Pfeiffer HIPACE 450 Istruzioni per l'uso
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ISTRUZIONI PER L'USO IT Traduzione dell'originale HIPACE 450 Turbopompa Gentile Cliente, grazie di aver scelto un prodotto Pfeiffer Vacuum. La turbopompa da Lei acquistata è stata progettata per supportare la Sua applicazione, grazie alle ottime prestazioni e al perfetto funzionamento dimostrati, senza interferire con essa. Pfeiffer Vacuum è sinonimo di tecnologia del vuoto di altissima qualità, una gamma ampia e completa di prodotti pregiati e un servizio di assistenza di prim’ordine. L'esperienza da noi accumulata ci ha permesso di acquisire una pluralità di competenze che ci consentono di assicurare tra l'altro un'implementazione efficiente e sicura del nostro prodotto. Consapevoli che la turbopompa non deve interferire con le Sue attività, siamo convinti che essa rappresenti la soluzione ideale per consentirLe di eseguire la Sua applicazione in modo efficace e continuativo. Leggete le presenti istruzioni operative prima di procedere alla messa in funzione iniziale. In caso di domande o suggerimenti, contattateci all’indirizzo [email protected]. Per ulteriori istruzioni sui prodotti Pfeiffer Vacuum, visitate il Download Center all’interno del nostro sito web. Esclusione di responsabilità Le presenti istruzioni operative descrivono tutti i modelli e varianti del prodotto. Pertanto, il prodotto acquistato potrebbe non essere dotato di tutte le caratteristiche qui descritte. Pfeiffer Vacuum adegua costantemente i propri prodotti allo stato dell'arte senza previa comunicazione. Tenere presente altresì che le istruzioni operative online possono discostarsi dalla versione cartacea acclusa al prodotto. Pfeiffer Vacuum declina ogni responsabilità per danni conseguenti all'uso non conforme del prodotto o definito esplicitamente come uso scorretto prevedibile. Copyright Il presente documento è proprietà intellettuale di Pfeiffer Vacuum e tutti i relativi contenuti sono protetti da copyright. È vietata la copia, modifica, riproduzione o pubblicazione senza previa autorizzazione scritta di Pfeiffer Vacuum. Ci riserviamo il diritto di apportare modifiche a informazioni e dati tecnici contenuti nel presento documento. 2/66 Sommario Sommario 1 Informazioni sul presente manuale 1.1 Validità 1.1.1 Documenti complementari 1.1.2 Versioni 1.2 Destinatari 1.3 Convenzioni 1.3.1 Istruzioni all’interno del testo 1.3.2 Pittogrammi 1.3.3 Adesivi sul prodotto 1.3.4 Abbreviazioni 1.4 Marchi registrati 7 7 7 7 7 7 7 8 8 9 9 2 Sicurezza 2.1 Informazioni generali sulla sicurezza 2.2 Istruzioni di sicurezza 2.3 Precauzioni di sicurezza 2.4 Limiti di utilizzo del prodotto 2.5 Uso corretto 2.6 Uso improprio prevedibile 2.7 Qualifica del personale 2.7.1 Garanzia di qualifica del personale 2.7.2 Qualifica del personale per le operazioni di manutenzione e di riparazione 2.7.3 Formazione avanzata fornita da Pfeiffer Vacuum 10 10 10 14 15 15 16 16 16 17 3 Descrizione del prodotto 3.1 Funzionamento 3.1.1 Raffreddamento 3.1.2 Cuscinetto del rotore 3.1.3 Azionamento 3.2 Identificazione del prodotto 3.2.1 Tipi di prodotto 3.2.2 Caratteristiche prodotto 3.3 Materiale fornito 18 18 18 18 18 19 19 19 19 4 Trasporto e stoccaggio 4.1 Trasporto 4.2 Stoccaggio 20 20 20 5 Installazione 5.1 Lavoro preparatorio 5.2 Fissaggio della turbopompa alla parte inferiore 5.3 Collegare il lato alto vuoto 5.3.1 Requisiti per il dimensionamento di una controflangia 5.3.2 Valutazione delle misure antisismiche 5.3.3 Utilizzo di un paraschegge o di uno schermo protettivo 5.3.4 Utilizzo del compensatore di vibrazioni 5.3.5 Orientamenti di montaggio 5.3.6 Fissaggio della flangia ISO-K a ISO-F 5.3.7 Fissaggio della flangia ISO-K a ISO-F 5.3.8 Fissaggio della flangia ISO-F a ISO-F 5.3.9 Fissaggio della flangia CF a CF-F 5.4 Collegamento del lato di prevuoto 5.5 Collegamento di accessori 5.6 Collegamento dell'alimentazione elettrica 5.6.1 Messa a terra della turbopompa 21 21 22 22 22 23 24 24 25 25 26 27 28 30 31 32 32 17 3/66 Sommario 5.6.2 Realizzazione del collegamento elettrico 4/66 32 6 Funzionamento 6.1 Messa in servizio 6.2 Modalità operative 6.2.1 Funzionamento senza unità operativa 6.2.2 Funzionamento mediante collegamento multifunzione "X3" 6.2.3 Funzionamento mediante collegamento "E74" 6.2.4 Funzionamento mediante unità di comando Pfeiffer Vacuum 6.2.5 Funzionamento mediante fieldbus 6.3 Accensione della turbopompa 6.4 Monitoraggio del funzionamento 6.4.1 Indicazione della modalità operativa mediante LED 6.4.2 Monitoraggio della temperatura 6.5 Spegnimento e sfiato 6.5.1 Spegnimento 6.5.2 Sfiato 34 34 35 35 35 35 35 36 36 36 36 37 37 37 37 7 Manutenzione 7.1 Informazioni generali sulla manutenzione 7.2 Lista di controllo per l’ispezione e la manutenzione 7.3 Sostituzione del serbatoio del fluido di esercizio 7.3.1 Rimozione del serbatoio del fluido di esercizio 7.3.2 Assemblaggio del serbatoio del fluido di esercizio 7.4 Sostituzione dell'unità di comando elettronica 7.4.1 Rimozione dell'unità di comando elettronica 7.4.2 Installazione dell'unità di comando elettronica 7.4.3 Conferma delle specifiche relative alla velocità 39 39 39 41 41 42 43 44 45 45 8 Messa fuori servizio 8.1 Arresto per lunghi periodi di tempo 8.2 Rimessa in servizio 47 47 47 9 Riciclo e smaltimento 9.1 Informazioni generali sullo smaltimento 9.2 Smaltimento delle turbopompe 48 48 48 10 Malfunzionamenti 49 11 Servizi Pfeiffer Vacuum 51 12 Ricambi HiPace 450 53 13 Accessori 13.1 Informazioni sugli accessori 13.2 Ordinazione di accessori 54 54 54 14 Dati tecnici e dimensioni 14.1 Informazioni generali 14.2 Dati tecnici 14.3 Caratteristiche 14.4 Sostanze a contatto con i fluidi 14.5 Dimensioni 57 57 57 60 61 61 Dichiarazione di conformità CE 63 Dichiarazione di conformità Regno Unito 64 Elenco delle tabelle Elenco delle tabelle Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Abbreviazioni utilizzate nel presente documento Condizioni ambientali consentite Denominazione di prodotto delle turbopompe Pfeiffer Vacuum HiPace Caratteristiche della turbopompa Requisiti per il fissaggio della turbopompa alla parte inferiore Requisiti per il dimensionamento di un raccordo per alto vuoto fornito dal cliente Riduzione della velocità di pompaggio a causa dell'utilizzo di un paraschegge o di uno schermo protettivo Impostazione di fabbrica dell'unità di comando elettronica per turbopompe al momento della consegna Funzione e significato dei LED dell'unità di comando elettronica Impostazioni di fabbrica per lo sfiato ritardato nelle turbopompe Intervalli per la manutenzione Velocità di rotazione nominali tipiche delle turbopompe Risoluzione dei problemi delle turbopompe Ricambi disponibili Accessori Altri accessori per TC 120 | 48 V CC Tabella di conversione: unità di pressione Tabella di conversione: unità per portata di gas Dati tecnici per HiPace 450 con TC 110 Dati tecnici per HiPace 450 con TC 120 Materiali che vengono a contatto con i fluidi di processo 9 15 19 19 22 23 24 34 37 38 40 45 50 53 55 56 57 57 59 60 61 5/66 Elenco delle figure Elenco delle figure Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: 6/66 Posizione degli adesivi sul prodotto Modello HiPace 450 (ad esempio DN 160 ISO-K verticale e DN 160 CF-F orizzontale) Esempio: Fissare per impedire spostamenti e ribaltamenti causati da vibrazioni esterne Allineamento consigliato del collegamento del prevuoto quando si utilizzano pompe ausiliarie di prevuoto a tenuta di olio. Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, viti da staffa Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite a testa esagonale e foro filettato Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite prigioniera e foro filettato Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite prigioniera e foro passante Attacco a flangia ISO-F, vite a testa esagonale e foro filettato Attacco a flangia ISO-F, vite prigioniera e foro filettato Attacco a flangia ISO-F, vite prigioniera e foro passante Attacco a flangia CF-F, vite a testa esagonale e foro passante Attacco a flangia CF-F, vite prigioniera e foro filettato Attacco a flangia CF-F, vite prigioniera e foro passante Esempio di raccordo di prevuoto in HiPace 450 Esempio di collegamento di accessori mediante adattatore TCS 12 Esempio: Collegamento del cavo di messa a terra Collegamento dell'unità di comando elettronica a un pacchetto alimentazione Rimozione del serbatoio del fluido di esercizio Assemblaggio del serbatoio del fluido di esercizio Rimozione dell'unità di comando elettronica TC 110|TC 120 Installazione dell'unità di comando elettronica TC 110|TC 120 Ricambi HiPace 450 La portata di gas dipende dalla velocità di rotazione HiPace 450 | DN 160 ISO-K HiPace 450 | DN 160 ISO-F HiPace 450 | DN 160 CF-F 9 18 24 25 25 26 26 27 27 28 28 29 29 29 30 31 32 33 42 43 44 45 53 60 61 62 62 Informazioni sul presente manuale 1 Informazioni sul presente manuale IMPORTANTE Leggere attentamente prima dell’uso. Conservare il manuale per futura consultazione. 1.1 Validità Le presenti istruzioni d'uso sono destinate ai clienti di Pfeiffer Vacuum. Descrivono il funzionamento del prodotto in oggetto e forniscono informazioni essenziali per il suo utilizzo sicuro. Il prodotto è stato illustrato in conformità alle direttive vigenti. Le informazioni contenute nelle presenti istruzioni d'uso si riferiscono allo stato di sviluppo attuale del prodotto. Tale documento resta valido a condizione che il cliente non apporti modifiche al prodotto. 1.1.1 Documenti complementari Documento Numero Istruzioni d'uso per l'unità di comando elettronica TC 110 standard PT 0204 BN Istruzioni d'uso per l'unità di comando elettronica TC 110 PB PT 0245 BN Istruzioni d'uso per l'unità di comando elettronica TC 110 E74 PT 0301 BN Istruzioni d'uso per l'unità di comando elettronica TC 110 RS PT 0351 BN Dichiarazione di conformità Parte del presente documento I documenti aggiornati sono disponibili nel Download Center di Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Versioni ● ● ● ● ● ● 1.2 HiPace 450, DN 160 ISO-K, TC 110 HiPace 450, DN 160 ISO-K, TC 120 HiPace 450, DN 160 ISO-F, TC 110 HiPace 450, DN 160 ISO-F, TC 120 HiPace 450, DN 160 CF-F, TC 110 HiPace 450, DN 160 CF-F, TC 120 Destinatari Le presenti istruzioni d'uso si rivolgono a tutti coloro che svolgono le seguenti attività relative al prodotto: ● ● ● ● ● ● Trasporto Configurazione (installazione) Utilizzo e gestione Messa fuori servizio Manutenzione e pulizia Stoccaggio e smaltimento Le attività descritte nel presente documento possono essere svolte solo da personale dotato delle necessarie qualifiche tecniche (personale esperto) o da coloro che abbiano ricevuto un'adeguata formazione da Pfeiffer Vacuum. 1.3 Convenzioni 1.3.1 Istruzioni all’interno del testo Le istruzioni sull’uso contenute nel documento seguono una struttura generale intrinsecamente completa. L’azione richiesta è indicata da un passaggio singolo o da una sequenza di passaggi. 7/66 Informazioni sul presente manuale Passaggio singolo Un triangolo orizzontale pieno indica un’azione costituita da un passaggio singolo. ► L'azione prevede un unico passaggio. Sequenza di passaggi L’elenco numerato indica un’azione costituita da più passaggi. 