1/13 -期待される用途- http://www.toyokokagaku.co.jp/

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真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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真空の圧力を測るための必需品!
キヤノンアネルバ製
http://www.toyokokagaku.co.jp/
【真空計シリーズ】
概要
真空計(Vacuum Gauge)とは圧力センサーの一種
であり、大気圧よりも低い圧力(負圧)の領域を計測
する為の真空機器です。真空計にはアナログのブル
ドン管のように-0.1MPa が測定下限という製品もあり
ますが、キヤノンアネルバ社の真空計は、更に低い
領域を含め高い精度で計測する事ができます。
圧力単位は絶対圧で「Pa(パスカル)」で表します。
真空計は真空装置において真空ポンプと並ぶ必
需品ですが、デリケートな部品でもあるため、選定の
際は、表示できる圧力領域だけで選ぶのではなく、シ
ステムとプロセス条件に適合する機種を選定する必
要があります。キヤノンアネルバ社の真空計は、真空
に関わる様々な設備やシステムに対応できるよう多
彩な種類を揃えており、多くの納入実績を誇ります。
-期待される用途-
大気圧から超高真空までの幅広い真空領域の計測に
・
・
・
各種真空装置(半導体製造装置、液晶製造装置、スパッタ装置、アッシング、蒸着装置、CVD装置、エッチング装置、イオ
ン注入装置、ガス分析装置、電子顕微鏡、真空炉、真空乾燥設備、真空冶金設備、真空排気装置)の真空計として
真空配管、真空気密検査、各種真空を用いる実験・開発、真空ポンプの能力チェック
ブルドン管型の圧力計や、圧力トランスミッター、アナログ式真空計からの置き換えによる信頼性の高い圧力計測
―シリーズ紹介―
■ トランスデューサ型真空計(2~6 ページ)
測定子(ゲージヘッド)と回路部(トランスデューサ)が一体となったモデルです。測定原理方式の異なる5種類(キャパシタ
ンスゲージ・ピラニゲージ・コールドカソードピラニゲージ・イオンゲージ・クリスタルイオンゲージ)の真空計をシリーズ共通
の表示器で制御する事ができます。
専用の表示器を使わなくても、コネクタを介して真空計本体に起動電力を投入すれば、圧力に応じた 0~10V の電圧や接
点出力を取り出す事ができますので、自動機やタッチパネル上に圧力を表示させる装置にも転用する事ができます。
■ 真空計シリーズ(7~11 ページ)
トランスデューサ型以外の真空計のシリーズです。3種類の真空計(電離真空計・クリスタルゲージ・サーモカップルゲー
ジ)があります。電離真空計は、測定領域や測定子の種類に応じた5種類の真空計に分類され用途に応じて使い分けされ
ます。電離真空計とサーモカップルゲージは、測定子の交換時に真空調整や大気調整などが不要なため、扱いが容易で
す。またチャンバーのベーキング(加熱によるガス出し)にも対応できるという利点があります。
真空計別 推奨圧力測定範囲
真空計の種類
モデル
推奨測定圧力範囲(Pa)
-9 -8 -7 -6 -5 -4 -3 -2 -1 1 10 100 1000 10000 ATM
M-342DG(133KPa)
M-342DG(13.3 KPa)
キャパシタンスゲージ
M-341DG(1330Pa)
M-341DG(133Pa)
M-350PG/M-351PG
ピラニゲージ
M-360CP
コールドカソードピラニゲージ
M-311HG
イオンゲージ
M-336MX
クリスタルイオンゲージ
M-431HG
M-833HG
電離真空計
M-723HG
(-1乗Pa~200Paはオプション)
M-823HG
M-923HG
M-320XG
クリスタルゲージ
M-012DM
サーモカップルゲージ
※この表の範囲は目安です。
超高真空 高真空 中真空 低真空
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---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------〒211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪 370 東横化学株式会社 機器・装置事業部 真空営業チーム TEL:044-435-5856 FAX;044-434-9091
