
Level4
Level5
Level6
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ TEST LEVEL
28
MM
5)
INTERVAL
ESD
INTERVAL
INTERVAL
STOP
INTERVAL
INTERVAL
STOP
STOP
INTERVAL
INTERVAL
INTERVAL
6)
10s
0.1s
10s
1s
COUNT
ESD
COUNT
COUNT
STOP
COUNT
COUNT
1
STOP
STOP
COUNT
COUNT
COUNT
Cnt
1
99
Cnt
1
29
7)
EXT TRIG
EXT TRIG IN
±15V
EXT TRIG
STOP
START
℃
EXT TRIG
TTL
EXT TRIG IN
Type
TTL
100us
BNC
HI
LOW
LOW
±15V Max
EXT TRIG
EXT TRIG IN
EXT TRIG IN
Vcc
4.7kΩ
EXT TRIG
10kΩ
240Ω
4.7kΩ
30
℃
11
3.
1)
MEASURE
STOP
DUT Device Under Test
DUT
DUT
DUT
℃
℃
MEASURE
BNC
MEASURE
BNC
1.3%
℃
STOP
BNC
BNC
MEASURE
GND
MEASURE
MEASURE
HOT
GND
BNC
BNC
DUT
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ MEASURE
MEASURE
MEASURE
MEASURE
OFF
31
ON
START
START
2)
CALL
5
ESD
CALL
1 5
1
CALL
STAGE
CALL
ESD
STAGE
CALL
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ CALL
CALL
3)
SWEEP
SWEEP
SWEEP
2
SWEEP
St
SWEEP
End
StP
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ SWEEP
※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※ ※
St
TEST LEVEL
SWEEP
St
TEST LEVEL
SWEEP
32
End
※ ※ ※ ※ ※ ※ StP
End
StP
SWEEP
SWEEP
1.00kV
4.00kV
0.50kV
ESS-6008
SWEEP
SWEEP
TEST LEVEL
SWEEP
SWEEP
SWEEP
1.00kV
4.00kV
0.50kV
SWEEP
CALL
33
1.00kV
8)
STAGE
STAGE
18-00076A
MODEL 18-00076A
STOP
MODEL
STAGE
3
HOME mm
PIN PITCH mm
STAGE
PIN COUNT PIN
STAGE
9)
MANUAL
MANUAL
PIN COUNT
MANUAL
MODEL 18-00076A
MANUAL
MANUAL
PIN COUNT
PIN COUNT
PIN COUNT
34
MANUAL
11
4. TRIG OUT
TRIG OUT
℃
℃
TRIG OUT
TTL
TRIG OUT
Type
BNC
TTL
HI 5ms
50
TRIG OUT
6ms
TRIG OUT
5ms
SURGE OUT
6ms
TRIG OUT
TRIG OUT
Vcc
TRIG OUT
50Ω
35
11
5.
STOP
DUT Device Under Test
DUT
DUT
DUT
℃
COUNT
COUNT
Cnt
STOP
STOP
OFF
STOP
START
2
START
STOP
11
6.
1
0.3s
START
1
START
START
EXT TRIG
START
36
12.
Err
MODEL
18-00076A
STOP
Err
MODEL 18-00076A
MODEL 18-00076A
37
13.
38
14.
ESSESS-6002,ESS6002,ESS-6008
℃
10
2000V±10% ESS-6002 1V
0.10 8.0kV±10% ESS-6008 10V
0.3
99s±10%
10s
1
EXT TRIG IN
0.1s
10s
1s
99
±15V MAX BNC
TTL
100 s
50
TRIG OUT
LOW
TTL HI
5ms BNC
STAGE CONTROL
MODEL 18-00076A
Dsub
STOP
INTERLOCK
AC100
240V±10%℃ 50Hz 60Hz
250V F 2A℃ 2
25VA
15
35
10 50
25
75%RH
0
85%RH
(W)340×(H)199×(D)300
(
)
6kg
※
℃
10-3.
MEASURE
DUT
BNC
100V 250V
39
HBM
MODEL:01MODEL:01-00054A
※ ※
※
15
35
10 50
25
75%RH
0
85%RH
(W)50×(H)242×(D)54
(
760
C 100pF±10%, R 1.5k ±1%
18AWG
500
±1%
CR
250V
0.17A
±10%
Ips
500V
0.33A
±10%
1000V
0.67A
±10%
Trs
2
Tds
2000V
1.33A
±10%
4000V
2.67A
±10%
10ns
130 170ns
Irs
Ips
15%
0.25A
0.5A
1.0A
2.0A
+10%/-25 +10%/-25 +10%/-25 +10%/-25
%
%
%
%
Ipr
Ipr / Ips℃ ℃ ℃
500
)
63%
Trr
5
Tdr
25ns
200ns±40ns
Irr
Ipr
15%
ESDA※ ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
HBM
※
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001
Test Method304
IEC
61340-3-1Ed.1.0 2002
IEC
60749-26 Ed.1.0 2003
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003
JEDEC JESD22-A114D Mar.2006
100V 250V
40
8000V
5.33A
±10%
MM
MODEL:01MODEL:01-00055A
※ ※
※
15
35
10 50
25
75%RH
0
85%RH
(W)50×(H)242×(D)54
)
760
C 200pF±10%, R 0
18AWG
500
±1%
CR
1st
Ip1
2nd
Ip2
100V
1.75A
±10%
200V
66
Irs
400V
7.0A
±10%
3.15 3.80A
Ip1
tpm
Ip1
67 90%
90ns
30%
100ns
I100ns
0.85
1.1745A
0.29A
±10%
200ns
I200ns
I100ns
35
45%
Ip
500
(
MM
※
JEDEC JESD22-A115A Oct.1997
ESDA ANSI/ESD STM5.2-1999
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001
Reference Test Method
IEC
61340-3-2 Ed.1.0-2002
IEC
60749-27 Ed.1.0 2003
AEC-Q100-003-REV-E Jul.2003
100V 250V
41
800V
14.0A
±10%
15.
※
※ ※
※
履基※
※
2.
3.
4.
5.
42
6.
※
※
※
※
※
8
※
※
1.
2.
3.
※
43
16.
1.
2.
3.
OFF
4.
OFF
5.
6.
※
17.
※
※
※
※
※
※
TEL (0088)25-3939(
※
※
44
) / (042)712-2021※
FAX (042)712-2020
45
℃℃
℃
℃
廃持廃器守性廃時℃
静細補℃守慮廃器時属廃器廃守性属℃℃繰的X℃守慮廃器時属廃器廃守性守℃
℃
属器慮器慮℃℃
℃
℃
※
※