マニュアルレス × 低価格で 10μmを安定計測

マニュアルレス × 低価格で 10μmを安定計測
NEW
S
レーザ変位センサ CMOS タイプ
形ZX2シリーズ
mart Sensor
計測 判別 有 無
マニュアルレス × 低価格 で
10μmを安定計測
ウエハ計測に最適、正反射形センサヘッドをシリーズ 追加
黒塗装
白塗装
加工粗面金属
標準
価格
光沢金属
光沢
属
光沢金属
88,000円
形
ZX2
計 測 判 別 有 無
シリーズ
変化の影響を受けない
安定計測
安定
「どんなワークでも10μmオーダーで計測したい」
色・材質が変化しても、ワークが移動しても安定計測できる
PAT.P
ダイナミックレンジ200万倍のCMOS
オムロン独自のHSDR-CMOS(High Speed and Dynamic Range)イメージセンサ採用と、
レーザパワー
の無段階調整アルゴリズムにより、金属から基板・ゴム・透明体までどんな色、表面状態でも安定して計測で
きます。
リニアリティ0.05%F.S.*で10μmオーダーの計測を実現します。
ワークの色・材質が変化しても安定計測
明るいワークを計測
暗いワークを計
暗いワーク
暗いワークを計測
小
CMOSシャッター時間
CM
時
時間
大
弱
レ
ワー
レーザ投光パワー
強
スポットビーム
タイプ
2要素自動調整
2
調整
光沢金属
属
黒ゴ
ゴム
黒ゴム
ワークが変化しても
ワ
ても
光の取込量が等しくなる
光の
取込量
光沢金属
ZX2の材質によるリニアリティ特性
リニアリティ
(% FS)
リニアリティ
(% FS)
従来品の材質によるリニアリティ特性
1
0.8
0.6
0.4
0.2
0
ー0.2
ー0.4
白色セラミック
SUS304ヘアライン(平行)
ー0.6
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
ー0.6
SUS304ヘアライン(直交)
ー1
ー10 ー8 ー6 ー4 ー2 0 2 4 6 8 10
距離
(mm)
黒ゴム
1
0.8
0.6
0.4
0.2
0
ー0.2
ー0.4
白色セラミック
SUS304ヘアライン(平行)
ー0.6
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
ー0.6
SUS304ヘアライン(直交)
ー1
ー10 ー8 ー6 ー4 ー2 0 2 4 6 8 10
距離
(mm)
黒ゴム
ワークによる
ばらつきなし
ワークが移動しても安定計測
表面が粗いワークに対し、
投光ビームにラインビームを採用することで反射光量の平均化と、
測定周期30μs
で高速に受光量を補正することで、
ワーク移動によりおこる受光量変動を低減し、
ワークが移動しても安定
した計測を実現します。
従来品のワーク移動時分解能
ZX2のワーク移動時分解能
40
400
ワーク:SUS304ヘアライン
(平行)
200
誤差約400μm
100
0
ー100
ワーク:SUS304ヘアライン
(平行)
30
測定誤差
(μm)
測定誤差
(μm)
300
20
10
誤差約7μm
0
ー10
ー20
ー200
ー300
ー30
ー400
ー40
静止状態
移動状態
ワーク
静止状態
移動状態
ワーク
移動による
ばらつきなし
レーザ変位センサ
CMOSタイプ
形
ZX2
シリーズ
標準
価格
* リニアリティ:測定レンジ内で計測時に出る最大誤差
リニアリティ ±0.05%F.S.とは、形ZX2-LD50Lを40 ∼ 50mmの測定距離にて用いた場合、
測定範囲内での最大誤差が10μmになることを指します。
10μmオーダーの計測を
[安定]
ProcessCost Advantaged
誰でも使える
ZX2 SERIES
と 簡単設定
簡単
多様な計測を低価格で実現
薄型コネクタアセンブリ高さ計測
高さ
寸法
「誰でも最適状態に設定したい」
1つのボタンで簡単に、
PAT.P
選べるスマートチューニング
使用者のスキルに依存せず、
スマートチューニングボタン1つで
安定計測に必要な最適設定を実現します。
鋳造部品の形状確認
段差
ラインビーム
タイプ
センサの設定はSMARTボタンを押すだけ
チップ焼成前のトレイ反り測定
浮き
反り
ワークで選ぶ3種類のチューニング
計測するワーク種類・表面状態に合わせて選べる3つのチューニング
方法で、
より確実な設定が可能です。
粗面金属
ロボットハンドの位置決め
位置決め
Scene.1
ワークが1種の場合
シングルスマート
チューニング
1種のワークが安定検出
できるようボタン1秒押しで
最適設定
プリント基板2枚差し検出
2枚差し
Scene.2
ワークが複数混在の場合
マルチスマート
チューニング
ウエハの厚み計測
複数ワークが安定検出で
きるようワークごとにボタン
3秒押しで最適設定
厚み
Scene.3
ワークの表面状態が一定でない場合
(正反射形)
88,000円
[簡単]、そして[安価]に実現
アクティブスマート
チューニング
全部位が安定検出できる
ようボタン5秒押しで連続
チューニングし最適設定
センサヘッド
50/100mm測定レンジ × スポット/ラインビーム で
さまざまなアプリケーションに対応
ウエハ計測に最適な正反射形をシリーズ追加
形ZX2-LD50L ラインビームタイプ
形ZX2-LD50
● 測定レンジ
● 分解能
●リニアリティ
形ZX2-LD50V
スポットビームタイプ
50mm±10mm
1.5μm
ラインビーム ±0.05%F.S.