真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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キヤノンアネルバ製 トランスデューサ型真空計
特徴
■ コンパクト、省配線、CE マーキング対応、低消費電力
■ 豊富なラインナップ
■ シリーズ共通の表示器(M-601GC/M-603GC)にて真空
計の種類を自動認識
■ 全機種 RoHS 指令対応
■ ゲージヘッド交換可能(交換時にゼロ点・大気調整必要)
キャパシタンスゲージ M-341DG/M-342DG
シリコン製ダイヤフラムを用いた隔膜式の真空計で「ダイヤフラムゲージ」とも呼ばれます。他
の真空計に比べ狭い圧力領域しか測定できませんが、精度は非常に優れています。
他の真空計はガスの種類によって本来同じ圧力であるにも関わらず数値が異なる特性(ガス
依存性)がありますが、隔膜式のキャパシタンスゲージは、圧力によって隔膜を押す力(引く力)
が変わる性質で、隔膜と一体になっている電極が微少に動くことで変化する静電容量(キャパシ
タンス)を圧力値として出力しています。その為、大気、ヘリウム、その他混合ガスで計り比べても
同じ値を示します。また、温度補正機能を有している為、ダイヤフラムが熱膨張により受ける影響
も自動で補正するため高い精度で圧力をモニタリング・制御したい用途に向いています。
従来からの M-341DG シリーズに加え、2013 年 6 月より、基本性能を向上させた黒い外装の
M-342DG シリーズが発売されました。
ピラニゲージ M-350PG/M-351PG
真空業界では最も一般的に普及している真空計で、大気圧から 0.05Pa(5×10-2Pa)までの圧
力領域が測定できます。タングステン製フィラメントと電極が真空下に曝されている状態で、フィラ
メントから奪われる熱量が周辺のガスの量(圧力)に応じて変動し、同時に電極間の抵抗値が変
わるという現象を利用して圧力を導き出す真空計です。大気圧から 1Pa 以下の領域までをカバ
ーするため、ほとんどの真空設備に使用する事が可能です。
M-351PG はニッケル製フィラメントを採用し耐食性を高めているので、腐食性ガスが来るのライ
ンでは有効です。
コールドカソードピラニゲージ M-360CP
真空中の磁界が掛かった電極間で発生する冷陰極放電の電流値が圧力変動と共に変わる性
質を利用して圧力を測定するコールドカソードゲージに、大気圧側を見るピラニゲージを一体化さ
せたコンビネーションゲージです。大気圧から-7乗 Pa 台までの広範囲を測定できます。コール
ドカソードゲージのセンサー部は、電極部が汚れても、クリーニングによる再生が可能です。
イオンゲージ M-311HG
「電離真空計」や「B-A ゲージ」と呼ばれる高真空領域を測る真空計です。熱フィラメントから出
る電子によりガスをイオン化させ、イオンコレクタという電極に流れる電流値を圧力として出力しま
す。M-311HG は 10Pa から-7 乗 Pa 台の測定に用いられますが、フィラメントの汚れや大気突入
に弱くデリケートな真空計とも言えます。M-311HG のセンサーは「MG-2 シリーズ」で、フィラメント
を 2 本備えているためフィラメント劣化から起きる不具合の際には切り替えが可能です。
クリスタルイオンゲージ M-336MX
圧力が低くなるに伴い水晶の振動周波数が変化する作用を利用して圧力を測るクリスタルゲー
ジと、高真空領域を測定するイオンゲージ(電離真空計・B-Aゲージとも言う)が一体となったコ
ンビネーションゲージです。大気圧から超高真空の-8 乗 Pa 台までを1つの真空計でカバーす
る事ができます。イオンゲージのフィラメント点灯も自動で行われるため、大気圧と高真空を繰り
返す装置で簡単に使う事ができます。イオンゲージ部のフィラメントは 1 本となります。
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キャパシタンスゲージ M-341DG/M-342DG 仕様
型式
圧力測定範囲(Pa)
測定精度
(% of reading)
ゼロ点温度係数
(%of Full-scale/℃)
スパン温度係数
(% of reading /℃)
測定加圧限界(KPa)
入力電圧
消費電力
セットポイント出力
アナログ出力
RS485 対応
最大ケーブル長
使用温度範囲
交換用センサー
センサー材質(主要部)
フランジ形状
-01
0.13~133
M-341DG
