633nmレーザ波長校正と不確かさ

633nmレーザ波長校正と不確かさ
技 術 資 料
633nmレーザ波長校正と不確かさ
石川
純*
(平成17年4月13日受理)
Wavelength calibration and it’s uncertainty at 633nm
Jun ISHIKAWA
1.
はじめに
度,光ビート周波数測定の不確かさがそれぞれ記載され
ている.
現在,日本国における計量法上の長さ標準(特定標準
影響の大きい不確かさの要因は,ヨウ素純度,パワー
器)は,ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザ装置(波長
シフト,光ビート周波数計測の3つで,不確かさはそれ
633 nm)である.長さに関するJCSSの校正は,すべて特
ぞれ5 kHzと評価されている.しかし,実際にヨウ素安定
定標準器であるヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザにト
化ヘリウムネオンレーザに携わった経験から,筆者はこ
レーサブルであることが求められる.最上位の標準であ
の評価は,実際の不確かさより大きめであると考えてい
るヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザの使用される機会
る.この表においてヨウ素純度による不確かさは5 kHz
は限定的であり,したがってその維持・校正に関する実
と評価されているが,安定化周波数を実測してシフトの
用的な技術情報の入手は困難である.以前に筆者は,ヨ
少ないヨウ素セルを選別すれば,この不確かさは低減で
ウ素安定化ヘリウムネオンレーザの設計・製作について
きる.また,レーザパワー設定の許容範囲は50%もあり,
1)
の技術情報を公開したが ,本稿では,特に校正作業に
他のパラメータと比較すると著しく大きい.この許容範
関する実用的な技術について報告する.
囲を20%程度にすることは可能であろう.さらに,光ビ
ート周波数測定の5 kHzという不確かさの意味は明確で
2.
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザの不確かさ
ない.後節で触れるが,カウンタが正常に動作している
ときの光ビート周波数測定の不確かさは極めて小さく,
2.1
CIPM勧告における不確かさバジェット
その影響は無視できる.光ビート周波数測定における測
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザの不確かさは、
定値のばらつきはレーザ周波数の変動によるものであり,
2)
CIPMの勧告に記載されている .表1はCIPMで勧告され
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザ間の周波数測定の場
た不確かさのバジェット表である.周波数(波長)を決
合,ゲート時間を10秒に設定すると,測定標準偏差はお
定するパラメータとして,コールドフィンガー温度(ヨ
おむね2 kHz以下となる.つまり,不確かさの要因がこの
ウ素蒸気圧)とセル壁面温度(ヨウ素蒸気温度)
,周波数
バジェットシートに記載されたものだけであるならば,
変調の深さ,共振器内レーザパワーが記載されている.
より小さい不確かさが期待できるのである.
パラメータの設定不確かさと周波数変換係数を掛け合わ
せることにより周波数不確かさが求められる.ただし,
2.2
CIPMの勧告に含まれない不確かさについて
しかしながら,筆者は,CIPM勧告のバジェット表に記
共振器内レーザパワーに関しては,周波数変換係数は定
数ではなく,1 kHz/mW以下という条件が記載されている.
載されていない不確かさの存在を経験していて,10 kHz
また,パラメータを伴わない不確かさとして,ヨウ素純
という合成不確かさの値は,それゆえ妥当であると考え
ている.
* 計測標準研究部門 時間周波数科
本論文は当所における校正証明書等の不確かさ算出にお
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザのパラメータのう
ち,レーザパワーの調整はいくつかの方法で行うことが
ける一般的な考え方を記述したものであり,個別の校正証明
できる.レーザ管の電流を増減して,利得を変化させる
書等に記載される不確かさ評価とは必ずしも一致している
わけではありません.