スポットビーム ±0.10%F.S.
ラインビーム 約60μm×2.6mm
スポットビーム 約φ60μm
*1
*1
●ビーム形状
● 分解能
●リニアリティ
●ビーム形状
48mm±5mm
1.5μm
スポットビーム ±0.3%F.S.
スポットビーム 約φ60μm
スポットビーム
正反射形
微小ワークを高精度に計測
ウエハを安定して計測
形ZX2-LD100L ラインビームタイプ
形ZX2-LD100
● 測定レンジ
● 分解能
●リニアリティ
スポットビームタイプ
100mm±35mm
5μm
ラインビーム ±0.05%F.S.
スポットビーム ±0.10%F.S.
ラインビーム 約110μm×2.7mm
スポットビーム 約φ110μm
*2
*2
●ビーム形状
ラインビーム
粗面ワークを安定して計測
*1 40∼50mmで使用した場合
*2 65∼100mmで使用した場合
4
● 測定レンジ
スポットビームタイプ正反射形
スマートヘッド
悪環境・省スペースに対応
悪環境でも安心計測
保護構造 IP67&ロボットケーブル& 温特0.02%F.S./℃
悪環境での使用を可能にする保護構造IP67です。またヘッドのケー
ブルおよび延長ケーブルには標準でロボットケーブルを採用している
ため可動部でも安心してお使いいただくことができます。
さらに光部品の固定をネジ止めではなく3次元UV接着を採用している
ため応力を抑えることができ、温度特性0.02%F.S./℃*を実現します。
* 室温が1℃温度変化すると計測値が0.02%F.S.( 形ZX2-LD50の場合4μm相当)
変動します。
装置への取りつけ自由度向上
世界最小*
樹脂ケース採用により世界最小のCMOSレーザ変位センサのヘッ
ドを実現。狭いスペースにも取りつけ可能です。また光学ベースに
はダイカストを採用することで、温度変化により生じる計測誤差を低
減します。
35.5mm
ケーブルは
背面より内側に
引き回し可能
* CMOSレーザ変位センサにおける2010年9月当社調べ
22.6mm
47. mm
47.5mm
10μm精度の計測
用途に合わせたリニアリティ精度
計測レンジ全てを必要としない用途で
は、より高精度な計測を実現しました。
測定中心距離より手前で使う場合、リ
ニアリティ精度が全域の場合の1/2に
■形ZX2-LD50Lの場合
50
40
50
リニアリティ±0.05%F.S.
60
40
50
リニアリティ±0.1%F.S.
*
向上します。
* 形ZX2-LD50L/LD100Lの場合
計測レンジ全てを必要としないアプリ例
計測レンジ全てを必要とするアプリ例
薄型コネクタアセンブリ高さ計測
ロボットハンドの位置決め
ラインを止めないための「見える化」
レーザ寿命表示機能
LEDが点滅しお知らせ
レーザーダイオードの寿命が近づいていることを自己検出し
て表示するので計画的にメンテナンスをすることができま
す。アンプモニタのメインデジタル表示とともに、ヘッド背面
経年劣化
のLEDでも点滅表示でお知らせします。そのためアンプが
制御盤内にあっても、ヘッドで確認でき見逃しがありません。
5
アンプ+演算ユニット
11セグLED表示 × 演算ユニット連結 で
使いやすさを実現
文字がわかる11セグLED表示
判定出力表示灯
High
(橙)
/Pass
(緑)
/Low
(橙)2色表示
十字ボタンで直感的に操作
11セグLED表示
使いやすい連結計測
6
スマートアンプ
使い勝手の良さを徹底追及
マニュアルレスで簡単に
11セグLED表示
コンパクトボディながら、11セグLED表示を採用。
■ 従来7セグLED表示と11セグLED表示の比較
アルファベットや数字を難なく読み取ることができ、
従来機種 7セグ表示
形ZX2 11セグ表示
マニュアルを確認する必要がありません。
30mm
30mm
38mm
31mm
64mm
72mm
コンパクトボディはそのまま
2つの演算を簡単に
厚み+減算モード
演算ユニットをアンプ間に接続するだけで、2台のセンサの計測値演算結果を片側のアンプに表示します。
演算機能は厚みと減算の2モードからお選びいただけます。
相互干渉防止が
また、演算ユニットを使って連結するだけで、相互干渉防止が可能です。
(最大5台まで)
■厚みモード
■減算モード
センサ①
A
センサ① 0基準
センサ② 0基準
K
S
T
A
B
センサ②
B
厚み T = K +( A + B )
段 差 S = B ー A
段取り替えを簡単に
4バンク内蔵
アンプユニット本体にバンク機能を
従来機種
形ZX2
4つ内蔵しております。バンク機能
B
B ANK 3
B ANK 2
BANAKNK 1