-11
-12
1.3~1330
13~13300
-13
133~133000
M-342DG
-12
-13
13~13300
133~133000
0.25%
0.015
0.20%
0.005
0.01
0.002
0.005
200KPa(2気圧、ゲージ圧では 0.01MPa)
※但し VCR、ICF70 以外の継ぎ手は内部が陽圧にならないこと
DC+13.5~26.4V
0.5W 以下
なし
0~10V
なし
20m(0.13mm2)
5~50℃
なし
SUS304、SUS316、Al2O3、Si、パイレックス®
NW16、NW25、ICF70、1/2“VCR メス、φ15 チューブ(M-342 は非対応)
M-341DG 外観
M-342DG 外観
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ピラニゲージ M-350PG/M-351PG 仕様
型式
圧力測定範囲(Pa)
測定精度(25℃、水平取付)
入力電圧
消費電力
セットポイント
アナログ出力
最大ケーブル長
使用温度範囲
交換用センサー
センサー交換時作業
センサー材質(主要部)
フランジ形状
M-350PG-SD
(標準)
M-350PG-SP
(セットポイント付)
-2
M-350PG-RS
(RS485 通信)
M-351PG-SP
(耐腐蝕)
5
5×10 ~1×10 (0.05Pa~大気圧)
0.05~0.1Pa ±50% 、 0.1~10000Pa ±15% 、10000Pa~大気圧 ±50%
DC+14~30V
1W
2W
なし
2 点接点出力(DC30V、1A)
0~10V
なし
0~10V
2
200m(0.34mm )
5~60℃
MP-1
MP-2
-2
大気圧調整+真空調整(1.0×10 Pa 以下)
フィラメント:タングステン
フィラメント:ニッケル
ケース:SUS304
ケース:SUS304
NW16、NW25、ICF34、1/8“NPT メス、φ15、φ18
NW16、NW25
コールドカソードピラニゲージ M-360CP 仕様
型式
M-360CP-SP
(セットポイント付)
-7
圧力測定範囲
5
5×10 ~1×10 (Pa)
測定精度(25℃)
入力電圧
消費電力
セットポイント
アナログ出力
最大ケーブル長
使用温度範囲
センサー型名
センサー交換時調整
センサー材質(主要部)
フランジ形状
M-360CP-RS
(RS485 対応品)
1×10
-6
Pa~10000Pa ±30%
DC+15~30V
3W
2 接点出力(DC30VD、1A)
0~10V
なし
2
300m(1mm )
5~55℃
CP-1
-2
大気圧調整+真空調整(1.0×10 Pa 以下)
フィラメント:タングステン、電極:モリブデン、ケース:SUS304
NW25、NW40、ICF70
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クリスタルイオンゲージ M-336MX 仕様
型式
M-336MX-SP
(セットポイント付)
-8
圧力測定範囲
測定精度(25℃)
入力電圧
消費電力
セットポイント
アナログ出力
最大ケーブル長
使用温度範囲
交換用センサー
センサー交換時調整
センサー材質(主要部)
フランジ形状
M-336MX-RS
(RS485 対応品)
5
4×10 ~1×10 (Pa)
1×10
-6
Pa~1Pa ±15% 、 50Pa~大気圧 ±20% 、
(1~50Pa と 100~5000Pa の精度は除く)
DC+20~28V
12W
2 接点出力(DC30V、1A)
0~10V
なし
2
300m(1mm )
5~50℃
MX-1
-2
大気圧調整+真空調整(1.0×10 Pa 以下)
フィラメント:イットリアコートイリジウム、ケース:SUS304
NW16、NW25、NW40、ICF70
イオンゲージ M-311HG 仕様
型式
M-311HG-SP
(セットポイント付)
M-311HG-RS
(RS485 対応品)
-7
圧力測定範囲
1×10 ~10(Pa)
測定精度(25℃)
入力電圧
消費電力
セットポイント
アナログ出力
最大ケーブル長
使用温度範囲
交換用センサー
センサー交換時調整
センサー材質(主要部)
フランジ形状
1×10 ~1Pa ±15%
DC+20~28V
12W
2 接点出力(DC30V、1A)
-6
0~10V
なし
2
200m(1mm )
5~50℃
MG-2I シリーズ
なし
フィラメント:イットリアコートイリジウム、ケース:SUS304