1. Passaggio 1 2. Passaggio 2 3. ... 1.3.2 Pittogrammi I pittogrammi utilizzati nel documento indicano informazioni utili. Nota Suggerimento 1.3.3 Adesivi sul prodotto La presente sezione descrive tutti gli adesivi visibili sul prodotto e il relativo significato. D-35614 Asslar Berliner Str. 43 Mod. HiPace 450 P/N PM P07X 5XX XX Type 12 S/N _ _ _ _ _ _ _ IPx4 PM XXX XXX -T Oil n, f 66000 1/min, 1100 Hz Mass 7,0 kg Made in Germany 2023/02 Targhetta dei dati di funzionamento La targhetta dei dati di funzionamento si trova sulla parte bassa della pompa. TÜV Rheinland C US UL / CSA 61010-1 Nota sulle istruzioni d'uso Questo adesivo indica che è necessario leggere le presenti istruzioni d'uso prima di eseguire qualunque operazione. Classe di protezione Questo simbolo indica che il prodotto vanta la classe di protezione III. La sua posizione indica quella del collegamento per messa a terra funzionale. warranty seal 8/66 Sigillo di garanzia Il prodotto è sigillato in fabbrica. Danneggiare o rimuovere il sigillo di garanzia determina la decadenza della garanzia. Informazioni sul presente manuale 2 1 3 4 Fig. 1: Posizione degli adesivi sul prodotto 1 Nota sulle istruzioni d'uso 2 Sigillo di garanzia 1.3.4 Informazioni sul collegamento di messa a terra Targhetta dei dati di funzionamento della turbopompa Abbreviazioni Abbreviazione Significato nel presente documento CF Flangia: connettore a tenuta metallica conforme a ISO 3669 d Valore diametro (in mm) DC Corrente continua DN Diametro nominale come indicatore di dimensioni f Valore velocità di rotazione di una pompa per vuoto (frequenza espressa in rpm o Hz) HPU Unità di programmazione portatile. Strumento di controllo e di monitoraggio dei parametri della pompa HV Flangia per alto vuoto, lato alto vuoto ISO Flangia: collegamento in conformità alle norme ISO 1609 e ISO 2861 LED Diodo a emissione di luce FE Messa a terra funzionale FKM Materie plastiche fluorurate [P:xxx] Parametri di controllo unità di comando elettronica. Stampati in grassetto come numero a tre cifre tra parentesi quadre. Visualizzati spesso insieme a una breve descrizione. Esempio: [P:312] versione software WAF Apertura di chiave ("Width Across Flats") T Temperatura (in °C) TC Unità di comando elettronica turbopompa (controller turbo) TPS Tensione di alimentazione (alimentazione elettrica turbo) VV Flangia di prevuoto, raccordo di prevuoto X3 Presa di collegamento D-Sub a 15 poli sull'unità di comando elettronica della turbopompa Tab. 1: 1.4 3 4 Abbreviazioni utilizzate nel presente documento Marchi registrati ● Torx® è un marchio registrato di Acument Intellectual Properties, LLC. ● Profibus® è un marchio registrato di Profibus Nutzerorganisation e.V. 9/66 Sicurezza 2 Sicurezza 2.1 Informazioni generali sulla sicurezza Nel presente documento vengono presi in considerazione i seguenti 4 livelli di rischio e 1 livello di informazione. PERICOLO Pericolo immediatamente imminente Indica un pericolo immediatamente imminente che causa morte o gravi lesioni se non osservato. ► Istruzioni per la prevenzione della situazione di pericolo ATTENZIONE Pericolo potenzialmente imminente Indica un pericolo potenzialmente imminente che potrebbe causare morte o gravi lesioni se non osservato. ► Istruzioni per la prevenzione della situazione di pericolo CAUTELA Pericolo potenzialmente imminente Indica un pericolo potenzialmente imminente che potrebbe causare lesioni minori se non osservato. ► Istruzioni per la prevenzione della situazione di pericolo AVVERTENZA Pericolo di danni materiali Viene utilizzato per evidenziare le azioni non correlate a lesioni fisiche. ► Istruzioni per evitare danni materiali Note, suggerimenti o esempi segnalano informazioni importanti sul prodotto o in merito al presente documento. 2.2 Istruzioni di sicurezza Tutte le istruzioni di sicurezza nel presente documento si basano sui risultati della valutazione dei rischi eseguita conformemente alla Direttiva Macchine 2006/42/CE, allegato I e EN ISO 12100 Sezione 5. Ove applicabile, sono state prese in considerazione tutte le fasi del ciclo di vita del prodotto. Rischi durante il trasporto ATTENZIONE Pericolo di lesioni gravi dovuto alla caduta di oggetti La caduta di oggetti provoca il rischio di lesioni agli arti e finanche fratture ossee. ► Prestare particolare attenzione e cautela durante il trasporto manuale del prodotto. ► Non impilare i prodotti. ► Indossare indumenti protettivi, ad es. scarpe antinfortunistiche. 10/66 Sicurezza Rischi durante l'installazione PERICOLO Pericolo di morte per scossa elettrica I pacchetti alimentatori non specificati o non approvati possono causare gravi lesioni e persino la morte. ► Verificare che il pacchetto alimentatore soddisfi i requisiti di doppio isolamento tra la tensione di ingresso della rete elettrica e la tensione di uscita conformemente a IEC 61010-1 IEC 60950-1 e IEC 62368-1. ► Verificare che il pacchetto alimentatore soddisfi i requisiti conformemente a IEC 61010-1 IEC 60950-1 e IEC 62368-1. ► Se possibile, utilizzare pacchetti alimentatori originali o solamente pacchetti alimentatori conformi alle norme di sicurezza vigenti. ATTENZIONE Rischio di morte a causa dell'assenza di un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica La pompa per vuoto e l'unità di comando elettronica non sono dotate di un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica (interruttore della rete di alimentazione). ► Installare un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica conforme a SEMI-S2. ► Installare un interruttore di circuito con tasso di interruzione di almeno 10.000 A. ATTENZIONE Rischio di lesioni a causa di una installazione errata Situazioni di pericolo possono insorgere da una installazione non sicura o errata. ► Non eseguire conversioni o modifiche dell'unità. ► Verificare l'integrazione in un circuito di sicurezza per l'arresto di emergenza. ATTENZIONE Rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo in movimento mentre si accede alla flangia per alto vuoto aperta Se la flangia per alto vuoto è aperta, è possibile accedere a parti a spigolo vivo. Il pericolo aumenta se si fa ruotare manualmente il rotore. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio e persino di recidere parti del proprio corpo (ad esempio la punta delle dita). Vi è il rischio che capelli e indumenti non attillati vengano risucchiati. Eventuali oggetti che si insinuano nella pompa possono distruggerla al riavvio successivo. ► Rimuovere i coperchi protettivi originali solo immediatamente prima di collegare la flangia per alto vuoto. ► Non toccare mai il raccordo per alto vuoto. ► Durante l'installazione indossare guanti protettivi. ► Non avviare la turbopompa se i raccordi per vuoto sono aperti. ► Completare sempre l'installazione meccanica prima di collegare l'impianto elettrico. ► Impedire l'accesso al raccordo per alto vuoto della turbopompa dal lato operatore (ad esempio dalla camera del vuoto aperta). ATTENZIONE Pericolo di morte per avvelenamento in caso di fuoriuscita di fluidi tossici di processo da raccordi danneggiati Una torsione improvvisa della turbopompa in caso di guasto provoca l'accelerazione dei raccordi. Questo movimento può danneggiare i collegamenti in loco (ad esempio la linea di prevuoto) causando delle perdite. Ciò si traduce in una perdita di fluidi di processo. Nei processi che fanno uso di fluidi tossici, sussiste il rischio di lesioni e il pericolo di morte per avvelenamento. ► Tenere le masse collegate alla turbopompa più basse possibile. ► Per collegare la turbopompa utilizzare, se possibile, delle linee flessibili. 11/66 Sicurezza ATTENZIONE Rischio di lesioni dovute al distacco della turbopompa assieme al compensatore di vibrazioni in caso di malfunzionamento Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se si utilizza un compensatore di vibrazioni, è probabile che la turbopompa ceda durante l'uso. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Si raccomanda di adottare delle idonee misure preventive in loco per compensare le coppie che si originano in questo modo. ► Prima di installare un compensatore di vibrazioni, è necessario innanzitutto contattare Pfeiffer Vacuum. ATTENZIONE Rischio di lesioni da taglio dovute a un avvio inatteso. L'uso di spine di innesto per l'unità di comando elettronica (accessori) consente di avviare automaticamente la pompa per vuoto non appena viene attivata l'alimentazione elettrica. Se le spine di innesto vengono inserite prima dell'installazione o nel corso di essa, le parti si mettono in movimento. In questo modo si corre il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo della flangia per alto vuoto esposta. ► Inserire le spine di innesto solo dopo aver completato l'installazione meccanica. ► Accendere la pompa per vuoto solo immediatamente prima di metterla in funzione. Rischi durante il funzionamento ATTENZIONE Rischio di ustioni in caso di contatto con superfici calde quando si utilizzano attrezzature riscaldanti aggiuntive durante il funzionamento L'impiego di attrezzature aggiuntive per riscaldare la pompa per vuoto o per ottimizzare il processo genera temperature molto elevate sulle superfici di contatto. Vi è il rischio di procurarsi delle ustioni. ► Se necessario, predisporre una protezione di contatto. ► Se necessario, applicare gli adesivi di avviso appositamente forniti nei punti di pericolo. ► Assicurarsi che la pompa per vuoto sia sufficientemente raffreddata prima di lavorare con essa o in prossimità di essa. ► Indossare indumenti protettivi, ad esempio guanti. ATTENZIONE Rischio di lesioni gravi in caso di distruzione della pompa per vuoto a causa di sovrapressione L'ingresso di gas a una sovrapressione molto elevata provoca la distruzione della pompa per vuoto. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni gravi dovute alla fuoriuscita di oggetti. ► Non superare mai la pressione di ingresso consentita di 1500 hPa (assoluta) sul lato di aspirazione o sul raccordo di sfiato e del gas di tenuta. ► Assicurarsi che le sovrapressioni elevate generate dal processo non entrino direttamente nella pompa per vuoto. CAUTELA Rischio di lesioni dovute al contatto con il vuoto durante le operazioni di sfiato Durante lo sfiato della pompa per vuoto è possibile procurarsi delle lievi ferite (ad esempio ematomi) a causa del contatto diretto di parti del corpo con il vuoto. ► Non svitare completamente la vite di sfiato dall'alloggiamento durante le operazioni di sfiato. ► Mantenersi a distanza dal dispositivo automatico di sfiato (ad esempio le valvole apposite). 