を切り替えるだけで4パターンの段
0
取り替えに簡単対応いただけます。
アンプユニット
+
バンクユニット
アンプユニット
本体に内蔵
7
先進の計測性能であらゆるシーンに対応
高さ・寸法
●
ICパッケージ封止前高さ測定
ICパッケージを搬送させながらの計測でも、
HSDR-CMOS
イメージセンサと独自のアルゴリズムにより、安定した計
測ができます。
浮き・反り
チップ焼成前のトレイ反り測定
周囲環境による温度変化があっても、光学ベースにダイカス
トを使用しているので、計測値の変動がほとんどありません。
●
2枚差し
プリント基板2枚差し検出
段差
鋳造部品の形状確認
●
演算ユニットを2台のアンプ間に接続するだけで、計測値
の演算を行い、簡単に段差の計測ができます。
●
鋳 造 部 品の表 面 状 態が変 動しても、ラインビームと
HSDR-CMOSイメージセンサにより、計測値の変動が
ほとんどありません。
位置決め
●
ロボットハンドの位置決め
ロボットハンドの位置決めでも、HSDR-CMOSイメージ
センサと独自のアルゴリズムにより、安定した計測ができ
ます。
厚み
ウエハの厚み計測
(正反射形)
●
8
基板の色が変わっても、HSDR-CMOSイメージセンサと
独自のアルゴリズムにより、計測値の変動がほとんどあり
ません。
●
正反射形を使用し、演算ユニットを2台のアンプ間に
接続するだけで、計測値の演算を行い、簡単に厚みの
計測ができます。
種類/標準価格
(◎印の機種は標準在庫機種です。無印(受注生産機種)の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。
)
本体
センサヘッド【外形寸法図➜P.14】
形状
光学方式
拡散反射形
ビーム形状
検出距離
ラインビーム
50±10mm
スポットビーム
40
ラインビーム
65
スポットビーム
135
48±5mm
43
形式
◎形ZX2-LD50 0.5M
55,000
◎形ZX2-LD100L 0.5M
5μm
◎形ZX2-LD100 0.5M
◎形ZX2-LD50V 0.5M
1.5μm
53
標準価格
(¥)
◎形ZX2-LD50L 0.5M
1.5μm
60
100±35mm
スポットビーム
正反射形
分解能
65,000
アンプユニット【外形寸法図➜P.14】
形状
電源
出力形式
形式
標準価格
(¥)
NPN出力
◎形ZX2-LDA11 2M
PNP出力
◎形ZX2-LDA41 2M
DC
33,000
アクセサリ
(別売) センサヘッド、アンプユニットに付属しておりませんので必要に応じてご注文ください。
演算ユニット【外形寸法図➜P.14】
通信インターフェイスユニット【外形寸法図➜P.14】
形状
形式
標準価格(¥)
◎形ZX2-CAL
10,000
形状
名称
形式
RS-232Cタイプ ◎形ZX2-SF11
標準価格(¥)
33,000
センサヘッド延長コード【外形寸法図➜P.14】
コード長
形式
標準価格(¥)
1m
◎形ZX2-XC1R
5,000
4m
◎形ZX2-XC4R
7,500
9m
◎形ZX2-XC9R
13,000
◎形ZX2-XC20R
24,000
20m
* 延長コードは複数本を連結してお使いいただくことはできません。
取りつけ金具【外形寸法図➜P.15】
適用センサヘッド
形状
形式
標準価格
(¥)
内容
4,000
取りつけ金具:1個
ナットプレート:1個
+ねじ
(M3×30)
:2個
形ZX2-LD50V
形ZX2-LD50L
◎形E39-L178
形ZX2-LD50
形ZX2-LD100L
形ZX2-LD100
◎形E39-L179
9
定格/性能
センサヘッド
(拡散反射形)
項目
形式
形ZX2-LD50L
形ZX2-LD50
光学方式
形ZX2-LD100L
形ZX2-LD100
拡散反射
光源(発光波長)
可視光半導体レーザ
(波長660nm、
1mW以下、
JIS クラス2・IEC/EN Class2・FDA Class2 *5)
測定中心距離
測定範囲
ビーム形状
ビーム径 *1
分解能 *2
リニアリティ *3
50mm
100mm
±10mm
±35mm
ライン
スポット
ライン
スポット
約60μm×2.6mm
約φ60μm
約110μm×2.7mm
約φ110μm
1.5μm
5μm
±0.05%F.S.
(40∼50mm) ±0.1%F.S.
(40∼50mm)
±0.1%F.S.
(全範囲)
±0.15%F.S.
(全範囲)
±0.05%F.S.
(65∼100mm) ±0.1%F.S.
(65∼100mm)
±0.1%F.S.
(全範囲)
±0.15%F.S.