NW16、NW25、NW40、ICF70
(NW25 仕様) 全長 141mm 全幅 70mm 厚み 50mm
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トランスデューサ型真空計
全シリーズの共通仕様
入出力コネクタ
保存温度範囲
保護規格
CE マーキング
RoHs 指令
D-sub9 ピン
-20~70℃(非動作時)
IP40対応(直径1mm 以上の固形異物が侵入しない)
対応
対応
トランスデューサ型真空計 表示器仕様
型式
接続チャンネル数
セットポイント
アナログ出力
レコーダー出力
通信機能
ディスプレイ
表示桁数
表示単位
指数表示
圧力トレンド表示
使用温度範囲
保存温度範囲
ゲージ認識
ゲージケーブル
入力電圧
消費電力
外形寸法
保護規格
CEマーキング
RoHs指令
M-601GC
(1ch接続タイプ)
1ch
2点
1
M-603GC
(3ch接続タイプ)
3ch(常時3ch表示)
6点(2点×3ch)
3(1×3ch)
1
M-603GC 表示画面例
3(1×3ch)
RS232C
バックライト付LCD
カラーTFT LCD
5桁(4桁切替可)
Pa/torr/mbar
あり
あり
なし
あり
5~50℃
5~40℃
-20~60℃
全種類自動認識
601-005、601-010 など
AC90~250V
50VA
100VA
84×106.3×212
128.5×106.3×212
IP30(直径 2.5mm 以上の固形異物が侵入しない)
対応
対応
1ch 表示器 M-601GC
3ch 表示器 M-603GC
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キヤノンアネルバ製 真空計シリーズ
特徴
■
■
■
■
真空計の定番シリーズ
実験用から生産用の設備の様々な真空装置に対応
測定子のベーキングにも対応(クリスタルゲージ以外)
種類と拡張性に富む電離真空計
クリスタルゲージ M-320XG
水晶振動子の振動周波数は圧力が低くなると振動数が増える仕組みを応用して真空の圧力
を計測する真空計です。大気圧から 0.1Pa までの領域を精度良く計測する事ができます。ピラ
ニゲージのように熱フィラメントを用いないため、省電力である事と、熱源とプロセス成分が反応
しない安全な構造となっています。測定子とコントローラが一体となったデザインのため、表示
器を使わずに圧力信号を直接出力する事もできます。
サーモカップルゲージ M-012DM
熱電対型真空計とも呼ばれる温度センサーを応用した真空計です。原理はピラニゲージと似
ていてセンサー内部の回路の温度の変動を、熱電対で監視し圧力に変換します。回路が単純
なため安価ですが、読み取れる真空のレベルは 200Pa~0.5Pa の範囲に留まります。
あら引きポンプとターボ分子ポンプ間の配管の圧力監視や、ピラニゲージやクリスタルゲージ
ほど精度を求めなくても構わないような、大まかに圧力を確認する用途に適しています。
視認性の良い LED 表示でアナログ針の真空計をイメージしたデザインとなっています。
電離真空計 M-723HG / M-823HG / M-923HG / M-833HG / M-431HG
真空下で白熱灯のように光る熱フィラメントから飛び出した電子が周辺を浮遊するガスにぶ
つかると、ガスはイオン化されます。電離真空計はイオン化したガスがイオンコレクタという電極
に流れ込み、その電流値を圧力として出力する真空計です。高真空~超高真空の領域を精度
良く計測する場合に優れています。
それぞれの機種では測定可能な領域や測定子の仕様が異なる 5 種類があります。
M-723HG と M-823HG はガラスの測定球、M-923HG は超高真空を測定するため電極が露出
したヌードイオンゲージ球です。M-833HG と M-431HG は省スペースで扱い易い金属製のミニ
チュア B-A ゲージ球「MG-2 シリーズ」用の真空計です。
オプションの拡張ボードを増設する事により、サーモカップルゲージの増設や、測定子を 2 つ
接続して使う事もできるので、様々な装置やプロセスに対します。
ICF フランジで接続するタイプの測定子では、測定子自体が高温(MAX400℃)のベーキングに
耐えられるため、超高真空領域の測定に対応しています。ケーブルを配線したまま加熱ができ
るベーカブルケーブルがオプションで用意されます。
電離真空計(B-A ゲージ)の測定子見本
MG-2 シリーズ(メタル)
UGD-1S(ガラス)