12/66 Sicurezza Rischi durante la manutenzione, la messa fuori servizio e lo smaltimento ATTENZIONE Pericolo di morte per folgorazione durante gli interventi di manutenzione e assistenza Il dispositivo è da considerarsi completamente privo di tensione solo dopo che la spina di rete è stata scollegata e la turbopompa si è arrestata. Sussiste il pericolo di morte per folgorazione in caso di contatto con i componenti sotto tensione. ► Prima di eseguire qualsiasi intervento, disattivare l'interruttore principale. ► Attendere l'arresto della turbopompa (velocità di rotazione f = 0). ► Rimuovere la presa di rete dal dispositivo. ► Proteggere il dispositivo dalla riaccensione accidentale. ATTENZIONE Rischi per la salute dovuti ad avvelenamento causato da componenti o dispositivi contaminati con sostanze tossiche I fluidi di processo tossici contaminano i dispositivi e i relativi componenti. Durante gli interventi di manutenzione, sussistono rischi per la salute a causa del contatto con tali sostanze pericolose. Lo smaltimento illecito delle sostanze tossiche può provocare danni all’ambiente. ► Adottare opportune precauzioni per evitare rischi alla salute o danni all’ambiente causati dai fluidi di processo tossici. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Indossare i dispositivi di protezione. ATTENZIONE Rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo in movimento mentre si accede al raccordo per alto vuoto aperto Una errata manipolazione della turbopompa prima di un intervento di manutenzione può creare delle situazioni di pericolo con conseguente rischio di lesioni. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio accedendo a parti rotanti a spigolo vivo durante la rimozione della turbopompa. ► Attendere l'arresto della turbopompa (velocità di rotazione f = 0). ► Spegnere la turbopompa correttamente. ► Mettere in sicurezza la turbopompa da possibili riavvii. ► Dopo la rimozione sigillare immediatamente i collegamenti aperti con il coperchio protettivo originale. ATTENZIONE Rischio di avvelenamento dovuto al contatto con sostanze dannose Il serbatoio del fluido di esercizio e parti della turbopompa possono contenere sostanze tossiche derivanti dai fluidi pompati. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Evitare rischi per la salute o conseguenze ambientali adottando adeguate misure preventive. ► Rispettare la scheda dei dati di sicurezza del fluido di esercizio. ► Smaltire il serbatoio del fluido di esercizio secondo quanto previsto dalle norme applicabili. Rischi in caso di malfunzionamento ATTENZIONE Pericolo di morte da scossa elettrica in caso di guasto In caso di guasto i dispositivi collegati all’alimentazione elettrica potrebbero essere sotto tensione. Sussiste il pericolo di morte per scossa elettrica in caso di contatto con i componenti sotto tensione. ► Mantenere sempre il collegamento all’alimentazione elettrica facilmente accessibile in modo da consentirne il distacco in qualsiasi momento. 13/66 Sicurezza ATTENZIONE Pericolo di morte dovuto al distacco della turbopompa in caso di guasto Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se la turbopompa non è stata fissata correttamente, può cedere. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Attenersi alle istruzioni di installazione previste per la turbopompa in questione. ► Rispettare i requisiti relativi alla stabilità e alla struttura della controflangia. ► Per l'installazione utilizzare solo accessori originali o materiali di fissaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. ATTENZIONE Pericolo di morte per avvelenamento in caso di fuoriuscita di fluidi tossici di processo da raccordi danneggiati Una torsione improvvisa della turbopompa in caso di guasto provoca l'accelerazione dei raccordi. Questo movimento può danneggiare i collegamenti in loco (ad esempio la linea di prevuoto) causando delle perdite. Ciò si traduce in una perdita di fluidi di processo. Nei processi che fanno uso di fluidi tossici, sussiste il rischio di lesioni e il pericolo di morte per avvelenamento. ► Tenere le masse collegate alla turbopompa più basse possibile. ► Per collegare la turbopompa utilizzare, se possibile, delle linee flessibili. ATTENZIONE Rischio di lesioni dovute al distacco della turbopompa assieme al compensatore di vibrazioni in caso di malfunzionamento Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se si utilizza un compensatore di vibrazioni, è probabile che la turbopompa ceda durante l'uso. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Si raccomanda di adottare delle idonee misure preventive in loco per compensare le coppie che si originano in questo modo. ► Prima di installare un compensatore di vibrazioni, è necessario innanzitutto contattare Pfeiffer Vacuum. 2.3 Precauzioni di sicurezza Obbligo di fornire informazioni sui potenziali pericoli Il proprietario o l'utente del prodotto è tenuto a mettere a conoscenza tutto il personale operativo dei pericoli correlati al prodotto. Tutte le persone coinvolte nell’installazione, utilizzo o manutenzione del prodotto devono avere letto, compreso e rispettare le parti del presente documento relative alla sicurezza. Perdita della conformità in seguito a modifiche del prodotto La Dichiarazione di conformità del produttore perde la propria validità qualora il gestore modifichi il prodotto originale o installi attrezzature aggiuntive. ● In seguito all’installazione in un sistema, il gestore è tenuto a controllare e rivalutare la conformità dell’intero sistema in relazione alle direttive europee pertinenti prima della messa in servizio del sistema. Precauzioni di sicurezza generali durante l'uso del prodotto ► Osservare tutte le disposizioni di sicurezza e di prevenzione degli infortuni vigenti. ► Verificare a intervalli regolar il rispetto di tutte le misure di sicurezza. ► Non esporre parti del proprio corpo al vuoto. ► Garantire sempre un collegamento protetto al conduttore di messa a terra (PE). 14/66 Sicurezza ► Non scollegare mai le spine di connessione durante il funzionamento. ► Attenersi alle suddette procedure di spegnimento. ► Prima di intervenire sul raccordo per alto vuoto, attendere l'arresto completo del rotore (velocità di rotazione f = 0). ► Non mettere mai in funzione il dispositivo mentre il raccordo per alto vuoto è aperto. ► Mantenere le linee e i cavi lontani da superfici calde (> 70°C). ► Non versare mai nell’unità – o azionarla – con detergenti o residui di detergenti. ► Non eseguire trasformazioni o modifiche dell’unità. ► Verificare la classe di protezione dell'unità prima dell'installazione o l'uso in altri ambienti. 2.4 Limiti di utilizzo del prodotto Luogo di installazione Protetto dalle intemperie (ambiente interno) Pressione aria da 530 hPa a 1060 hPa Altitudine di installazione Max. 5000 m Umidità rel. dell'aria max. 80%, a T < 31°C, fino a max. 50% a T < 40°C Classe di protezione III Categoria di sovratensione II Grado di protezione consentita IP44, Tipo 12 secondo UL 50E Grado di inquinamento 2 Temperatura ambiente da 5 °C a 30 °C con raffreddamento per convezione senza portata di gas da 5 °C a 35 °C con raffreddamento ad aria da 5 °C a 40 °C con raffreddamento ad acqua Campo magnetico circostante massimo consentito Vedere "Dati tecnici" Irraggiamento termico massimo 2,4 W Temperatura del rotore della turbopompa massima consentita 90 °C Temperatura di preriscaldamento massima consentita per la flangia per alto vuoto 120 °C Tab. 2: Condizioni ambientali consentite Note sulle condizioni ambientali I valori relativi alla temperatura ambiente specificati consentiti si applicano in caso di funzionamento della turbopompa alla massima pressione ausiliaria di prevuoto consentita o alla massima portata di gas, a seconda del tipo di raffreddamento utilizzato. La turbopompa è intrinsecamente sicura grazie al suo sistema di monitoraggio ridondante della temperatura. ● Riducendo la pressione ausiliaria di prevuoto o la portata di gas è possibile inoltre far funzionare la turbopompa a temperature ambiente più elevate. ● Se viene superata la temperatura di esercizio della turbopompa massima consentita, l'unità di comando elettronica riduce dapprima la potenza di azionamento, quindi, se necessario, si spegne. 2.5 Uso corretto ► Utilizzare la turbopompa solo per generare vuoto. ► Utilizzare la turbopompa solo in combinazione con una pompa ausiliaria di prevuoto adatta, in grado di fornire la pressione di prevuoto massima richiesta. ► Utilizzare la turbopompa solo in ambienti interni chiusi. ► Utilizzare la turbopompa solo per l'evacuazione di gas secchi e inerti. 15/66 Sicurezza 2.6 Uso improprio prevedibile Un uso improprio del prodotto invalida qualunque richiesta di garanzia e di risarcimento. Ogni uso contrario allo scopo previsto per il prodotto, che sia intenzionale o meno, viene considerato un uso improprio, in particolare: ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● Definizione dell'alimentazione di tensione senza una corretta installazione Installazione con materiali di fissaggio non specifici Pompaggio di fluidi esplosivi Pompaggio di fluidi corrosivi Pompaggio di vapori di condensazione Pompaggio di fluidi Pompaggio di polveri Funzionamento con una portata di gas elevata non consentita Funzionamento con una pressione di prevuoto elevata non consentita Utilizzo con una emissione di calore irradiato eccessiva Funzionamento in campi magnetici elevati non consentiti Funzionamento con una modalità di gas errata Sfiato a velocità elevate non consentite Uso per generare pressione Uso in aree con radiazione ionizzante Utilizzo in aree potenzialmente a rischio di esplosione Uso in sistemi in cui carichi e vibrazioni sporadici o forze periodiche agiscono sul dispositivo Creazione di condizioni di esercizio pericolose definendo preventivamente delle impostazioni contrarie al processo nell'unità di comando elettronica ● Uso di accessori o parti di ricambio non elencati nelle presenti istruzioni 2.7 Qualifica del personale Il lavoro descritto nel presente documento può essere svolto esclusivamente da persone dotate di apposite qualifiche professionali e dell'esperienza necessaria o che hanno completato il relativo percorso di formazione offerto da Pfeiffer Vacuum. Formazione del personale 1. Formare il personale tecnico lavorando direttamente sul prodotto. 2. Consentire al personale in formazione di lavorare con e sul prodotto esclusivamente sotto la supervisione di tecnici addestrati. 3. Consentire di lavorare con il prodotto esclusivamente a personale tecnico addestrato. 4. Prima di iniziare il lavoro, accertarsi che il personale incaricato abbia letto e compreso le istruzioni d’uso e tutti i documenti complementari, in particolare le istruzioni riguardanti la sicurezza, la manutenzione e la riparazione. 