産総研計量標準報告
Vol. 4, No. 1
方法,あるいは損失を変化させる方法である.ヘリウム
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2005年7月
石川
表1
純
CIPMの勧告によるヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザ(633 nm)の不確かさバジェット表
パラメータ
勧告値
許容範囲
周波数換算係数
不確かさ(kHz)
ヨウ素セル
壁面温度
コールドフィンガー温度
ヨウ素純度の影響
25 ℃
15 ℃
5 ℃
0.2℃
0.5 kHz/℃
-15 kHz/℃
2.5
3.0
5.0
周波数変調深さ(p-p)
6 MHz
0.3 MHz
-10 kHz/MHz
3.0
共振器内一方向光強度
10 mW
5 mW
≦1.0 kHz/mW
5.0
2台のレーザ間のビート周波数計測不
確かさ
5.0
10.0 kHz
合成標準不確かさ
表2
レーザパワー調整方法
(図2参照)
周波数のレーザパワー調整法依存性
レーザパワー
(共振器内)
周波数差
(f成分)
測定標準偏差
ミラー傾斜(A)
13.3 mW
19.2 kHz
0.8 kHz
ミラー傾斜(B)
12.3 mW
12.0 kHz
1.6 kHz
ミラー傾斜(C)
11.8 mW
0.8 kHz
0.9 kHz
ミラー傾斜(D)
13.5 mW
13.9 kHz
1.2 kHz
レーザチューブ回転(E)
12.8 mW
6.0 kHz
0.7 kHz
ネオンレーザの損失は,出力ミラーの透過,散乱,レー
ザチューブ毛細管によるビームのケラレがある.レーザ
チューブ毛細管によるビームのケラレ損失は,アライメ
ントを故意に崩すことにより調整することができる.外
部鏡レーザの場合は,ブリュースターウィンドウにおけ
る反射・散乱も損失となる.ヨウ素安定化ヘリウムネオ
ンレーザでは,レーザチューブとヨウ素セルがそれぞれ
ブリュースターウィンドウを有しており,その位置関係
をねじることにより反射損失を調整することもできる.
表2はレーザパワーの調整を,図1に示したように,アラ
イメントを崩すこと(A,B,C,D),ブリュースターウィン
ドウにおける反射を増加させること(E)によりそれぞ
図1
れ行った場合のレーザ周波数(f成分に安定化したときの
レーザパワーを最大に調整した状態から,レーザミラーを
A,B,C,D,の方向へ傾けてパワー調整を行った場合と,
参照レーザとの周波数差)を示す.レーザパワーは完全
レーザチューブを回転してブリュースターウィンドウの
に一致させることは難しいので,できるだけ等しくなる
反射を増大させてパワー調整を行った場合(E),レーザ周
ように調整した.表2から明らかであるが,レーザの周
波数はかなり変化する(表2)
.
波数には,パワー調整方法に対する強い依存性が存在す
けるヨウ素ガスの屈折率変化にあると推測されているが,
る.
定量的には十分に把握されていない.ヨウ素ガスの屈折
この依存性の原因は,定性的には共振周波数近傍にお
AIST Bulletin of Metrology Vol. 4, No. 1
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July 2005
633nmレーザ波長校正と不確かさ
率変化により,レーザビーム径の僅かな変化,およびヨ
参照周波数の不確かさの影響は,ヨウ素安定化ヘリウム
ウ素セルブリュースターウィンドウにおける屈折角に僅
ネオンレーザの不確かさの影響と比較すると完全に無視
かな変化が生じると考えられる.この変化がレーザチュ
できる.
ーブ毛細管におけるケラレ損失の変化,すなわちレーザ
出力の変化を引き起こし,周波数シフトの原因になると
3.2
光ビート信号検出
推測される.しかしながらビーム径・角度の変化は極め
光ビート信号は原理的にショットノイズを伴い,また
て僅かであり,安定化レーザ周波数の変化としてしか検
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザには6 MHz ppの周
出することができないレベルである.レーザチューブ毛
波数変調がかかっているので,カウンタの誤動作を発生
細管によるケラレ損失は,必然的に毛細管の形状の影響
させやすい.光ビート計測で最も留意すべきことは,カ
も受けるので,周波数変化のレーザチューブに対する依
ウンタ誤動作の防止である.
存性も考えられる.実際,レーザチューブを交換すると
カウンタの正常動作を実現するために必要なことは,
安定化周波数の変化,さらにパワー調整方法依存性も変
ビート信号のSNを向上させることである.光ビート信号
化することを筆者は経験している.レーザチューブ形状
は,周波数の僅かに異なるレーザ光を重ね合わせたとき
(断面形状・直線性)のより高精度な測定・加工が実現
に生じるビート(うなり)を光検出器でとらえたもので
できればこの不確かさを低減できる可能性はあるが,技
ある.良好なSNのビート信号を得るためには,第一に2
術的困難(および経済的困難)からこの方面の研究は進
光線を平行に重ねることが重要である.2光線の重ね合
んでいない.