※φ15mm の測定子は専用のゲージアダプタを使って接続します。
BRG-1B(ガラス)
NIG-2F(ヌード)
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真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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クリスタルゲージ M-320XG 仕様
型式
圧力測定範囲
ガス種選択
アナログ出力
リモート I/O
セットポイント
動作温度
ゼロ点調整
フルスケール調整
入出力コネクタ
表示
所要電力
外形寸法
質量
フランジ種類
M-320XG
専用表示器 M-390
-1
1×10 Pa~大気圧
N2 、Ar、 H2、 Air
DC0~10V(Log 出力、複合出力、リニア出力)
INPUT:ガス種設定、ゼロ点調整、ATM 設定
OUTPUT:セットポイント出力 2 点
2点
5~50℃
PUSH スイッチまたはリモート I/O 入力
トリマーボリュームによる調整
D-SUB15P
LED3 ヶ所(POW/ALM、SP-1、SP-2)
DC22~33V 消費電力 2W
H72.5×W102×D44.5mm(ゲージヘッド含まず)
200g(ゲージヘッド含まず)
NW16、NW25、ICF34、ICF70
表示桁数
パネルサイズ
セットポイント
外部出力
M-320XG 供給電源
所要電力
外形寸法
質量
AC ケーブル
接続ケーブル
仮数 2 桁+指数 1 桁
1/8JIS ラック
2点
アナログ出力
ステータス出力
DC24V
AC85~132V
H99×W51.5×D253
1300g
2m
別売
A-NET 表示器 M-390
M-320XG(NW16 フランジ)
サーモカップルゲージ M-012DM 仕様
型式
圧力測定範囲
圧力表示
アナログ出力
セットポイント
動作温度
ゼロ点調整
所要電力
外形寸法
質量
標準構成
M-012DM
測定子 TG-550C
-1
5×10 Pa~200Pa(大気圧から通電可能)
LED バーグラフ表示(疑似アナログ表示)
DC0~10mV(圧力に対しノンリニア)
2 点(DC30V 2A、AC250V2A)
10~40℃
PUSH スイッチまたはリモート I/O 入力
AC90~230V 5W
H72.5×W102×D44.5mm(ゲージヘッド含まず)
250g(本体)
M-012DM 本体 、電源ケーブル 1.8m
測定子 TG-550C(φ15)、ゲージケーブル 5m 各 1
形状
メタル管球
ボディ材質
接続形状
耐熱温度
SUS304
φ15mm
150℃(コネクタ含まず)
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真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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電離真空計 M-722HG/ワイドレンジ電離真空計 M-823HG/超高真空計 M-923HG
品名
型式
適用
測定子
名称
型式
継手
ベーキング
フィラメント
推奨測定範囲
圧力表示
圧力レンジ切換
エミッション電流
(フィラメント電流)
ガス出し(DEGAS)
フィラメント保護
外部入力
外部出力
レコーダー出力
RS-232C 通信
増設ボード
所要電力
外形寸法/重量
使用環境
電離真空計
ワイドレンジ電離真空計
M-723HG
M-823HG
B-A ゲージ球
ワイドレンジ B-A ゲージ球
UGD-1S
BRG-1B
φ15(オプション ICF70)
150℃(O リングシール時)、400℃(ICF70 フランジ)
タングステンフィラメント 2 本
-6
トリアコートイリジウム 1 本
-6
超高真空計
M-923HG
ヌードイオンゲージ球
NIG-2F、NIG-2TF
ICF70
400℃
タングステン 2 本(2F)
トリアコートイリジウム 2 本(2TF)
-9
-2
10 Pa~10Pa
10 Pa~10 Pa
デジタル表示(表示周期 0.5 秒)
自動(レンジホールド機能あり)
400μA/4mA
40μA/400μA/4mA
400μA/4mA
自動切り替え(切り替え圧力ポイント変更可能)または固定
グリッド通電方式
電子衝撃方式
-1
1
1.33×10 Pa 以上
1.33×10 Pa 以上
1.33×10-1Pa 以上