2.7.1 Garanzia di qualifica del personale Specialista in interventi meccanici Gli interventi meccanici possono essere eseguiti esclusivamente da specialisti addestrati. Nel presente documento si definiscono "specialisti" coloro che sono responsabili della costruzione, dell'installazione meccanica, della ricerca guasti e della manutenzione del prodotto e che sono in possesso delle seguenti qualifiche: ● Qualifica in ambito meccanico ai sensi delle norme nazionali applicabili ● Conoscenza della presente documentazione Specialista in interventi elettrotecnici Gli interventi elettrici possono essere eseguiti esclusivamente da elettricisti esperti. Nel presente documento si definiscono "elettricisti" coloro che sono responsabili dell’installazione elettrica, della messa in servizio, della ricerca guasti e della manutenzione del prodotto e che sono in possesso delle seguenti qualifiche: ● Qualifica in ambito elettrico ai sensi delle norme nazionali applicabili ● Conoscenza della presente documentazione Tali persone devono inoltre avere familiarità con le leggi e le norme applicabili sulla sicurezza e con gli altri standard, le altre direttive e le altre leggi citati nella presente documentazione. Dette persone devono essere in possesso di un permesso operativo esplicito per mettere in servizio, programmare, confi- 16/66 Sicurezza gurare, marcare e mettere a terra dispositivi, sistemi e circuiti secondo gli standard tecnologici di sicurezza. Persone addestrate Tutti i lavori relativi ad altri settori, quali trasporto, stoccaggio, utilizzo e smaltimento, possono essere eseguiti esclusivamente da persone adeguatamente addestrate. Tale formazione deve garantire che dette persone siano in grado di eseguire le attività e le fasi di lavoro necessarie correttamente e in sicurezza. 2.7.2 Qualifica del personale per le operazioni di manutenzione e di riparazione Corsi di formazione avanzata Pfeiffer Vacuum offre corsi di formazione avanzata per i livelli di manutenzione 2 e 3. Rientrano nella definizione di "persone adeguatamente addestrate" le seguenti categorie: ● Manutenzione di livello 1 ─ Cliente (specialista addestrato) ● Manutenzione di livello 2 ─ Cliente con formazione tecnica ─ Tecnico dell’assistenza di Pfeiffer Vacuum ● Manutenzione di livello 3 ─ Cliente con formazione di assistenza Pfeiffer Vacuum ─ Tecnico dell’assistenza di Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formazione avanzata fornita da Pfeiffer Vacuum Per utilizzare il presente prodotto in modo continuativo e ottimale, Pfeiffer Vacuum offre una vasta gamma di corsi di formazione e di specializzazione tecnica. Per ulteriori informazioni contattare il reparto formazione tecnica di Pfeiffer Vacuum. 17/66 Descrizione del prodotto 3 Descrizione del prodotto 3.1 Funzionamento La turbopompa forma un'unità compatta con l'unità di comando elettronica. I pacchetti di alimentazione Pfeiffer Vacuum forniscono l'alimentazione di tensione. 2 1 12 Fig. 2: 3.1.1 11 10 9 3 8 4 7 5 6 Modello HiPace 450 (ad esempio DN 160 ISO-K verticale e DN 160 CF-F orizzontale) 1 Coperchio protettivo per la flangia di alto vuoto 2 Parte inferiore della pompa 3 Morsetto di terra 3 Alloggiamento della pompa 5 Raccordo per alto vuoto, DN 160 CF-F 7 Collegamento multifunzione "X3" 8 9 10 11 6 Rotore 12 Unità di comando elettronica TC 120 Foro per il fissaggio del raffreddamento ad aria Vite di sfiato Coperchio cieco per il raccordo di prevuoto, DN 16 ISO-KF Raccordo del gas di tenuta Raffreddamento ● Raffreddamento per convezione ● Raffreddamento ad aria (opzionale) ● Raffreddamento ad acqua (opzionale) L'unità di comando elettronica riduce automaticamente la potenza di azionamento in caso di temperature eccessive. 3.1.2 Cuscinetto del rotore Cuscinetto ibrido della turbopompa ● Lato alto vuoto: cuscinetto magnetico permanente esente da usura ● Lato di prevuoto: cuscinetto a sfere con sfere ceramiche Le turbopompe della serie HiPace con cuscinetto ibrido utilizzano cuscinetti a sfera ceramici per il cuscinetto del rotore sul lato di prevuoto. La pompa del fluido di esercizio fornisce una lubrificazione definita e il funzionamento continuo dei cuscinetti a sfera. 3.1.3 Azionamento ● Unità di comando elettronica TC 110 ─ Tensione di esercizio 24 V DC ● Unità di comando elettronica TC 120 ─ Tensione di esercizio 48 V DC 18/66 Descrizione del prodotto 3.2 Identificazione del prodotto ► Al fine di assicurare una chiara identificazione del prodotto nelle comunicazioni con Pfeiffer Vacuum, tenere sempre a portata di mano tutte le informazioni sulla targhetta dei dati di funzionamento. ► Maggiori informazioni sulle certificazioni con sigilli di collaudo sul prodotto o all'indirizzo www.certipedia.com con l'ID società n. 000021320. 3.2.1 Tipi di prodotto La denominazione di prodotto delle turbopompe Pfeiffer Vacuum della serie HiPace comprende il nome della famiglia, le dimensioni (che si basano sulla velocità di pompaggio della pompa per vuoto) e, se necessario, una descrizione delle caratteristiche. Famiglia Dimensioni/Modello Proprietà, attributi, caratteristiche HiPace Da 10 a 2800 nessuna = versione standard mini = versione compatta U = versione sopraelevata C = versione per gas corrosivo P = processo M = cuscinetto magnetico attivo T = gestione della temperatura Plus = scarse vibrazioni, basso campo magnetico E = efficienza elevata H = compressione elevata I = impiantazione ionica Tab. 3: 3.2.2 Denominazione di prodotto delle turbopompe Pfeiffer Vacuum HiPace Caratteristiche prodotto Caratteristica Flangia HV DN 160 ISO-K DN 160 ISO-F DN 160 CF-F Materiale flangiato Alluminio Alluminio Acciaio inossidabile Tab. 4: 3.3 Versione Caratteristiche della turbopompa Materiale fornito ● ● ● ● Turbopompa con unità di comando elettronica Coperchio protettivo per il raccordo per alto vuoto Coperchio protettivo per il raccordo di prevuoto Istruzioni d’uso 19/66 Trasporto e stoccaggio 4 Trasporto e stoccaggio 4.1 Trasporto ATTENZIONE Pericolo di lesioni gravi dovuto alla caduta di oggetti La caduta di oggetti provoca il rischio di lesioni agli arti e finanche fratture ossee. ► Prestare particolare attenzione e cautela durante il trasporto manuale del prodotto. ► Non impilare i prodotti. ► Indossare indumenti protettivi, ad es. scarpe antinfortunistiche. Raccomandazione Pfeiffer Vacuum consiglia di conservare l'imballaggio di trasporto e il coperchio protettivo originale. Trasporto sicuro del prodotto ► Trasportare la turbopompa entro i limiti di temperatura consentiti. ► Rispettare il peso indicato sulla targhetta dei dati di funzionamento. ► Se possibile, trasportare o spedire la turbopompa nel suo imballaggio originale. ► Per trasportare la turbopompa, servirsi di entrambe le mani. ► Rimuovere il coperchio protettivo solo poco prima dell'installazione. 4.2 Stoccaggio Raccomandazione Pfeiffer Vacuum raccomanda di stoccare i prodotti nel loro imballo originale. Stoccaggio della turbopompa 1. Sigillare tutte le aperture flangiate con i relativi cappucci di protezione originali. 2. Sigillare tutti gli altri raccordi (ad esempio quello di sfiato) con le relative parti originali. 3. Conservare la turbopompa solo in ambienti interni entro i limiti di temperatura consentiti. 4. In ambienti con atmosfere umide o aggressive: chiudere la turbopompa in un sacchetto di plastica sigillato ermeticamente con un essiccante. 20/66 Installazione 5 Installazione L'installazione della turbopompa e il suo fissaggio sono operazioni di importanza vitale. Il rotore della turbopompa ruota ad altissima velocità. In pratica è impossibile escludere il rischio che il rotore tocchi lo statore, ad esempio a causa della penetrazione di corpi estranei nel raccordo per alto vuoto. L'energia cinetica rilasciata agisce sull'alloggiamento e sull'ancoraggio della turbopompa in poche frazioni di secondo. Test approfonditi e calcoli condotti in base a ISO 27892 confermano la sicurezza della turbopompa nei confronti sia di rotture (distruzione delle palette del rotore) che di scoppi (rottura dell'albero del rotore). I risultati teoretici e quelli sperimentali si traducono in misure di sicurezza e raccomandazioni, che hanno come scopo quello di consentire di fissare la turbopompa in modo corretto e sicuro. 5.1 Lavoro preparatorio ATTENZIONE Rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo in movimento mentre si accede alla flangia per alto vuoto aperta Se la flangia per alto vuoto è aperta, è possibile accedere a parti a spigolo vivo. Il pericolo aumenta se si fa ruotare manualmente il rotore. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio e persino di recidere parti del proprio corpo (ad esempio la punta delle dita). Vi è il rischio che capelli e indumenti non attillati vengano risucchiati. Eventuali oggetti che si insinuano nella pompa possono distruggerla al riavvio successivo. ► Rimuovere i coperchi protettivi originali solo immediatamente prima di collegare la flangia per alto vuoto. ► Non toccare mai il raccordo per alto vuoto. ► Durante l'installazione indossare guanti protettivi. ► Non avviare la turbopompa se i raccordi per vuoto sono aperti. ► Completare sempre l'installazione meccanica prima di collegare l'impianto elettrico. ► Impedire l'accesso al raccordo per alto vuoto della turbopompa dal lato operatore (ad esempio dalla camera del vuoto aperta). Note generali per l’installazione di componenti per vuoto ► Scegliere un luogo di installazione dove sia sempre possibile accedere al prodotto e alle linee di alimentazione. ► Rispettare le condizioni ambientali indicate per le limitazioni d'uso. ► Garantire il massimo livello possibile di pulizia durante l’assemblaggio. ► Assicurarsi che i componenti della flangia siano asciutti e privi di grasso e polvere durante l’installazione. Selezionare il luogo di installazione 1. Attenersi alle istruzioni previste per il trasporto nel luogo di installazione. 2. Assicurarsi che la turbopompa disponga di dispositivi di raffreddamento sufficienti. 3. Approntare un sistema di schermatura idoneo se i campi magnetici circostanti superano i livelli consentiti. 4. Approntare un sistema di schermatura idoneo per evitare che l'irraggiamento termico superi i valori consentiti quando il processo genera temperature elevate. 5. Rispettare le temperature consentite per il raccordo per vuoto. 21/66 Installazione 5.2 Fissaggio della turbopompa alla parte inferiore AVVERTENZA Danni alla pompa per vuoto a causa della forza esercitata sul lato alto vuoto In caso di fissaggio contemporaneo alla parte inferiore della pompa e al lato alto vuoto con un raccordo per tubi rigidi, sussiste il rischio di forze di reazione esercitate sulla turbopompa. Ciò può produrre carichi meccanici tali da causare persino la distruzione della turbopompa. ► Realizzare un collegamento flessibile alla flangia per alto vuoto. ► Rispettare i requisiti relativi al fissaggio della turbopompa sulla parte inferiore. ► Se il rotore si blocca improvvisamente, assicurarsi che tutte le coppie generate vengano assorbite dalla piastra di montaggio sul lato operatore. Ausili necessari ● ● ● ● Cerchio dei fori nel rispetto delle dimensioni della turbopompa Viti di fissaggio, classe di resistenza ≥ 8,8, galvanizzate Rondella, DIN EN ISO 7090 o DIN EN ISO 7092 Piastra di montaggio fornita dal cliente Strumenti richiesti ● Chiave a brugola, WAF 6 ● Chiave, alternativa per viti a testa esagonale DIN 933 ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) Fissaggio della turbopompa alla parte inferiore 1. Rimuovere i tappi di plastica dalla parte inferiore della pompa. 2. Posizionare la turbopompa verticalmente sulla piastra di montaggio. 