わせが平行でない場合,光ビートの位相が検出場所に依
存して変化するので,光検出器上で打ち消しあい,検出
3.
光ビート計測の留意点
されるビート信号のレベルは小さくなる.図2に2光線を
平行に重ね合わせるための光学系を示す.2光線の平行
3.1
光ビート計測の不確かさ
の調整は,1. 図2の反射鏡の角度を調整し,半透鏡の直
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザを用いた波長安定
後で2光線が重なるようにする.2. 半透鏡の角度を調整
化ヘリウムネオンレーザの校正は,レーザ光を重ね合わ
し,半透鏡からできるだけ離れたところで2光線が重な
せて検出される光ビート信号の周波数を測定することに
るようにする.この操作を2~3回繰り返すことにより,
より行う.光ビート信号の周波数は,2台のレーザの周
2光線を平行に重ね合わせることができる.2光線の偏光
波数差の絶対値に一致するので,既知であるヨウ素安定
方向を一致させることも必要である.
化ヘリウムネオンレーザ周波数にビート周波数を加える
光ビート検出に用いる光検出器は,高感度・低ノイズ
(あるいは引く)ことにより被校正レーザの周波数を求
であることが必要であり,増倍効果をもつアバランシェ
めることができる.被校正レーザの周波数がヨウ素安定
フォトダイオードを用いたものが適している.ピンフォ
化ヘリウムネオンレーザの周波数より高い,あるいは低
トダイオード等の増倍効果を持たない光検出素子を用い
いかは,2つ以上の吸収成分の周波数と比較することに
た場合,十分なSNを得るためには入射光量を多くするこ
より判定することができる.
とが必要となり,全光線をレンズで集光しなければなら
光ビート周波数測定の不確かさは,カウンタ分解能と
ない.この場合,光線全域でビートの位相が揃っている
カウンタの参照周波数不確かさで決定される.最も単純
ことが必要で,2光線の平行性だけでなく,ビーム径,波
なゼロクロスの計数のみを行うカウンタの場合,その分
解能は1/T(Hz)となる.Tは秒で表したカウンタのゲー
トタイムである.ゲートタイムを10秒にするとカウンタ
の分解能は0.1 Hzとなる.
参照周波数不確かさの測定周波数に対する影響は,参
照周波数の相対不確かさと測定周波数の積となる.光ビ
ート周波数測定の不確かさ1 kHzを達成するためには,測
定周波数が50 MHzの場合には20 ppm,500 MHzの場合に
は2 ppm以下の相対不確かさが参照周波数に求められる.
図2
この不確かさは,温度安定化した水晶発振器であれば容
易に達成できる.校正結果に対するカウンタの分解能・
産総研計量標準報告
Vol. 4, No. 1
光ビート計測を行うための基本的な光学系。反射鏡,半透
鏡は,光軸調整を行うために微動マウントにセットさせる.
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2005年7月
石川
純
面の曲率半径も合わせなければならない.またレンズで
集光するという光学系は必然的にオートコリメータとし
ての作用を持つので,戻り光に極めて敏感なヨウ素安定
化ヘリウムネオンレーザに対して光アイソレータが必要
となる.一方,アバランシェフォトダイオードの感度は
増倍効果によりピンフォトダイオードの100倍以上にも
なり,受光部の直径が0.5 mm程度の小さなものでもレン
ズで集光することなく,十分なレベルのビート信号が得
られる.
アバランシェフォトダーオードの増倍機能を働かせる
ためには安定化した高電圧バイアス電源が必要であり,
取扱が面倒であった.しかし現在では,アバランシェフ
ォトダーオード・安定化高圧電源・RFアンプが一体とな
ったモジュールが商品化されていて,光ビート検出は非
図3
常に容易になった.筆者は,浜松フォトニクス株式会社
十分な光量が入射されると,光ビート信号には高調波が発
生する。この高調波成分は,カウンタによる周波数計測に
製のC5658型APDモジュールを使用している.このモジ
は全く影響しない.