(全範囲)
温度特性 *4
0.02%F.S./℃
使用周囲照度
受光面照度 白熱ランプ : 10,000lx以下
周囲温度範囲
動作時 : 0∼50℃、
保存時 : -15∼+70℃
(ただし、
氷結、
結露しないこと)
周囲湿度範囲
動作時・保存時 : 各35∼85%RH(ただし、結露しないこと)
耐電圧
AC1,000V 50/60Hz 1min
振動(耐久)
10∼150Hz 複振幅0.7mm X、
Y、
Z各方向 80min
衝撃(耐久)
300m/s2 6方向 各3回
(上下、
左右、
前後)
保護構造
IEC規格 IP67
接続方式
コネクタ中継タイプ
(標準コード長500mm)
質量(梱包状態)
約160g
(本体のみの質量は約75g)
材質
ケース・カバー: ポリブチレンテレフタレート、光学窓 :ガラス、
ねじ部:黄銅、
ケーブル : PVC
付属品
取扱説明書、
フェライトコア1個(TDK株式会社製 形ZCAT1730-0730A)、
レーザ警告ラベル(英字)、FDA証明ラベル
センサヘッド
(正反射形)
項目
光学方式
光源(発光波長)
形式
形ZX2-LD50V
正反射
可視光半導体レーザ
(波長660nm、
0.24mW以下、
JIS クラス1・IEC/EN Class1・FDA Class1 *5)
測定中心距離
48mm
測定範囲
±5mm
ビーム形状
スポット
ビーム径 *1
約φ60μm
分解能 *2
1.5μm
リニアリティ *3
温度特性 *4
±0.3%F.S.
(全範囲)
使用周囲照度
受光面照度 白熱ランプ : 10,000lx以下
周囲温度範囲
動作時 : 0∼50℃、
保存時 : -15∼+70℃
(ただし、
氷結、
結露しないこと)
周囲湿度範囲
動作時・保存時 : 各35∼85%RH(ただし、結露しないこと)
耐電圧
0.06%F.S./℃
AC1,000V 50/60Hz 1min
振動(耐久)
10∼150Hz 複振幅0.7mm X、
Y、
Z各方向 80min
衝撃(耐久)
300m/s2 6方向 各3回
(上下、
左右、
前後)
保護構造
IEC規格 IP67
接続方式
コネクタ中継タイプ
(標準コード長500mm)
質量(梱包状態)
材質
付属品
約160g
(本体のみの質量は約75g)
ケース・カバー: ポリブチレンテレフタレート、光学窓 :ガラス、
ねじ部:黄銅、
ケーブル : PVC
取扱説明書、
フェライトコア1個(TDK株式会社製 形ZCAT1730-0730A)、
レーザ警告ラベル(英字)、FDA証明ラベル
注. 反射率が高い物体の場合、
測定範囲外で誤検出する場合があります。
2
*1. ビーム径:測定範囲の最小径の値
(実力値)
で、
中心光強度の1/e(13.5%)
で定義しています。
定義域外に漏れ光があり、
対象物の周囲が対象物に比べて反射率が高い場合、誤検出する場合があります。
また、
ビーム径より小さいワークを検出する場合は、正しい計測値が得られない場合があります。
*2. 分解能:形ZX2-LDAに接続した場合のアナログ出力のゆらぎの幅
(±3σ)
を示します。
(形ZX2-LDAの応答時間を128msに設定し、
当社標準対象物
(拡散反射形:白セラミック、正反射形:1/4λ平面ミラー)
を中心距離とした場合の測定値を示します。)
ワークが静止状態の繰り返し精度を示すもので、
距離精度を示すものではありません。
強い電磁界内では、
分解能の性能が満足できない場合があります。
*3. リニアリティ:当社標準対象物測定時における変位出力の理想直線に対する誤差を示します。対象物によって、直線性や測定値が変わることがあります。
F.S.とは測定範囲の全範囲を示します。
(形ZX2-LD50
(L)
:20mm)
*4. 温度特性:センサヘッドと当社標準対象物の間をアルミの治具で固定した場合の値です。
(測定中心距離で測定)
*5. FDA規格のLaser Notice No.50の規定に従い、
IEC60825-1の基準にて、拡散反射形はClass2、正反射形はClass1に分類されます。
CDRHに届出済みです。
10
アンプユニット
項目
形式
形ZX2-LDA11
形ZX2-LDA41
測定周期 *1
最速30μs
応答時間
60μs/120μs/240μs/500μs/1ms/2ms/4ms/8ms/12ms/20ms/36ms/66ms/128ms/250ms/500ms
アナログ出力 *2
4∼20mA 最大負荷抵抗300Ω/±5VDCまたは1∼5VDC 出力インピーダンス100Ω
判定出力
NPNオープンコレクタ出力 DC30V
PNPオープンコレクタ出力 DC30V
(HIGH/PASS/LOW:
50mA以下 残留電圧 負荷電流10mA以下 : 1V以下
50mA以下 残留電圧 負荷電流10mA以下 : 1V以下
3出力)
負荷電流10mA超え : 2V以下
負荷電流10mA超え : 2V以下
エラー出力
レーザOFF入力/
ON時 : 0V短絡または1.2V以下
ON時 : 電源電圧 短絡または電源電圧-1.2V以内
ゼロリセット入力/
タイミング入力/リセッ
ト入力/
OFF時: 開放(漏れ電流0.1mA以下)
OFF時: 開放
(漏れ電流0.1mA以下)
バンク入力
(
機能
表示灯
電源電圧
消費電力
周囲温度範囲
周囲湿度範囲
耐電圧
振動(耐久)
衝撃(耐久)
保護構造
接続方式
質量(梱包状態)
材質
付属品
)
(
)
スマートチューニング/スケーリング/サンプルホールド/ピークホールド/ボトムホールド/
ピーク to ピークホールド/セルフピークホールド/セルフボトムホールド/アベレージホールド/
ゼロリセット/オンディレイタイマ/オフディレイタイマ/キープ・クランプ切替/(A-B)
演算 *3/
厚み演算 *3/相互干渉防止 *3/レーザ劣化検知/バンク機能
(4バンク)
/微分機能
判定表示灯 : HIGH(橙色)
、
PASS
(緑色)
、
LOW
(橙色)
、
11セグデジタルメイン表示(赤色)
、
11セグデジタルサブ表示
(橙色)
、
レーザON
(緑色)
、
ゼロリセット
(緑色)
、
イネーブル表示
(緑色)
、
メニュー表示
(緑色)
、
HIGHしきい値表示
(橙色)
、
LOWしきい値表示(橙色)
DC10∼30V リップル
(p-p)10%含む
3,000mW以下
(DC24V時 125mA以下、
DC12V時 250mA以下)
動作時 : 0∼50℃、保存時 : -15∼+70℃
(ただし、
氷結、
結露しないこと)