3. Imbullonare la parte inferiore della pompa alla piastra di montaggio con il necessario numero di idonee viti di fissaggio e rondelle. – Rispettare la profondità di avvitamento specificata. – Rispettare la coppia di serraggio consentita. Turbopompa Piastra di montaggio Spessore minimo | Resistenza alla trazione Dimensione filetto Quantità Profondità di avvitamento Coppia di serraggio HiPace 350 HiPace 400 HiPace 450 HiPace 700 HiPace 800 3 mm | > 270 MPa M8 6 ≥ 1,3 × d 25 Nm ± 10 % Tab. 5: Requisiti per il fissaggio della turbopompa alla parte inferiore 5.3 Collegare il lato alto vuoto 5.3.1 Requisiti per il dimensionamento di una controflangia AVVERTENZA Rischio di danni dovuti a una progettazione errata della controflangia Eventuali irregolarità della controflangia sul lato dell'operatore provocano delle sollecitazioni nell'alloggiamento della pompa per vuoto, anche se essa è stata fissata correttamente. Ciò può produrre delle perdite o influire negativamente sulle caratteristiche operative. ► Rispettare le tolleranze strutturali della controflangia. ► Rispettare le deviazioni massime di planarità dell'intera superficie. 22/66 Installazione Parti sovrastrutturali e raccordi del collegamento per alto vuoto L'installazione di parti sovrastrutturali e raccordi nel collegamento per alto vuoto è di competenza della società operativa. La capacità di carico della flangia per alto vuoto è specifica per la turbopompa utilizzata. ● Il peso complessivo delle parti sovrastrutturali non deve superare i valori assiali massimi specificati. ● Assicurarsi che tutte le coppie generate dal rotore, se si blocca improvvisamente, siano assorbite dal sistema lato operatore e dal raccordo per alto vuoto. ● Per il raccordo per alto vuoto della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. Parametro HiPace 450 Coppia massima in caso di scoppio1) 3500 Nm Carico assiale massimo consentito sulla flangia per alto vuoto2) 1000 N (equivalente a 100 kg) Planarità ± 0,05 mm Resistenza alla trazione minima del materiale flangiato in tutti gli stati operativi in relazione alla profondità d'innesto delle viti di fissaggio 170 N/mm2 a 2,5 x d 270 N/mm2 a 1,5 x d Temperatura del rotore massima consentita 90 °C Tab. 6: 5.3.2 Requisiti per il dimensionamento di un raccordo per alto vuoto fornito dal cliente Valutazione delle misure antisismiche AVVERTENZA Danni alla pompa per vuoto causati da vibrazioni esterne Nell'eventualità che si verifichi un terremoto o che il dispositivo sia sottoposto a vibrazioni esterne di altro tipo, sussiste il rischio che il rotore entri in contatto con i cuscinetti di sicurezza o che la parete dell'alloggiamento tocchi la turbopompa. Ciò può produrre carichi meccanici tali da causare persino la distruzione della turbopompa. ► Accertarsi che tutti gli attacchi a flangia e i collegamenti di sicurezza assorbano le forze risultanti. ► Assicurare la camera del vuoto da eventuali spostamenti o ribaltamenti. 1) La coppia calcolata teoricamente in caso di scoppio (rottura dell'albero del rotore) secondo ISO 27892 non è stata raggiunta in alcun test sperimentale. 2) Non è consentito un carico unilaterale. 23/66 Installazione VACUUM CHAMBER Fig. 3: Esempio: Fissare per impedire spostamenti e ribaltamenti causati da vibrazioni esterne Collegamento di sicurezza, da parte del cliente 5.3.3 Utilizzo di un paraschegge o di uno schermo protettivo Gli anelli di centraggio Pfeiffer Vacuum della flangia per alto vuoto dotati di paraschegge o schermo protettivo proteggono la turbopompa dalla presenza di corpi estranei provenienti dalla camera del vuoto. La velocità di pompaggio della turbopompa si riduce in base ai valori guida di passaggio e alle dimensioni della flangia per alto vuoto. Dimensioni della flangia Velocità di pompaggio ridotta in % per tipo di gas H2 He N2 Ar Paraschegge DN 160 6 9 20 23 Schermo protettivo DN 160 1 2 6 7 Tab. 7: Riduzione della velocità di pompaggio a causa dell'utilizzo di un paraschegge o di uno schermo protettivo ► Con flange ISO utilizzare anelli di centraggio dotati di paraschegge o schermo protettivo. 5.3.4 Utilizzo del compensatore di vibrazioni ATTENZIONE Rischio di lesioni dovute al distacco della turbopompa assieme al compensatore di vibrazioni in caso di malfunzionamento Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se si utilizza un compensatore di vibrazioni, è probabile che la turbopompa ceda durante l'uso. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Si raccomanda di adottare delle idonee misure preventive in loco per compensare le coppie che si originano in questo modo. ► Prima di installare un compensatore di vibrazioni, è necessario innanzitutto contattare Pfeiffer Vacuum. I compensatori di vibrazioni Pfeiffer Vacuum sono indicati per l'uso in sistemi sensibili alle vibrazioni. Installazione del compensatore di vibrazioni 1. Installare il compensatore di vibrazioni solo con passaggio verticale. 2. Considerare il valore della perdita di carico. 24/66 Installazione 3. Fissare la turbopompa anche alla flangia per alto vuoto. 4. Rispettare il fissaggio delle flange ISO. 5.3.5 Orientamenti di montaggio Le turbopompe Pfeiffer Vacuum della serie HiPace possono essere utilizzate in combinazione con pompe ausiliarie di prevuoto a compressione a secco, montandole in tutte le direzioni. ► Quando si utilizzano delle pompe ausiliarie di prevuoto a tenuta d'olio, impedire il flusso di ritorno dall'area di prevuoto. HV VV Fig. 4: VV ± 25° max VV Allineamento consigliato del collegamento del prevuoto quando si utilizzano pompe ausiliarie di prevuoto a tenuta di olio. Scegliere una direzione di montaggio orizzontale della turbopompa in combinazione con pompe ausiliarie di prevuoto a tenuta d'olio 1. Allineare sempre il raccordo di prevuoto verticalmente verso il basso. – Deviazione consentita ± 25° 2. Puntellare i raccordi davanti alla turbopompa. 3. Evitare che le forze del sistema di tubazioni agiscano sulla turbopompa. 4. Non caricare la flangia per alto vuoto della turbopompa su un solo lato. 5.3.6 Fissaggio della flangia ISO-K a ISO-F Attacchi a flangia ISO Quando le flange vengono fissate a strutture ISO-KF o ISO-K, un blocco improvviso del rotore può causare una torsione, nonostante la corretta installazione. ● La tenuta dell'attacco a flangia non viene tuttavia pregiudicata da questo inconveniente. Strumenti richiesti ● Chiave WAF 15 ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) Fig. 5: Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, viti da staffa Collegamento con vite da staffa 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Collegare la flangia ai componenti del kit di montaggio come mostrato in figura. 3. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 4. Serrare le viti da staffa in 3 passaggi in sequenza diametralmente opposta. – Coppia di serraggio: 5, 15, 25 ± 2 Nm 25/66 Installazione 5.3.7 Fissaggio della flangia ISO-K a ISO-F I tipi di collegamento per l'installazione della flangia ISO-K con la flangia ISO-F sono: ● "Vite a testa esagonale e foro filettato" ● "Vite prigioniera con foro filettato" ● "Vite prigioniera con foro passante" Attacchi a flangia ISO Quando le flange vengono fissate a strutture ISO-KF o ISO-K, un blocco improvviso del rotore può causare una torsione, nonostante la corretta installazione. ● La tenuta dell'attacco a flangia non viene tuttavia pregiudicata da questo inconveniente. Strumenti richiesti ● Chiave esagonale (15 WAF) ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) Fig. 6: Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite a testa esagonale e foro filettato Collegamento con vite a testa esagonale e foro filettato 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Posizionare la flangia a collare sulla flangia per alto vuoto della turbopompa. 3. Inserire l'anello elastico nella scanalatura laterale della flangia per alto vuoto della turbopompa. 4. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante la flangia a collare, l'anello elastico e l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 5. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 6. Avvitare le viti a testa esagonale nei fori filettati. – Rispettare la resistenza alla trazione minima del materiale flangiato e la profondità della vite. 7. Fissare le viti a testa esagonale in 3 passaggi in sequenza diametralmente opposta. – Coppia di serraggio: 5, 15, 25 ± 2 Nm Fig. 7: Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite prigioniera e foro filettato Collegamento con vite prigioniera e foro filettato 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Avvitare il numero previsto di viti prigioniere inserendo l'estremità più corta nei fori della controflangia. – Rispettare la resistenza alla trazione minima del materiale flangiato e la profondità della vite. 3. Posizionare la flangia a collare sulla flangia per alto vuoto della turbopompa. 4. Inserire l'anello elastico nella scanalatura laterale della flangia per alto vuoto della turbopompa. 5. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante la flangia a collare, l'anello elastico e l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 26/66 Installazione 6. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 7. Fissare i dadi in 3 passaggi in sequenza diametralmente opposta. – Coppia di serraggio: 5, 15, 25 ± 2 Nm Fig. 8: Attacco a flangia di ISO-K con ISO-F, vite prigioniera e foro passante Collegamento con vite prigioniera e foro passante 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Posizionare la flangia a collare sulla flangia per alto vuoto della turbopompa. 3. Inserire l'anello elastico nella scanalatura laterale della flangia per alto vuoto della turbopompa. 4. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante la flangia a collare, l'anello elastico e l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 5. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 6. Serrare i dadi in 3 passaggi in sequenza diametralmente opposta. 7. Coppia di serraggio: 5, 15, 25 ± 2 Nm 5.3.8 Fissaggio della flangia ISO-F a ISO-F I tipi di collegamento per l'installazione della flangia ISO-F con la flangia ISO-F sono: ● "Vite a testa esagonale e foro filettato" ● "Vite prigioniera con foro filettato" ● "Vite prigioniera con foro passante" Strumenti richiesti ● Chiave esagonale (15 WAF) ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) Fig. 9: Attacco a flangia ISO-F, vite a testa esagonale e foro filettato Collegamento con vite a testa esagonale e foro filettato 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 3. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 4. Avvitare il numero prescritto di viti a testa esagonale nel foro filettato. – Rispettare la resistenza alla trazione minima del materiale flangiato e la profondità della vite. 5. Fissare le viti a testa esagonale a croce in 3 passaggi. – Coppia di serraggio: 5, 15, 22 ± 2 Nm 27/66 Installazione Fig. 10: Attacco a flangia ISO-F, vite prigioniera e foro filettato Collegamento con vite prigioniera e foro filettato 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Avvitare le viti prigioniere inserendo l'estremità più corta nei fori filettati della controflangia. – Rispettare la resistenza alla trazione minima del materiale flangiato e la profondità della vite. 3. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 4. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 5. Fissare i dadi esagonali. 