フィラメント ON/OFF、デガス ON/OFF、フィラメントインビット、
ゲージセレクト(オプション使用時)、レンジホールド ON/OFF、フィラメント 1・2 切り替え
フィラメント ON/OFF ステータス、デガス ON/OFF ステータス、リモートローカルステータス
セットポイント 1・2(ヒステリシス付)、フィラメント 1・2 ステータス、ゲージセレクトステータス
アラームステータス、パワーON/OFF ステータス
仮数部、指数部、複合出力(リニア/LOG)、エレクトロメータ出力
オプションの RS-232C ボード増設にて対応
10
UGD-1S(真空封止状態で出荷)
Pa~0.1Pa
最大 2 枚(種類により組み合わせできないものがあります)
AC100V ±10% 2A
H99×W209×D330mm(1/2 ラックサイズ) / 5.4Kg
5~40℃ 湿度 70%以下
BRG-1B(大気開放状態で出荷)
NIG-2F/NIG-2TF
※ガラス球の測定子はオプションで ICF70 フランジ付も選択可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
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---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------〒211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪 370 東横化学株式会社 機器・装置事業部 真空営業チーム TEL:044-435-5856 FAX;044-434-9091
真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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ワイドレンジ電離真空計 M-833HG/M-431HG 仕様
ワイドレンジ電離真空計
品名
型式
M-833HG
名称
測定子の型式と
測定下限圧力
測定子
測定上限圧力
ベーキング
フィラメント
圧力表示
圧力レンジ切換
エミッション電流
(フィラメント電流)
ガス出し(DEGAS)
フィラメント保護
外部入力
外部出力
レコーダー出力
RS-232C 通信
増設ボード
所要電力
外形寸法/重量
使用環境
M-431HG
ミニチュア B-A ゲージ測定球
MG-2(φ15)、MG-2M(φ18)、MG-2I/NW16、MG-2I/NW25 10
MG-2F(ICF70)、MG-2I/ICF34、MG-2I/ICF70 10
-7
-6
Pa 台
Pa 台
-5
MG-2WF(φ15) 10 Pa 台
13Pa (MG-2WF のみ 0.13Pa)
※13Pa 以上でフィラメントを点灯させると断線または劣化する
150℃(O リングシールモデル)、400℃(ICF フランジモデル)
イットリアコートイリジウムフィラメント 2 本
タングステンフィラメント 2 本(MG-2WF のみ)
デジタル表示(表示周期 0.25 秒)
自動(レンジホールド機能あり)
10μA/100μA/1mA
自動切り替え(切り替え圧力ポイント変更可能)または固定
グリッド通電加熱方式
13.3Pa 以上
フィラメント ON/OFF、デガス ON/OFF、フィラメント 1・2 切り替え
レンジホールド ON/OFF、キーロック ON/OFF、その他(M-833HG にて複数の機能あり)
フィラメントステータス・デガスステータス
セットポイント 1・2(ヒステリシス付)、その他(M-833HG にて複数の機能あり)
仮数部、指数部、複合出力(リニア
アナログ生出力、複合出力(リニア/LOG)
/LOG)、エレクトロメータ出力
オプション増設ボードにて対応
標準対応
最大 4 枚可能
スロット無し
AC100~240V
AC90~240V
H99×W209×D330mm / 1.9kg
H104×W99×D293mm / 1.2kg
5~40℃ 湿度 70%以下
M-833HG
M-431HG
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真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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真空計シリーズ 電離真空計オプション