動作時・保存時 : 各35∼85%RH(ただし、
結露しないこと)
AC1,000V 50/60Hz 1min
10∼150Hz 複振幅0.7mm X、
Y、
Z各方向 80min
(上下、
左右、
前後)
300m/s2 6方向 各3回
IEC規格 IP40
コード引き出しタイプ
(標準コード長2m)
約200g
(本体のみの質量は約135g)
ケース:ポリブチレンテレフタレート、
カバー:ポリカーボネート、表示部:メタクリル樹脂、
ボタン:ポリアセタール、
ケーブル:PVC
取扱説明書
*1. 当社標準対象物
(白セラミック)
の場合。
*2. MENUモードにて、電流出力
(4∼20mA)
、電圧出力
(±5Vまたは1∼5V)
を選択設定します。
*3. 演算ユニット
(形ZX2-CAL)
が必要です。2台までの演算、5台までの相互干渉防止ができます。
演算ユニット
ZX2用通信インターフェースユニット
項目
形式
形ZX2-SF11
DC10∼30V ±10%(リップル(p-p)10%含む)
電源電圧
(センサアンプから供給)
720mW以下(24V時30mA以下、12V時60mA以下)
消費電力
(センサアンプの消費電流、出力電流は除く)
接続アンプユニット形式 形ZX2-LDA□□(2013年11月生産分以降)
V1.330以上
接続アンプユニット
(センサアンプバージョンはセンサアンプ電源
バージョン
投入時にサブデジタル表示灯に表示されます)
アンプユニッ卜接続可能台数
5台まで
RS-232Cポート
(D-SUB 9ピンコネクタ)
通信ポート
全二重
通信方式
調歩同期
同期方式
ASCII
伝送コード
38,400(出荷時)/9,600bps切替可能
通信速度
8bit
データビット長
なし
パリティチェック
1bit
ストップビット長
CRまたはCR+LFを自動認識
受信時
データ区切り
CR+LF固定
送信時
電源:緑、センサ通信中:緑、センサ通信エラー:赤
表示灯
外部端末通信:緑、外部端末通信エラー:赤
保護回路
電源逆接続保護
動作時
:
0∼+50℃、
保存時:−15∼+60℃
周囲温度
(ただし、氷結、
結露しないこと)
動作時・保存時:35∼85%RH
周囲湿度
(ただし、
結露しないこと)
20MΩ以上
(DC500Vメガにて)
絶縁抵抗
耐電圧
AC1000V 50/60Hz 1分間 漏れ電流10mA以下
材質
ケース:ポリプチレンテレフタレート カバー:ポリカーボネート
付属品
取扱説明書、
クランプ 2個
通信機能
項目
形式
形ZX2-CAL
適用スマートセンサアンプユニット 形ZX2-LDA11/形ZX2-LDA41
消費電流
12mA以下
(アンプユニットから供給)
動作時:0∼50℃、
周囲温度範囲
保存時:-15∼+70℃
(ただし、氷結、結露しないこと)
動作時・保存時:各35∼85%RH
周囲湿度範囲
(ただし、結露しないこと)
接続方式
コネクタタイプ
耐電圧
AC1,000V 50/60Hz 1min
10∼150Hz 複振幅0.7mm
振動
(耐久)
X、Y、Z 各方向 80min
300m/s2 6方向
衝撃
(耐久)
各3回
(上下、左右、前後)
ケース:ABS、
材質
表示部:メタクリル樹脂
質量
(梱包状態)
約50g
(本体のみの質量は約15g)
付属品
取扱説明書
11
特性データ(参考値)
角度特性
形ZX2-LD50L
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
0.2
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
0.2
たて方向の傾斜に対する角度特性
誤差
[%F.S]
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
よこ方向の傾斜に対する角度特性
誤差
[%F.S]
たて方向の傾斜に対する角度特性
1.0
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
形ZX2-LD50
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
0.2
よこ方向の傾斜に対する角度特性
1.0
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
0.2
0
0
0
0
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
ー0.8
ー0.8
20
誤差
[%F.S]
形ZX2-LD100
1.0
たて方向の傾斜に対する角度特性
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
30 40 50
傾斜角度[°
]
0.2
1.0
0
10
20
よこ方向の傾斜に対する角度特性
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
ー0.8
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
30 40 50
傾斜角度[°
]
0
10
20
形ZX2-LD100L
1.0
30 40 50
傾斜角度[°
]
たて方向の傾斜に対する角度特性
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
傾斜角度+
0.4
傾斜角度−
0.2
0.2
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
誤差
[%F.S]
10
誤差
[%F.S]
0
誤差
[%F.S]
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
1.0
傾斜角度+
傾斜角度−
0
0
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
ー0.8
ー0.8
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
30 40 50
傾斜角度[°
]
0
10
20
ー0.8
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
30 40 50
傾斜角度[°
]
30 40 50
傾斜角度[°
]
0.2
0
20
20