6. Serrare i dadi a croce in 3 passaggi. – Coppia di serraggio: 5, 15, 22 ± 2 Nm Fig. 11: Attacco a flangia ISO-F, vite prigioniera e foro passante Collegamento con vite prigioniera e foro passante 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Fissare la turbopompa alla controflangia mediante l'anello di centraggio, come mostrato in figura. 3. Utilizzare tutti i componenti previsti per la turbopompa. 4. Fissare i collegamenti a vite a croce in 3 passaggi. – Coppia di serraggio: 5, 15, 22 ± 2 Nm 5.3.9 Fissaggio della flangia CF a CF-F I tipi di collegamento per l'installazione della flangia CF con la flangia CF sono: ● "Vite a testa esagonale e foro passante" ● "Vite prigioniera con foro filettato" ● "Vite prigioniera con foro passante" AVVERTENZA L'errata installazione delle flange CF può causare delle perdite Una pulizia inadeguata durante la manipolazione delle flange CF e delle guarnizioni in rame può causare delle perdite e dei danni di processo. ► Indossare sempre guanti idonei prima di toccare o fissare qualunque componente. ► Montare le guarnizioni solo se asciutte e prive di grasso. ► Prestare attenzione alle superfici danneggiate e ai bordi tagliati. ► Sostituire i componenti danneggiati. Strumenti richiesti ● Chiave esagonale (13 WAF) ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) 28/66 Installazione Fig. 12: Attacco a flangia CF-F, vite a testa esagonale e foro passante Collegamento con vite a testa esagonale e fori passanti 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. In questo caso: inserire lo schermo protettivo o il paraschegge con alette di serraggio nella flangia per alto vuoto della turbopompa. 3. Posizionare la guarnizione esattamente nella cavità. 4. Collegare la flangia ai componenti del kit di montaggio come mostrato in figura. 5. Serrare a fondo i giunti a vite. – Coppia di serraggio: 22 ± 2 Nm 6. Controllare quindi la coppia, poiché lo scorrimento del materiale di tenuta può rendere necessario serrare nuovamente le viti. Fig. 13: Attacco a flangia CF-F, vite prigioniera e foro filettato Collegamento con vite prigioniera e foro filettato 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Avvitare il numero previsto di viti prigioniere inserendo l'estremità più corta nei fori della controflangia. 3. In questo caso: inserire lo schermo protettivo o il paraschegge con alette di serraggio nella flangia per alto vuoto della turbopompa. 4. Posizionare la guarnizione esattamente nella cavità. 5. Collegare la flangia ai componenti del kit di montaggio come mostrato in figura. 6. Serrare a fondo i giunti a vite. – Coppia di serraggio: 22 ± 2 Nm 7. Controllare quindi la coppia, poiché lo scorrimento del materiale di tenuta può rendere necessario serrare nuovamente le viti. Fig. 14: Attacco a flangia CF-F, vite prigioniera e foro passante Collegamento con vite prigioniera e foro passante 1. Per il collegamento della turbopompa utilizzare solo i kit di montaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. In questo caso: inserire lo schermo protettivo o il paraschegge con alette di serraggio nella flangia per alto vuoto della turbopompa. 3. Posizionare la guarnizione esattamente nella cavità. 29/66 Installazione 4. Collegare la flangia ai componenti del kit di montaggio come mostrato in figura. 5. Serrare a fondo i giunti a vite. – Coppia di serraggio: 22 ± 2 Nm 6. Controllare quindi la coppia, poiché lo scorrimento del materiale di tenuta può rendere necessario serrare nuovamente le viti. 5.4 Collegamento del lato di prevuoto ATTENZIONE Pericolo di morte per avvelenamento in caso di fuoriuscita di fluidi tossici di processo da raccordi danneggiati Una torsione improvvisa della turbopompa in caso di guasto provoca l'accelerazione dei raccordi. Questo movimento può danneggiare i collegamenti in loco (ad esempio la linea di prevuoto) causando delle perdite. Ciò si traduce in una perdita di fluidi di processo. Nei processi che fanno uso di fluidi tossici, sussiste il rischio di lesioni e il pericolo di morte per avvelenamento. ► Tenere le masse collegate alla turbopompa più basse possibile. ► Per collegare la turbopompa utilizzare, se possibile, delle linee flessibili. Pompa ausiliaria di prevuoto idonea Utilizzare la turbopompa solo in combinazione con una pompa ausiliaria di prevuoto adatta, in grado di fornire la pressione di prevuoto massima richiesta. Per ottenere tale pressione di prevuoto, utilizzare una pompa per vuoto idonea o una stazione di pompaggio della gamma Pfeiffer Vacuum. In questo caso la pompa ausiliaria di prevuoto viene inoltre gestita direttamente dalle interfacce dell'unità di comando elettronica della turbopompa (ad esempio scatola relè o cavo di collegamento). 1 7 Fig. 15: 30/66 2 3 4 5 6 Esempio di raccordo di prevuoto in HiPace 450 1 Raccordo di prevuoto della turbopompa 2 Vite cilindrica 5 6 3 Flangia cieca 4 Anello di centraggio 7 Componenti per vuoto DN 16 ISO-KF Pompa ausiliaria di prevuoto (ad esempio pompa per vuoto roots multistadio) Blocco a morsetto Installazione Realizzazione del raccordo di prevuoto Strumenti richiesti ● Chiave a brugola, da 5 mm ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) 1. Smontare la flangia cieca sul raccordo per prevuoto e conservarla in un luogo sicuro. 2. Se si utilizzano dei raccordi per tubi rigidi, includere dei soffietti per attenuare le vibrazioni esterne. 3. Installare un raccordo di prevuoto con piccoli componenti a flangia, ad esempio elementi di collegamento e componenti per tubazioni DN 16 ISO-KF, disponibili nella gamma di componenti di Pfeiffer Vacuum. 4. Adottare delle misure per contrastare il riflusso di fluidi di esercizio o di condensa dall'area di prevuoto. 5. Attenersi alle indicazioni contenute nelle istruzioni d'uso della pompa ausiliaria di prevuoto o della stazione di pompaggio durante il collegamento e l'uso. 6. Serrare uniformemente le viti cilindriche del blocco a morsetto. – Coppia di serraggio: 2 Nm. 5.5 Collegamento di accessori Installazione e funzionamento degli accessori Pfeiffer Vacuum propone una serie di accessori speciali e compatibili con i propri prodotti. ● Informazioni e opzioni di ordinazione per gli accessori per turbopompe con cuscinetto ibrido approvati sono disponibili online. Collegamento di accessori mediante l'unità di comando elettronica TC 110 e TC 120 ● È possibile impiegare accessori Pfeiffer Vacuum mediante l'unità di comando elettronica TC 110 e TC 120 tramite un cavo di collegamento o un adattatore specifico nel collegamento multifunzione X3. ● L'uscita accessori desiderata viene configurata mediante RS-485 utilizzando le unità di comando Pfeiffer Vacuum oppure un PC. ● Informazioni dettagliate sono reperibili nelle istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica. 1 3 Fig. 16: 1 2 3 4 5 DO1 7 4 DO2 B1 ACC A1 X3 2 6 Esempio di collegamento di accessori mediante adattatore TCS 12 Collegamento multifunzione X3 Adattatore TCS Collegamento di accessori B1 Collegamento RS-485 5 6 7 Uscita digitale DO2 Uscita digitale DO1 Collegamento di accessori A1 Utilizzo di accessori 1. Attenersi alle indicazioni di installazione contenute nelle istruzioni d'uso dell'accessorio in questione. 2. Notare la configurazione dei collegamenti e delle linee di controllo esistenti. 3. Se è necessario effettuare la configurazione, utilizzare un'unità di comando Pfeiffer Vacuum. 31/66 Installazione 5.6 Collegamento dell'alimentazione elettrica ATTENZIONE Rischio di morte a causa dell'assenza di un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica La pompa per vuoto e l'unità di comando elettronica non sono dotate di un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica (interruttore della rete di alimentazione). ► Installare un dispositivo di scollegamento dall'alimentazione elettrica conforme a SEMI-S2. ► Installare un interruttore di circuito con tasso di interruzione di almeno 10.000 A. ATTENZIONE Rischio di lesioni a causa di una installazione errata Situazioni di pericolo possono insorgere da una installazione non sicura o errata. ► Non eseguire conversioni o modifiche dell'unità. ► Verificare l'integrazione in un circuito di sicurezza per l'arresto di emergenza. 5.6.1 Messa a terra della turbopompa Pfeiffer Vacuum consiglia di collegare un cavo di messa a terra idoneo per scaricare le interferenze legate all'applicazione. M4 Fig. 17: Esempio: Collegamento del cavo di messa a terra 1. Utilizzare il morsetto di terra della turbopompa (filetto femmina M4). 2. Posare il collegamento in base alle disposizioni vigenti localmente. 5.6.2 Realizzazione del collegamento elettrico PERICOLO Pericolo di morte per scossa elettrica I pacchetti alimentatori non specificati o non approvati possono causare gravi lesioni e persino la morte. ► Verificare che il pacchetto alimentatore soddisfi i requisiti di doppio isolamento tra la tensione di ingresso della rete elettrica e la tensione di uscita conformemente a IEC 61010-1 IEC 60950-1 e IEC 62368-1. ► Verificare che il pacchetto alimentatore soddisfi i requisiti conformemente a IEC 61010-1 IEC 60950-1 e IEC 62368-1. ► Se possibile, utilizzare pacchetti alimentatori originali o solamente pacchetti alimentatori conformi alle norme di sicurezza vigenti. 32/66 Installazione ATTENZIONE Rischio di lesioni da taglio dovute a un avvio inatteso. L'uso di spine di innesto per l'unità di comando elettronica (accessori) consente di avviare automaticamente la pompa per vuoto non appena viene attivata l'alimentazione elettrica. Se le spine di innesto vengono inserite prima dell'installazione o nel corso di essa, le parti si mettono in movimento. In questo modo si corre il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo della flangia per alto vuoto esposta. ► Inserire le spine di innesto solo dopo aver completato l'installazione meccanica. ► Accendere la pompa per vuoto solo immediatamente prima di metterla in funzione. 1 2 3 4 9 8 5 7 DC out 6 Fig. 18: Collegamento dell'unità di comando elettronica a un pacchetto alimentazione 1 Cavo di collegamento 6 2 3 4 5 7 8 9 Connettore RS 485 (opzionale) Connettore accessori (opzionale) Unità di comando elettronica della turbopompa Collegamento multifunzione X3 Pacchetto alimentazione | Unità di comando con pacchetto alimentazione Connettore DCout Collegamento alla rete ACin Interruttore principale Sono disponibili pacchetti alimentazione (ad esempio TPS) o unità di comando e cavi di collegamento per la tensione prevista dall'unità di comando elettronica. Tipo di cavo di collegamento Funzionamento Cavo di collegamento con interfaccia RS-485 e ponticelli da TC 110|TC 120 a pacchetto alimentazione ● Alimentazione di tensione mediante pacchetto alimentazione ● Aumento automatico mediante ponticelli sui pin 2, 5, 7 ● Collegamento all'unità di comando mediante RS-485 Cavo di collegamento con interfaccia RS-485 e connettori per accessori da TC 110|TC 120 a pacchetto alimentazione ● Alimentazione di tensione mediante pacchetto alimentazione ● Connettore per unità accessorie con spina M8 ● Collegamento all'unità di comando mediante RS-485 Cavo di collegamento con ponticelli da TC 110|TC 120 a pacchetto alimentazione ● Alimentazione di tensione mediante pacchetto alimentazione ● Aumento automatico mediante ponticelli sui pin 2, 5, 7 Cavo di collegamento con ponticelli e connettori per accessori da TC 110| TC 120 a pacchetto alimentazione ● Alimentazione di tensione mediante pacchetto alimentazione ● Aumento automatico mediante ponticelli sui pin 2, 5, 7 ● Connettore per unità accessorie con spina M8 Collegamento dell'unità di comando elettronica 1. Assicurarsi che venga erogata la tensione di alimentazione corretta. 