キヤノンアネルバの電離真空計 M-723HG/M-823HG/M-923HG/M-833HG は本体背面に拡張スロットを有しており、以
下のオプションを増設する事ができます。
品名
セットポイントボード
CM ゲージボード
TC ゲージボード
BCD アウトプットボード
RS-232C ボード
ゲージセレクタ BOX
内容
圧力セットポイントの増設とリレー出力が可能です。4 点 AC100V 1A 、DC30V 1A
キャパシタンスマノメータとのコンビネーションにより大気圧から超高真空までの測定も可能
となります。
サーモカップルゲージと B-A ゲージを組み合わせることで、あら引きから超高真空までの
測定が可能となります。1 つのボードで 2 台測定ができます。但し、標準構成は測定球 TG550C と 5m のケーブル 1 本となります。
圧力値の BCD(2 進化10進数)出力が可能となります。
外部制御用(600,1200,2400,4800,9600,19200 bps)
2 つの B-A ゲージ球を接続する事ができます。表示したい測定子は切り替えて使用しま
す。
表 1 オプションボード組み合わせ対応
セットポイントボード
CM ゲージボード
TC ゲージボード
BCD アウトプットボード
RS-232C ボード
ゲージセレクタボックス
セットポイント
ボード
×
○
○
○
○
○
CM ゲージ
ボード
○
×
○
○
○
○
TC ゲージ
ボード
○
○
○
○
○
○
BCD アウト
RS-232C
ゲージセレクタ
プットボード
ボード
ボックス
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
○
○
○
×
○
○
○
×
○は組み合わせ可能、×は組み合わせ不可
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【キヤノンアネルバ製真空計 選定用参考資料】
上限
(Pa)
下限
(Pa)
キャパシタンスゲージ
M-341DG/M-342DG
ATM
~133
※1
133
~0.1
※1
ピラニゲージ
M-350PG/M-351PG
ATM
0.05
種類
測定原理
目的・コメント
ベーキング
対応
トランスデューサ型シリーズ
コールドカソード
ピラニゲージ
M-360CP
クリスタルイオンゲージ
M-336MX
イオンゲージ
M-311HG
ATM
-7 乗
ATM
-8 乗
※2
10
-7 乗
※2
ATM
0.1
・隔膜式、内部電極
間の静電容量(キャ
パシタンス)の変化
・フィラメントの温度変
化に応じて、変動す
る内部回路の電圧値
・冷陰極放電の強弱
(高真空)
・フィラメントの温度変
化(低真空)
・熱フィラメントから放
出した電子が、イオコ
レクタに流れ込んだ
時の電流値(高真空)
・ガス量に応じて変動
する水晶振動子の振
動数(低真空)
・熱フィラメントから出
る電子によりイオン化
したガスの量
・プロセス圧力の高い精度での監視
・精度は良いが測定範囲が狭い
×
・低真空~中真空領域の圧力監視
・高真空用の機器の ON/OFF 制御
×
・大気圧~高真空を繰り返し使う装置の
圧力監視、到達圧力確認
・洗浄によりセンサーの再生可能
・精度は M-336MX に少し劣る
×
・大気圧~高真空を繰り返し使う装置の
圧力監視、到達圧力確認
・全体的に精度良く真空を計測
・フィラメント 1 本
・交換用センサーが少し高い
×
・高真空領域の計測
・測定子は MG-2 シリーズ
△
電装系外す
真空計シリーズ
クリスタルゲージ
M-320XG
サーモカップルゲージ
M-012DM
電離真空計
M-723HG
ワイドレンジ電離真空計
M-823HG
超高真空計
M-923HG
ワイドレンジ電離真空計
M-833HG
ワイドレンジ電離真空計
M-431HG
補足/備考
・水晶振動子の振れ
る速さ
・大気圧から 1Pa 以下くらいの領域
・熱源を持たない精度の良い測定
×
・0.5~200Pa 程度の領域の計測
・電離真空計のフィラメント点灯や高真空
200
0.5
○
機器の起動タイミングの目安用
・測定子は安価で壊れにくい
・高真空領域の計測
・ガラスの測定子 UGD-1S
0.1
-6 乗
○
・フィラメント 2 本
・測定子は真空封止状態で出荷
・高真空領域の計測
・ガラスの測定子 BRG-1B
10
-6 乗
○
・フィラメント 1 本
・熱フィラメント電極か ・10Pa 以下でフィラメント点灯可
ら放出したイオン化し ・超高真空領域の計測