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.4
ー0.2
10
10
よこ方向の傾斜に対する角度特性
0.6
0
0
0
0.8
ー0.2
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0
10
20
30 40 50
傾斜角度[°
]
ー1.0
ー50 ー40 ー30 ー20 ー10
0
10
20
30 40 50
傾斜角度[°
]
材質によるリニアリティ特性
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
0.4
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
0.4
傾斜角度0°
1.0
0.6
傾斜角度 +50°
0.2
0
0
0
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
ー0.8
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
傾斜角度 0°
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
ー0.8
ー1.0
ー10 ー8
1.0
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 ー50°
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
ー1.0
ー10 ー8
誤差
[%F.S]
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
形ZX2-LD50L
0.4
0.4
傾斜角度0°
1.0
0.4
傾斜角度 +50°
0.2
0
0
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
ー0.8
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
1.0
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 ー50°
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
ー1.0
ー10 ー8
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
傾斜角度 0°
1.0
ー0.8
ー1.0
ー10 ー8
形ZX2-LD100
0.4
傾斜角度0°
1.0
0.4
傾斜角度 +50°
0.2
0
0
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
ー0.8
ー5 0 5
15
25
35
誤差
[%F.S]
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
ー15
FAR側
ー5 0 5
15
25
35
1.0
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.6
0.4
傾斜角度0°
ー1.0
ー35
1.0
傾斜角度 +50°
0.2
0
ー0.2
ー0.2
ー0.2
ー0.4
ー0.4
ー0.4
ー0.6
ー0.6
ー0.6
ー0.8
FAR側
15
25
35
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
ー1.0
ー35
35
0.4
傾斜角度 −50°
ー5 0 5
25
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.6
0
ー15
15
NEAR側
変位
[mm]
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 +50°
0.8
0
ー25
ー5 0 5
測定中心距離
0.2
ー1.0
ー35
ー15
FAR側
0.2
ー0.8
ー25
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 ー50°
傾斜角度 0°
誤差
[%F.S]
ー25
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
形ZX2-LD100L
0.4
ー0.8
ー1.0
ー35
誤差
[%F.S]
FAR側
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
傾斜角度 −50°
0
ー15
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 +50°
0.6
0.2
ー25
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
0.8
0.2
ー1.0
ー35
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
傾斜角度 −50°
0
0.4
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 +50°
0.6
0.2
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
ー6 ー4 ー2 0
2
4
6
8 10
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
0.8
0.2
ー1.0
ー10 ー8
白色セラミック
SUS304鏡面仕上げ
黒ゴム
0.8
0.4
0.2
ー1.0
ー10 ー8
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 +50°
傾斜角度 −50°
0.2
12
よこ方向の傾斜がある場合
傾斜角度 ー50°
誤差
[%F.S]
傾斜角度 0°
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
形ZX2-LD50
注 X軸の変位とはアンプユニットに表示する測定距離を示しま
す。アンプユニットに表示する測定距離は測定中心距離を0
とし、センサから近距離側をプラス、遠距離側をマイナスで
表示します。
ー0.8
ー25
ー15
FAR側
ー5 0 5
15
25
35