ュールのアバランシェフォトダイオート受光面の直径は
0.5 mmと小さいが高感度であり,光ビート検出に際して
集光レンズは不要である.受光面が小さいので光軸調整
MHz ppの周波数変調がかかっている.したがって,無変
の許容範囲は大きい.集光レンズを使わなければ,受光
調安定化レーザとのビート信号には6 MHz ppの,ヨウ素
面を光軸に対して少し傾けるだけで,戻り光を十分に防
安定化ヘリウムネオンレーザ同士を比較する場合には最
ぐことができる.周波数帯域は1 MHz~1 GHzであり,
大12 MHz ppの周波数変調がかかる.この周波数変調は
ヘリウムネオンレーザ間の光ビート検出には必要かつ十
かなり大きいので,正確な周波数計測を実現するために
分である.電源は直流12 V単電源で,高圧バイアス電圧
は結線のインピーダンス整合,およびカウンタの動作原
調整の必要もない.筆者は数台のC5658型APDモジュー
理・仕様に注意しなければならない.
ルを10年にわたり使用しているが,その間に2回,1 GHz
インピーダンスに不整合があると,周波数特性に凹凸
の発振が起こるという故障を経験した.原因はいずれも
が生じる.単一周波数の信号を扱う場合には問題になら
アースの接触不良であった.
ないが,ビート信号には深い周波数変調がかかっている
ので,インピーダンス不整合が原因となり,信号の強度
3.3
光ビート信号の取り扱い
変動が引き起こされる可能性がある.インピーダンス整
C5658型APDモジュールを用いてビート検出を行った
合を実現するためには,すべての機器の入出力インピー
場合,光軸調整が良好であれば,ビート信号をスペクト
ダンス,ケーブルインピーダンス,分配器インピーダン
ラムアナライザに入力すると,図3に示したようにビー
スを統一することが必要である.しかし,インピーダン
ト周波数の高調波成分が観測される.高調波発生の原因
スを整合させるためのフィードスルー抵抗,分配器等は
は,十分な強度の光線が入射された結果,光検出器が飽
必然的に信号の損失をもたらし,信号レベルの低下は避
和することにある.この高調波成分はカウンタの動作に
けられない.本来,周波数特性を平坦化して信号レベル
悪影響を及ぼすことはない.カウンタはビート信号のゼ
の変動を防ぎ,カウンタの誤動作を避けるためのインピ
ロクロス点で動作する.入射光が増大して信号のピーク
ーダンス整合であるが,かなりの信号レベルの低下を伴
が飽和しても,ゼロクロス点における勾配がより急峻に
うので,整合を完全にすることがベストであるとは限ら
なれば,むしろノイズの影響で誤動作する可能性は小さ
ない.光ビート信号経路のインピーダンス整合は,周波
くなり動作が安定する.入射光強度を下げると信号ピー
数特性の凸凹と信号レベル低下のバランスが肝要である.
クの飽和は消滅し高調波成分の発生は抑えられるが,ゼ
一例として,高周波信号をスペクトラムアナライザ(入
ロクロス点の傾斜は緩くなり,ノイズによる誤動作の可
力インピーダンス:50 Ω)とオシロスコープ(入力イ
能性は増える.
ンピーダンス:1 MΩ)で観側するときの周波数特性を
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザは,動作原理上6
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図4に示す.まず,トラッキングオシレータの出力を直
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(a)
(c)
図4
インピーダンス不整合により発生する周波数特性の凹凸.
(a) インピーダンス整合が取れていれば周波数特性は平坦であ
る。(b) インピーダンス不整合により,大きな周波数特性の凹
凸が発生する。(c) しかし,完全に整合を取らなくても,決線
によっては周波数特性の凹凸を大幅に低減することができる.
接スペクトラムアナライザのみに入力した場合,インピ
ーダンスの整合がとれているので周波数特性は平坦であ
る(図4a).スペクトラムアナライザの入力部からTコネ
クタ(分配器でない)で分けて,その先にオシロスコー
プ(入力インピーダンス1MΩ)を接続すると,インピー
ダンスの整合が崩れ,20 dBという極めて大きなディップ
が発生する(図4b).変調を伴ったビート信号周波数がこ
のディップにかかると,カウンタ入力の変動は振幅比で
10倍近くに達し,当然ながら誤動作の可能性が高まる.