たガスの電子が、イ
・測定子は電極露出の為、取扱注意
0.1
-9 乗
○
オコレクタ電極に流
・フィラメント 2 本
れ込んだ時の電流値 ・NIG-2F の測定子が高額
を圧力に変換
・高真空領域の計測
-8 乗
13
・メタルの測定子 MG-2 シリーズ
○
※2
・フィラメント 2 本
・高真空領域の計測
・小型、RS-232C 通信標準搭載
-8 乗
13
・測定子が MG-2 シリーズ
○
※2
・フィラメント 2 本
・基本性能を満たした売れ筋商品
・※1 選定するゲージにより測定上限と測定下限が変わります。
・※2 選定する測定球が O リングシールの規格の場合、測定下限は悪くなります。
・ピラニゲージ、サーモカップルゲージの熱フィラメントは温度も低く簡単には断線しません。
・電離真空計のフィラメントは、上限圧力以上の圧力では点灯を維持できず断線または劣化します。
各真空計ともに保護機能を搭載していますが、完璧な保護はできずダメージは残ります。
・電離真空計の測定子は、水素や塩素など還元性のガスを使用するプロセスでは、タングステンフィラメン
トを選ぶようにして下さい。タングステンフィラメントは逆に酸素に対し酸化しやすい傾向にあります。詳
しくは、弊社営業窓口またはキヤノンアネルバまで御相談下さい。
・内部回路(ヒーター)
の温度変化
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真空機器 トランスデューサ型真空計 TYK37-VG-04 2014/10
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真空計のお取り扱い上の注意事項の一例
・精密機器となりますので、できる限り振動の影響が無い場所へ取り付けて下さい。
・センサーの感度を維持するため、粉体、蒸気、溶剤、油分、腐食性ガスには出来るだけ晒さないように工夫して下さい。
場合によっては、真空計と真空容器をバルブで分離して、汚染物質が漂う時は測定子を守るための対応が必要です。
・真空装置でも容器の内壁には、新品の装置でも洗浄剤の残りなど、様々な成分が残留しています。購入した電離真空計
を初めて使う時は、すぐにフィラメントを点灯させるのではなく、脱ガス成分の発生量が多い時間帯をやり過ごしてから点
灯させるようにすると、初期トラブルを回避する事ができます。
真空計の校正について
本カタログに掲載しているキヤノンアネルバ社の真空計は、カタログ仕様に準じて合格と判定されておりますが、お客様
がより正確に真空計の性能を確認・把握する必要がある場合は、キヤノンアネルバで保有している基準真空計(マスター)と
の性能比較をデータ化する「校正」作業を承ります。
費用の目安はアンプ/表示器が 10 万円以内、測定子は種類によりますが 10~20 万円台(税別)となります。
校正では、お客様が御使用中の製品をお預かりする事が多いのですが、故障している真空計や、測定子の劣化などに
より数値がふらついて安定しないもの、校正用のキヤノンアネルバ設備の真空チャンバーを汚染する可能性のある測定子
は受付ができません。従って、校正に耐えうる真空計は、正常なコンディションであるとも言えます。
キヤノンアネルバが実施している校正サービスは、お預かりする真空計と、キヤノンアネルバ保有の基準真空計との差
を示すデータ提出する「比較校正」に留まります。基準真空計と誤差があるからといって、何らかの調整を行うといったサー
ビスはキヤノンアネルバ社の校正では行っておりません。必要に応じて校正を中止し修理を行うなどの手続きを踏む必要
が出て来る可能性があります。詳しくは窓口へお問い合わせ下さい。
真空計に関する質問・選定依頼・見積依頼・購入・修理・校正のご相談は
下記までお問い合わせは下さい
※センサーについてフランジ形状の選択ができるものはフランジを御指定下さい。
(キヤノンアネルバ特約店窓口)
〒211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪 370
東横化学株式会社 機器・装置事業部 機器販売部
真空営業チーム 担当:小野邉(おのべ)
TEL:044-435-5856/FAX:044-434-9091
本カタログの内容はキヤノンアネルバ株式会社発行のカタログや取扱説明書などに基づいて東横化学
が編集したものです。
本カタログに記載されている製品の仕様、形状は、改良の為に予告無く変更する場合があります。
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