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
ー1.0
ー35
ー25
ー15
ー5 0 5
FAR側
測定中心距離
15
25
35
NEAR側
変位
[mm]
角度特性
2.0
0.5°
1.0°
傾斜角度+
1.5
2.5
10.5°
2.0
1.0
0.5
-1.0°
-0.5°
0°
0.5°
1.0°
傾斜角度+
傾斜角度−
1.5
傾斜角度−
1.0
よこ方向の平面ミラーに対する角度特性
3.0
たて方向のシリコンウエハに対する角度特性
3.0
2.0
1.5
1.0
0.5
-1.0°
-0.5°
0°
2.5
0.5°
1.0°
傾斜角度+
傾斜角度−
0.5
誤差
[%F.S]
-1.0°
-0.5°
0°
2.5
誤差
[%F.S]
たて方向の平面ミラーに対する角度特性
3.0
誤差
[%F.S]
誤差
[%F.S]
形ZX2-LD50V
よこ方向のシリコンウエハに対する角度特性
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0
ー0.5
ー1.0
ー1.0
ー1.0
ー1.0
ー1.5
ー1.5
ー1.5
ー1.5
ー2.0
ー2.0
ー2.0
ー2.0
ー2.5
ー2.5
ー2.5
ー3.0
ー5 ー4
ー3.0
ー5 ー4
ー3.0
ー5 ー4
たて方向のガラスに対する角度特性
3.0
-1.0°
-0.5°
0°
2.5
2.0
0.5°
1.0°
傾斜角度+
1.5
傾斜角度+
傾斜角度−
ー2.5
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
ー3.0
ー5 ー4
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
よこ方向のガラスに対する角度特性
2.5
2.0
1.0
0.5
0.5°
1.0°
3.0
1.5
傾斜角度−
1.0
誤差
[%F.S]
0
ー0.5
誤差
[%F.S]
0
ー0.5
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
-1.0°
-0.5°
0°
0.5
0
ー0.5
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
10.5°
10.5°
-1.0°
-0.5°
0°
0.5°
1.0°
傾斜角度+
傾斜角度−
0.5
0
0
ー0.5
ー0.5
ー1.0
ー1.0
ー1.5
ー1.5
ー2.0
ー2.0
ー2.5
ー2.5
ー3.0
ー5 ー4
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
ー3.0
ー5 ー4
ー3 ー2 ー1 0
1 2
3 4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
材質によるリニアリティ特性
誤差
[%F.S]
形ZX2-LD50V
傾斜角度 0°
1.0
平面ミラー
シリコンウエハ
ガラス
0.8
0.6
0.4
10.5°
傾斜角度0°
0.2
0
ー0.2
ー0.4
ー0.6
ー0.8
ー1.0
ー5
ー4
ー3 ー2 ー1 0
1
2
3
4
5
FAR側
NEAR側
測定中心距離
変位
[mm]
注 X軸の変位とはアンプユニットに表示する測定距離を示します。
アンプユニットに表示する測定距離は測定中心距離を0とし、
センサから近距離側をプラス、遠距離側をマイナスで表示します。
13
外形寸法
本体
センサヘッド
基準面
形ZX2-LD50/形ZX2-LD50L
形ZX2-LD100/形ZX2-LD100L
形ZX2-LD50V
(9.7)
投光軸
取りつけ寸法図
2-φ 3.2
(取りつけ穴)
基準面
22.6
35.5
L*
(測定中心距離) 4
投光軸
9.7
10.1
10.5
27.5
取りつけ
基準面
レンジ
表示灯
6
4
7
7
2-M3
基準面
4.8
20.9
*
35.3
A
16.7
39.5
受光軸
4±0.05
取りつけ
基準面
47.5
43.5±0.05
4.8
投光中心
15.1
28.43
レンジ
表示灯
レーザ
警告灯
4±0.05
31.5±0.05
φ12.6
ビニル絶縁丸形コード
φ4.7 4 芯(導体断面積:0.086mm2/
絶縁体径:φ0.9mm)標準長さ 0.5m
最小曲げ半径:30mm
29.8
*形 ZX2-LD50(L)
の場合、L=50、A=21°
形 ZX2-LD100(L)
の場合、L=100、A=11.5°
注 . センサヘッドから100mm 以内に付属のフェライトコア
(φ16.5、長さ30mm)
を取りつけてください。
アンプユニット
形ZX2-LDA11/形ZX2-LDA41
11.7 18
*1 カバー開放時最大高さ:56
*2 接続時最小長さ:50
72
6.2*2
30
(カバー開放時84.6)
4.2
47.6
50
ビニル絶縁丸形コード
φ5.2 11芯
(導体断面積:0.09mm2/絶縁体径:φ0.7mm)
注.アナログ出力線(黒)
は二重シールド構造で絶縁体径がφ2.3㎜となります
標準長さ 2m 最小曲げ半径:30mm
9.6
34.2
16.6
16.9
20.7
36.8
38.4*1
10.9 15.4 6.1
アクセサリ
(別売)
演算ユニット
ZX2用通信インターフェースユニット
形ZX2-CAL
形ZX2-SF11
センサ通信表示灯
(通信中)
センサ通信表示灯
(通信エラー)
連結コネクタ
24.9
連結表示灯
電源表示灯
外部端末通信表示灯
(通信エラー)
連結コネクタ
15.1
57
12
8
4.2
3
30
44.05
外部端末通信表示灯
(通信中)
64.3
(46)
9.5
31.5
15
30
14.4
4.2
(336)
15
3.4
ビニル絶縁丸形コード
φ5.23 標準100mm
13.2
5
36.7
11.7
36.8
13
29
2.2
4.3
(33.1)
11.7
コネクタ
センサヘッド延長コード
形ZX2-XC1R
形ZX2-XC4R
形ZX2-XC9R
形ZX2-XC20R
14
φ12.6
アンプユニット接続
コネクタ
(メス 6極)
29.8
L*
3
28.9
ビニル絶縁丸形コード φ4.7
(形ZX2-XC20RのみΦ5.1)
φ12
センサヘッド接続
コネクタ
(オス 6極)
5 6.55
*L 長さは以下のとおりです。
形ZX2-XC1R:1m、