しかし,オシロスコープ(入力インピーダンス1MΩ)と
スペクトラムアナライザの接続場所を交換するだけで,
インピーダンス整合は同様に不完全であるにもかかわら
ず,周波数特性の凹凸は大幅に低減される(図4c)
.信号
レベルの低下も,高周波領域で若干増えているものの,
広帯域抵抗分配器およびフィードスルー抵抗を用いてイ
(b)
ンピーダンスマッチングを完全にとった場合の 損失
(6dB)を常に下回る.このように,結線に少し注意す
るだけで,必要十分な周波数特性の平坦化を,信号レベ
ル低下を抑えつつ実現することができる.
産総研計量標準報告
Vol. 4, No. 1
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石川
3.4
周波数カウンタ
純
周波数比較機能は,カウンタの正常動作の確認にも有
ビート信号の周波数計測には周波数カウンタが用いら
効である.アバランシェフォトダイオードにより検出し
れるが,
現在最も広く利用されている周波数カウンタは,
た光ビート信号は,6 MHz ppの周波数変調,さらにショ
米 国 Agilent 社 ( 旧 Hewlett Packard 社 ) 製 の 53131A と
ットノイズが避けられない.筆者の経験では,光ビート
53132A型である.従来のカウンタが,ゲートを開いてい
信号のレベルがカウンタ仕様の最小レベルに近い場合,
るときの信号のゼロクロス点のカウント数から周波数を
誤動作する可能性はかなり高い.カウンタの動作が正常
計算しているのに対して,このカウンタは,ゲートが開
であれば,光ビート信号を1チャンネルと2チャンネルに
いている間,1秒間に最大200,000個のカウント数データ
同時に入力して周波数比較した場合,当然周波数比はぴ
を取得して平均化することにより,極めて高い分解能を
ったり1(1±1最小デジット)となる.ノイズ等により
達成できる.しかしこの平均化機能が正常に機能するた
誤動作が発生した場合,2つのチャンネルで完全に同時
めには,入力信号の周波数変調度は25%以下であること
に誤動作が発生する可能性は極めて低いので,周波数比
3)
が求められる .先に述べたように,ヨウ素安定化ヘリ
はぴったり1にならない.つまり,ビート信号を2入力チ
ウムネオンレーザには6 MHz ppの周波数変調がかかっ
ャネルに同時に入力して,その時の周波数比が完全に1
ていて,測定される光ビート周波数によってはこの許容
になるかならないかで,誤動作の発生を判断することが
範囲を超える.特にヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザ
できる.注意すべき点は,周波数比が,例えば1%ずれて
同士の比較の場合,両方のレーザの周波数変調が合わさ
いた場合(0.99あるいは1.01),カウンタの誤動作による
ると,ビート信号の変調深さは最大で12 MHzに達する.
不確かさは1%程度である,という判断をしてはいけない
ヨウ素吸収線d, e, f, g成分については,隣接する吸収線の
ということである.カウンタの誤動作が両チャンネルで
間隔は12~13 MHzでるので,光ビート信号の周波数変調
完全に同時ではないにしても,ある程度同期して打ち消
度はカウンタの許容値を大幅に超え,誤動作を引き起こ
しあう,つまり実際の周波数測定誤差よりも小さくなる
す.
ことは十分考えられる.
カウンタの取扱説明書には,25%以下の許容周波数変
調度が要求される動作条件については記載されていない.
4.
被校正レーザの不確かさ
しかし,実際にこの動作条件を満たす必要があるのは平
均化機能が働いているときだけである.平均化機能は,
ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザ周波数(波長)不
周波数計測においてゲート開閉を時間指定,および桁数
確かさのCIPM勧告値は2.1×10-11である.CIPM勧告のエ
(分解能)指定のときに有効となる.ゲート開閉のモー
ラーバジェット表は,不確かさ要因の標記ついては不十
ドとしてはこの他にAUTOと外部入力がある.AUTOは可
分であるが,値は妥当であるということを先に述べた.