2. Verificare che l'interruttore principale del pacchetto alimentazione sia spento prima del collegamento. 3. Utilizzare un cavo di collegamento idoneo incluso nella gamma di accessori Pfeiffer Vacuum. 4. Inserire la spina del cavo di collegamento a 15 poli nel collegamento "X3" dell'unità di comando elettronica e fissarla in posizione. 5. Inserire il cavo di collegamento nel collegamento "DCout" del pacchetto alimentazione e chiudere il blocco a baionetta. 6. Se si utilizza un'unità di comando Pfeiffer Vacuum: Inserire il connettore "RS-485" nell'unità di comando utilizzando un cavo di prolunga idoneo. 33/66 Funzionamento 6 Funzionamento 6.1 Messa in servizio ATTENZIONE Rischio di lesioni da taglio dovute a un avvio inatteso. L'uso di spine di innesto per l'unità di comando elettronica (accessori) consente di avviare automaticamente la pompa per vuoto non appena viene attivata l'alimentazione elettrica. Se le spine di innesto vengono inserite prima dell'installazione o nel corso di essa, le parti si mettono in movimento. In questo modo si corre il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo della flangia per alto vuoto esposta. ► Inserire le spine di innesto solo dopo aver completato l'installazione meccanica. ► Accendere la pompa per vuoto solo immediatamente prima di metterla in funzione. AVVERTENZA Distruzione della pompa per vuoto a causa di un apporto eccessivo di energia durante il funzionamento Il carico simultaneo di un'elevata potenza di azionamento (portata di gas, pressione di prevuoto), un'elevata radiazione termica o forti campi magnetici provoca un riscaldamento incontrollato del rotore che può distruggere la pompa per vuoto. ► Consultare Pfeiffer Vacuum prima di gravare la pompa per vuoto di carichi variabili. Si applicano i valori limite inferiori. AVVERTENZA Distruzione della turbopompa a causa di gas con masse molecolari eccessivamente elevate Il pompaggio di gas con masse molecolari non consentite provoca la distruzione della turbopompa. ► Assicurarsi che nell'unità di comando elettronica sia impostata la corretta modalità gas, ossia [P:027]. ► Consultare Pfeiffer Vacuum prima di utilizzare gas con masse molecolari molto elevate (> 80). Le impostazioni di base e le variabili di funzionamento sono programmate in fabbrica come parametri dell'unità di comando elettronica della pompa per vuoto. Ogni parametro ha un numero a tre cifre e una descrizione. È possibile gestire e controllare i parametri mediante un’unità di comando di Pfeiffer Vacuum o esternamente mediante RS-485 utilizzando il protocollo Pfeiffer Vacuum. Parametro Nome Denominazione Regolazione, impostazione [P:027] GasMode Modalità gas 0 = gas pesanti [P:035] CfgAccA1 Collegamento di accessori A1 0 = ventola (funzionamento continuo) [P:036] CfgAccB1 Collegamento di accessori B1 1 = valvola di sfiato [P:700] RUTimeSVal Valore impostato tempo di avvio 8 min. [P:701] SpdSwPt1 Punto di commutazione velocità di rotazione 1 80% [P:707] SpdSVal Specifica controllo velocità 65% [P:708] PwrSVal Valore impostato consumo di energia 100% [P:720] VentSpd Sfiato a velocità di rotazione, sfiato ritardato 50% [P:721] VentTime Tempo di sfiato, sfiato ritardato 3600 s Tab. 8: 34/66 Impostazione di fabbrica dell'unità di comando elettronica per turbopompe al momento della consegna Funzionamento Note per la messa in servizio della turbopompa 1. Quando si utilizza il raffreddamento ad acqua, rispettare il flusso e la portata dell'acqua di raffreddamento. 2. Quando si utilizza il gas di tenuta, rispettare il flusso e la portata di quest'ultimo. 3. Fornire l'alimentazione di corrente per il gruppo di alimentazione. 6.2 Modalità operative La turbopompa può essere gestita in diverse modalità. ● ● ● ● ● 6.2.1 Funzionamento senza unità di comando Funzionamento mediante collegamento "X3" Funzionamento mediante interfaccia RS-485 dall'unità di comando Pfeiffer Vacuum o PC Funzionamento mediante collegamento "E74" Funzionamento mediante fieldbus Funzionamento senza unità operativa Avvio automatico Dopo avere bypassato i contatti sui pin 2, 5, 7 sul collegamento "X3" o se si utilizza un cavo di collegamento con relativi ponticelli e dopo avere applicato la tensione di alimentazione, la turbopompa si avvia immediatamente. Note sul funzionamento senza unità di comando 1. Inserire nel collegamento "X3" dell'unità di comando elettronica solo cavi di collegamento dotati di ponticelli approvati da Pfeiffer Vacuum. 2. Attivare l'alimentazione elettrica della turbopompa solo immediatamente prima di mettere in funzione quest'ultima. Dopo avere applicato la tensione d'esercizio, l'unità di comando elettronica esegue un'autodiagnosi per controllare la tensione di alimentazione. Dopo avere completato correttamente l'autodiagnosi, la turbopompa si avvia e attiva i dispositivi aggiuntivi collegati in base alla configurazione scelta. 6.2.2 Funzionamento mediante collegamento multifunzione "X3" Il collegamento D-Sub a 15 poli con denominazione "X3" dell'unità di comando elettronica consente di accedere al telecomando. Le singole funzioni accessibili sono mappate come "livelli PLC". Istruzioni di funzionamento con telecomando ► Consultare le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica. 6.2.3 Funzionamento mediante collegamento "E74" Il funzionamento è possibile mediante il collegamento D-Sub a 15 poli con denominazione "E74" dell'unità di comando elettronica. Oltre ai segnali definiti nella direttiva SEMI E74-0301, il collegamento fornisce un segnale di allarme invertito e un'uscita analogica. Istruzioni di funzionamento con E74 ► Vedere le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica, versione E74. 6.2.4 Funzionamento mediante unità di comando Pfeiffer Vacuum Il collegamento di un'unità di comando Pfeiffer Vacuum consente di gestire la turbopompa tramite parametri statici memorizzati nell'unità di comando elettronica. Utilizzo dell'unità di comando 1. Osservare le istruzioni d'uso appropriate per la gestione delle unità di comando Pfeiffer Vacuum: – Le istruzioni d'uso sono disponibili nel Download Center. 2. Attenersi alle istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica fornite in dotazione con la pompa per vuoto. 35/66 Funzionamento 3. Collegare l'unità di comando al collegamento multifunzione "X3" dell'unità di comando elettronica. – Utilizzare un cavo di collegamento idoneo con collegamento "RS-485" o un adattatore per "X3". 4. Attivare l'alimentazione di corrente della turbopompa mediante il pacchetto alimentazione esterno o l'unità di comando con pacchetto alimentazione integrato. 6.2.5 Funzionamento mediante fieldbus Le turbopompe Pfeiffer Vacuum possono essere integrate nel sistema fieldbus del cliente e gestite mediante un'unità di comando elettronica con relativo pannello di collegamento. È disponibile quanto segue: ● Profibus Istruzioni di funzionamento con fieldbus ► Vedere le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica con relativo pannello di collegamento. 6.3 Accensione della turbopompa ATTENZIONE Rischio di ustioni in caso di contatto con superfici calde quando si utilizzano attrezzature riscaldanti aggiuntive durante il funzionamento L'impiego di attrezzature aggiuntive per riscaldare la pompa per vuoto o per ottimizzare il processo genera temperature molto elevate sulle superfici di contatto. Vi è il rischio di procurarsi delle ustioni. ► Se necessario, predisporre una protezione di contatto. ► Se necessario, applicare gli adesivi di avviso appositamente forniti nei punti di pericolo. ► Assicurarsi che la pompa per vuoto sia sufficientemente raffreddata prima di lavorare con essa o in prossimità di essa. ► Indossare indumenti protettivi, ad esempio guanti. ATTENZIONE Rischio di lesioni gravi in caso di distruzione della pompa per vuoto a causa di sovrapressione L'ingresso di gas a una sovrapressione molto elevata provoca la distruzione della pompa per vuoto. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni gravi dovute alla fuoriuscita di oggetti. ► Non superare mai la pressione di ingresso consentita di 1500 hPa (assoluta) sul lato di aspirazione o sul raccordo di sfiato e del gas di tenuta. ► Assicurarsi che le sovrapressioni elevate generate dal processo non entrino direttamente nella pompa per vuoto. Accensione della turbopompa ► Collegare il pacchetto alimentatore all'alimentazione elettrica sul lato cliente. ► Accendere il pacchetto alimentatore. 6.4 Monitoraggio del funzionamento 6.4.1 Indicazione della modalità operativa mediante LED I LED dell'unità di comando elettronica segnalano gli stati operativi di base della pompa per vuoto. È possibile visualizzare i messaggi di avviso e di errore solo utilizzando l'unità di comando Pfeiffer Vacuum o un PC. 36/66 Funzionamento LED Simbolo Verde Giallo Rosso Tab. 9: 6.4.2 Stato LED Display Significato Off Assenza di corrente On, lampeggiante "Stazione di pompaggio OFF", velocità di rotazione ≤ 60 rpm On, lampeggiante intermittente "Stazione di pompaggio ON", velocità di rotazione impostata non raggiunta On, fisso "Stazione di pompaggio ON", velocità di rotazione impostata raggiunta On, lampeggiante "Stazione di pompaggio OFF", velocità > 60 rpm Off Nessun avviso On, fisso Avviso Off Nessun errore, nessun avviso On, fisso Errore, anomalia Funzione e significato dei LED dell'unità di comando elettronica Monitoraggio della temperatura Se vengono superati i valori di soglia, i segnali in uscita dai sensori di temperatura mettono la turbopompa in condizioni di sicurezza. Le soglie di temperatura che generano i messaggi di avviso e di errore (che dipendono dal tipo di turbopompa) vengono conservate in modo permanente nell'unità di comando elettronica. Il set di parametri prevede varie richieste di stato a scopo informativo. ● Per evitare di spegnere la turbopompa, l'unità di comando elettronica riduce automaticamente il consumo di energia in caso di superamento della soglia di avviso della temperatura, ─ ad esempio se la temperatura del motore o quella dell'alloggiamento risultano eccessive. ● Un'ulteriore riduzione della potenza di azionamento con conseguente diminuzione della velocità può portare a superare verso il basso il punto di commutazione della velocità di rotazione. In questo caso la turbopompa si spegne. ● Se viene superata la soglia di temperatura che genera i messaggi di errore, la turbopompa si spegne immediatamente. 6.5 Spegnimento e sfiato Raccomandazione Sfiatare la turbopompa dopo averla spenta. In questo modo è possibile evitare l'ingresso nel sistema per vuoto di particelle che rifluiscono dall'area di prevuoto. 6.5.1 Spegnimento Note sullo spegnimento della turbopompa 1. Spegnere la turbopompa mediante l'unità di comando o il telecomando. 2. Chiudere la linea di prevuoto. 3. Spegnere la pompa ausiliaria di prevuoto, se necessario. 