形ZX2-XC4R:4m、
形ZX2-XC9R:9m、
形ZX2-XC20R:20m
最小曲げ半径:30mm
注 . 両端100mm 以内に付属のフェライトコア
(φ16.5、長さ30mm)
を取りつけてください。
CADデータ
取りつけ金具
取りつけ金具
形E39-L178
形E39-L179
取りつけ金具
ナットプレート
(36.4)
31.4
取りつけ金具
6
5
2×R3
2×M3
P=0.5
(36.6)
31.6
ナットプレート
6
5
2×R3
2×M3
P=0.5
5
5
φ3.2
φ3.2
.1
.1
R48
R48
54.1 48.1
58
54.1 48.1
56
3.5
3.5
23
23
24.5°
(正反射取りつけ)
34.7°
(拡散反射取りつけ)
8.8
材質:ステンレス(SUS304)
厚み:2.0mm
34.7°
(拡散反射取りつけ)
8.8
3.2 14
3.2 14
12
12
材質: ステンレス
(SUS304)
厚み:3.0mm
付属: +ねじ
(M3×30)2個
ナットプレート1個
2×R3
3.2
5.2
29.2°
(正反射取りつけ)
材質:ステンレス(SUS304)
厚み:2.0mm
16.8
9.6
(26.4)
3.2
5.2
2×R3
16.8
9.6
(26.4)
材質: ステンレス(SUS304)
厚み:3.0mm
付属: +ねじ(M3×30)2個
ナットプレート1個
*形ZX2-LD100
(L)
を通常の拡散反射設置または正反射設置される場合にお使い下さい
正反射設置方法
正反射設置方法(拡散反射形を正反射設置)
取りつけ金具(形E39-L178)使用の場合
取りつけ金具(形E39-L179)使用の場合
*1
(32)
22.6
+ねじ
*1
取りつけ金具
*1 測定距離基準位置は
取りつけ金具端面です。
*2 正反射形は本体を反時計方向へ
回転させた状態で固定し、
微調整を行ってください。
注 . 本体を取りつけ金具に留める場合は、本体の
警告ラベル側よりねじを挿入し固定してください。
(32)
22.6
ナットプレート
ナットプレート
10.5°
*2
+ねじ
5.75°
*2
取りつけ金具
*1 測定距離基準位置は
取りつけ金具端面です。
*2 正反射設置は本体を反時計方向へ
回転させた状態で固定し、
微調整を行ってください。
注 . 本体を取りつけ金具に留める場合は、本体の
警告ラベル側よりねじを挿入し固定してください。
取りつけ金具を使わない場合
ワークに対して以下のように傾けて設置してください。
形ZX2-LD50V
79.4±0.05
48
(測定中心距離)
(43.85)
ワーク
(19.85)
10.5°
±0.1°
角度が10.5°±0.1°となるように
取りつけを調整してください。
*10.5°
に取りつけた場合の取りつけ穴
寸法は内値(参考値)となります。
15
拡散反射形設置方法
取りつけ金具(形E39-L178、形E39-L179)使用の場合
*1
+ねじ
取りつけ金具を使わない場合
ワークに対して以下のように設置してください。
(32)
22.6
L*
(測定中心距離)
ナットプレート
31.5
±0.05
39.5±0.05
取りつけ金具
ワーク
4±0.05
*1 測定距離基準位置はセンサ検出面です。
*形ZX2-LD50
(L)
の場合:50
形ZX2-LD100
(L)
の場合:100
注 . 本体を取りつけ金具に留める場合は、本体の
警告ラベル側よりねじを挿入し固定してください。
ご要望にジャストフィット!オムロンの幅広い
オムロンの幅広い商品ラインナップ
い商品ラインナッ
ップ
計 測
ZX2
判別
ZX0
有 無
アンプ分離形
E32+E3X-HD
2+E3X HD
ファイバ形
アンプ内蔵形
CMOSレーザ変位センサ
CMOSレーザセンサ
CMO
ファイバユニット+スマートファイバアンプ
ファイバ
カタログ番号:SCEA-154
カタログ番号:SCEA-163
カタロ
カタログ番号:SCEA-165
カタログ
「アプリ」×「商品群」で最適機種が選べる『汎用センサ セレクションガイド』:カタログ番号:SCEA-166
「アプリ
本誌には主に機種のご選定に必要な
内容を掲載し、ご使用上の注意事項等は
掲載しておりません。
ご使用上の注意事項等、
ご使用の際に必要な内容につきましては、
必ずユーザーズマニュアルをお読みください。
本誌に記載の標準価格はあくまで参考であり、確定されたユーザ購入価格を表示したものではありません。
本誌に記載の標準価格には消費税が含まれておりません。
● 本誌に記載されているアプリケーション事例は参考用ですので、
ご採用に際しては機器・装置の機能や安全性を
ご確認の上、
ご使用ください。
● 本誌に記載のない条件や環境での使用、
および原子力制御・鉄道・航空・車両・燃焼装置・医療機器・娯楽機械・安全
機器、
その他人命や財産に大きな影響が予測されるなど、特に安全性が要求される用途に使用される際には、当社の意
図した特別な商品用途の場合や特別の合意がある場合を除き、当社は当社商品に対して一切保証をいたしません。
● 本製品の内、
外国為替及び外国貿易法に定める輸出許可、承認対象貨物(又は技術)
に該当するものを輸出
(又は
非居住者に提供)
する場合は同法に基づく輸出許可、承認(又は役務取引許可)
が必要です。
●
インダストリアルオートメーションビジネスカンパニー
●製品に関するお問い合わせ先
お客様相談室
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クイック
オムロン
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www.fa.omron.co.jp
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■営業時間:8:00∼21:00 ■営業日:365日
●FAXやWebページでもお問い合わせいただけます。
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カタログ番号
SCEA-154F
O CSM_11_2_0715
2015年7月現在 ①YN○
C OMRON Corporation 2011-2015 All Rights Reserved.
○
お断りなく仕様などを変更することがありますのでご了承ください
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