能な限り短いゲート時間で測定するモードであり,数秒
また,カウンタをはじめとする測定機器類の動作が正常
以上のゲート時間を必要とする光ビート信号周波数の計
であれば,光ビート周波数測定の不確かさは,ヨウ素安
測には適さない.したがって,このカウンタを用いて光
定化ヘリウムネオンレーザ周波数の不確かさと比較して
ビート周波数の計測を行うためには,外部入力によるゲ
遙かに小さく,完全に無視できることも述べた.したが
ートのコントロール,つまりゲート開閉信号を出す外部
って,光ビート法によるレーザ周波数(波長)測定の不
のコントローラが必要となる.
確かさは,ヨウ素安定化ヘリウムネオンレーザの不確か
53131A(53132A)型カウンタは2入力チャンネルを有
さとなる.一方,実用波長安定化レーザのビート周波数
し,2入力チャンネル間の周波数比較を行うこともでき
測定を行うと大きな周波数の変動が観測される.これは
る.この周波数比較機能では平均化機能が無効なので,
実用波長安定化レーザの周波数変動が原因であるが,あ
周波数変調度を考慮する必要はない.カウンタの後部に
る時点における周波数測定値の不確かさは,ヨウ素安定
は10 MHzの参照周波数出力コネクタがあるので,この出
化ヘリウムネオンレーザ周波数の不確かさで決定される.
力を1入力チャンネルに結合し,他の入力チャンネルに
長さ関連の校正は熱膨張による校正器物の長さ変化が不
光ビート信号を入力して周波数比較行えば,実質的に周
確かさの最大要因であり,これを低減するために校正条
波数を測定することになる.周波数を求めるためには,
件,特に温度を正確に設定することが求められる.レー
参照周波数(10 MHz)に測定された周波数比を掛ける(割
ザ周波数(波長)校正においてもこの条件設定が,長さ
る)必要があるが,外部ゲートコントローラは不要であ
関連量ということで踏襲される場合が多い.筆者は,こ
る.
の校正条件の設定は,レーザ周波数(波長)の校正には
AIST Bulletin of Metrology Vol. 4, No. 1
76
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633nmレーザ波長校正と不確かさ
適していないと考えている.まず,
レーザは熱源であり,
5.
おわりに
温度を一様にすることは不可能である.定常状態にする
ことは可能であっても,内部の温度分布は,校正室の風
筆者がレーザ波長の校正に携わって10年になる.その
量や風の当たり具合に依存するから,校正室と実際に使
間,自身で開発を行うと共にユーザーでもあるヨウ素安
用される現場でこれを等しくすることは不可能である.
定化ヘリウムネオンレーザ,光ビート法による校正など
さらに,レーザ周波数(波長)の温度依存性は,熱膨張
については,ある程度の経験を積むことができた.しか
のように必ずしも明白ではないので,温度設定の不確か
し,実用安定化レーザには直接携わった経験がない.前
さと周波数(波長)の不確かさを結びつけることができ
節で述べたように,
校正条件や不確かさの扱いについて,
ない.
現在でも模索を続けている状況である.実際に実用安定
安定化レーザの安定化機能とは,外部の温度変化や諸
化レーザの校正を行っているか利用されている方のご意
条件の変化に対してレーザ周波数を一定に保つ機能であ
見を戴くことができれば幸いである.
る.レーザの不確かさは,安定化機能の性能に大きく依
存する.したがって,レーザ周波数(波長)の校正,特
参考文献
に不確かさに関しては,安定化機能の性能が反映される
1)
ことが必要であると筆者は考えている.安定化機能の性
石川純,
「CIPM勧告準拠633 nmヨウ素安定化ヘリウ
能は,周囲の環境を積極的に変化させて,その時の周波
ムネオンレーザーの設計と製作」
,産総研計量標準モノ
数変動を測定すること確認することができる.つまり,
グラフ
2)
校正に際しては周囲の環境を,安定化レーザの仕様,あ
第2号(2003年3月)
Quinn T.J., Practical realization of the definition of the
るいは顧客の要望の範囲で変化させて,その時の周波数
metre, including recommended radiations of other optical
変動から不確かさを求めることが合理的であると考えら
frequency standards (2001), Metrologia, 2003, 40(2),
れる.
103-133
http://ej.iop.org/links/q57/Vu2sNcWmX8YaO+nbCZRrTA
/me3216.pdf
3)
53131A/132A 225 MHz ユニバーサルカウンタ,操作
ガイド
産総研計量標準報告
Vol. 4, No. 1
77
2005年7月
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