4. Sfiatare la turbopompa. 5. Chiudere le linee di alimentazione (ad esempio per l'acqua di raffreddamento o il gas di tenuta). 6.5.2 Sfiato CAUTELA Rischio di lesioni dovute al contatto con il vuoto durante le operazioni di sfiato Durante lo sfiato della pompa per vuoto è possibile procurarsi delle lievi ferite (ad esempio ematomi) a causa del contatto diretto di parti del corpo con il vuoto. ► Non svitare completamente la vite di sfiato dall'alloggiamento durante le operazioni di sfiato. ► Mantenersi a distanza dal dispositivo automatico di sfiato (ad esempio le valvole apposite). 37/66 Funzionamento AVVERTENZA Danni alla turbopompa dovuti a un aumento eccessivamente rapido della pressione durante le operazioni di sfiato Tassi di aumento della pressione eccessivamente elevati pongono un carico significativo sul rotore e sul cuscinetto magnetico della turbopompa. Sfiatando volumi molto bassi nella camera del vuoto o nella turbopompa è possibile provocare degli aumenti incontrollabili di pressione. Ciò causa danni meccanici alla turbopompa, che possono provocare un guasto. ► Rispettare la massima velocità prescritta di aumento della pressione, pari a 15 hPa/s. ► Evitare di sfiatare in modo manuale e incontrollato volumi molto bassi. ► Se necessario, utilizzare una valvola di sfiato appartenente alla gamma di accessori Pfeiffer Vacuum. Sfiato manuale Il processo manuale di sfiato rappresenta la procedura standard per sfiatare la stazione di pompaggio turbo. 1. Assicurarsi che il sistema per vuoto sia spento. 2. Aprire la vite di sfiato nera sulla turbopompa in un'unica rivoluzione. 3. Attendere l'equalizzazione della pressione del sistema per vuoto a quella atmosferica. 4. Chiudere nuovamente la vite di sfiato. Utilizzo di una valvola di sfiato Pfeiffer Vacuum La valvola di sfiato Pfeiffer Vacuum rappresenta un accessorio opzionale da installare sulla turbopompa. La valvola di sfiato è normalmente chiusa. Il controllo avviene mediante l'unità di comando elettronica della turbopompa e tramite la configurazione dei parametri [P:012] e [P:030]. In caso di interruzione di corrente la turbopompa continua a fornire energia sufficiente durante il suo periodo di inattività per inizializzare un corretto processo di sfiato. Quando l'alimentazione di corrente viene ripristinata, il processo di sfiato viene interrotto. ► Spegnere la turbopompa. – Il processo di sfiato si avvia automaticamente. Velocità di sfiato [P:720] Durata dello sfiato [P:721] Durata dello sfiato in caso di interruzione di corrente 50% della velocità nominale 3600 s 3600 s Tab. 10: Impostazioni di fabbrica per lo sfiato ritardato nelle turbopompe Informazioni generali per un rapido processo di sfiato Consigliamo di eseguire un rapido sfiato di grandi volumi in 4 passaggi. 1. Utilizzare una valvola di sfiato Pfeiffer Vacuum per turbopompa o adattare la sezione trasversale della valvola alle dimensioni del recipiente e alla velocità massima di sfiato. 2. Sfiatare il sistema per vuoto al massimo tasso di aumento della pressione (15 hPa/s) per una durata di 20 secondi. 3. Sfiatare quindi il sistema con una seconda valvola di sfiato di qualunque dimensione; ad esempio direttamente nella camera del vuoto. 4. Attendere l'equalizzazione della pressione del sistema per vuoto a quella atmosferica. 38/66 Manutenzione 7 Manutenzione 7.1 Informazioni generali sulla manutenzione ATTENZIONE Pericolo di morte per folgorazione durante gli interventi di manutenzione e assistenza Il dispositivo è da considerarsi completamente privo di tensione solo dopo che la spina di rete è stata scollegata e la turbopompa si è arrestata. Sussiste il pericolo di morte per folgorazione in caso di contatto con i componenti sotto tensione. ► Prima di eseguire qualsiasi intervento, disattivare l'interruttore principale. ► Attendere l'arresto della turbopompa (velocità di rotazione f = 0). ► Rimuovere la presa di rete dal dispositivo. ► Proteggere il dispositivo dalla riaccensione accidentale. ATTENZIONE Rischi per la salute dovuti ad avvelenamento causato da componenti o dispositivi contaminati con sostanze tossiche I fluidi di processo tossici contaminano i dispositivi e i relativi componenti. Durante gli interventi di manutenzione, sussistono rischi per la salute a causa del contatto con tali sostanze pericolose. Lo smaltimento illecito delle sostanze tossiche può provocare danni all’ambiente. ► Adottare opportune precauzioni per evitare rischi alla salute o danni all’ambiente causati dai fluidi di processo tossici. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Indossare i dispositivi di protezione. ATTENZIONE Rischio di procurarsi delle lesioni da taglio toccando parti a spigolo vivo in movimento mentre si accede al raccordo per alto vuoto aperto Una errata manipolazione della turbopompa prima di un intervento di manutenzione può creare delle situazioni di pericolo con conseguente rischio di lesioni. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni da taglio accedendo a parti rotanti a spigolo vivo durante la rimozione della turbopompa. ► Attendere l'arresto della turbopompa (velocità di rotazione f = 0). ► Spegnere la turbopompa correttamente. ► Mettere in sicurezza la turbopompa da possibili riavvii. ► Dopo la rimozione sigillare immediatamente i collegamenti aperti con il coperchio protettivo originale. 7.2 Lista di controllo per l’ispezione e la manutenzione Frequenza di manutenzione e durate d’uso La frequenza di manutenzione e le durate d’uso dipendono dal processo. Le sollecitazioni chimiche e termiche o la contaminazione riducono i valori di riferimento consigliati. ● Determinare le durate d’uso al primo intervallo operativo. ● Consultare l’assistenza Pfeiffer Vacuum se si desidera ridurre la frequenza di manutenzione. Manutenzione di livello 2 e 3 Consigliamo di fare eseguire gli interventi di manutenzione di livello 2 e di livello 3 (ispezione) dal servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum (PV). Pfeiffer Vacuum declina ogni responsabilità e non offre alcuna garanzia nel caso in cui si superino gli intervalli specificati o gli interventi di manutenzione vengano eseguiti in modo non appropriato. Ciò vale anche quando vengono utilizzati pezzi di ricambio non originali. 39/66 Manutenzione Consigli per l'esecuzione di interventi di manutenzione ► Gli interventi di manutenzione di livello 1 possono essere eseguiti in autonomia. ► Per la pulizia utilizzare un panno privo di lanugine e una piccola quantità di isopropanolo. ► Fare attenzione alla data di scadenza del fluido di esercizio. ► Per qualunque domanda relativa alla manutenzione contattare l'ufficio pertinente di assistenza Pfeiffer Vacuum. Azione Ispezione Manutenzione di livello 1 Manutenzione di livello 2 Manutenzione di livello 3 Descritti nel documento OI OI/MM MM SI Intervallo Se necessaria ≤ 5 anni ≤ 5 anni ≤ 5 anni Ispezione ■ Controllo visivo e acustico ■ Leggere e analizzare i dati della pompa3) ■ Aggiornamento opzionale del software4) ■ Predisporre consigli di intervento5) ■ Materiale richiesto Manutenzione di livello 1 – Sostituire il serbatoio del fluido di esercizio Pulire l'esterno della pompa per vuoto e la parte inferiore Sostituire il serbatoio del fluido di esercizio Test funzionale ■ Serbatoio del fluido di esercizio Manutenzione di livello 2 – Pulire pezzi importanti soggetti a usura Pulire l'esterno della pompa per vuoto e la parte inferiore Smontare parzialmente la pompa per vuoto Sostituire il serbatoio del fluido di esercizio Sostituire l'alloggiamento del cuscinetto Test funzionale ■ Pacchetto di ricambi 1 – Cuscinetto Manutenzione di livello 3 – Revisione Smontare e pulire la pompa per vuoto Sostituire tutte le guarnizioni e i pezzi soggetti a usura Test funzionale Tab. 11: 40/66 Intervalli per la manutenzione 3) Manutenzione da parte del servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. 4) Manutenzione da parte del servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. 5) Manutenzione da parte del servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. ■ Pacchetto di ricambi 1 – Cuscinetto Set di guarnizioni Manutenzione 7.3 Sostituzione del serbatoio del fluido di esercizio ATTENZIONE Rischio di avvelenamento dovuto al contatto con sostanze dannose Il serbatoio del fluido di esercizio e parti della turbopompa possono contenere sostanze tossiche derivanti dai fluidi pompati. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Evitare rischi per la salute o conseguenze ambientali adottando adeguate misure preventive. ► Rispettare la scheda dei dati di sicurezza del fluido di esercizio. ► Smaltire il serbatoio del fluido di esercizio secondo quanto previsto dalle norme applicabili. AVVERTENZA Danni a superfici di tenuta dovuti all'uso di strumenti inadeguati L'uso di strumenti inadeguati per la rimozione o l'inserimento di anelli di tenuta danneggia le superfici di tenuta, causando perdite nella pompa per vuoto. ► Non utilizzare mai strumenti metallici e appuntiti (ad esempio pinzette). ► Per rimuovere gli anelli di tenuta, servirsi esclusivamente di un utensile di estrazione per O-ring. Sostituzione del serbatoio del fluido di esercizio Il serbatoio del fluido di esercizio della turbopompa può essere dotato di aste capillari a seconda del modello. ● Quando si ordinano dei pezzi di ricambio, occorre indicare i codici articolo corretti della pompa e del serbatoio del fluido di esercizio. ● Questi dati sono riportati sulla targhetta dei dati di funzionamento. Scansionare questo codice QR o fare clic qui per visualizzare il livello di servizio 1 "Sostituzione del serbatoio del fluido di esercizio". La scheda dei dati di sicurezza è disponibile nel Download Center di Pfeiffer Vacuum. Prerequisiti ● ● ● ● ● 7.3.1 La turbopompa è spenta Il sistema per vuoto è ventilato alla pressione atmosferica L'alimentazione elettrica è stata interrotta Tutti i cavi sono stati scollegati. Tutte le aperture sono state sigillate con i coperchi protettivi originali ed eventuali tappi. Rimozione del serbatoio del fluido di esercizio Prodotti di consumo necessari ● Panno pulito privo di lanugine ● Guanti da laboratorio Strumenti richiesti ● Chiave a brugola, WAF 3 ● Pinzette ● Utensile di estrazione per O-ring 41/66 Manutenzione 1 2 4 3 5 6 7 Fig. 19: 1 2 3 4 Rimozione del serbatoio del fluido di esercizio Vite interna ad esagono incassato Coperchio di chiusura O-ring Serbatoio del fluido di esercizio 5 6 7 Aste capillari (9×) Punta di iniezione Coperchio protettivo Rimozione del serbatoio del fluido di esercizio 1. Indossare guanti da laboratorio per evitare ogni contatto cutaneo. 2. Posizionare la turbopompa sulla flangia per alto vuoto chiusa. 3. Svitare tutte le viti con testa a brugola dal coperchio a vite sulla parte inferiore della pompa. 4. Rimuovere il coperchio di chiusura. 5. Rimuovere l’O-ring dalla scanalatura utilizzando un utensile di estrazione per O-ring. – Evitare di causare danni graffiando le superfici. 6. Rimuovere il serbatoio del fluido di esercizio dall'alloggiamento del cuscinetto con le pinzette. 7. Estrarre le vecchie aste capillari dalla parte inferiore della pompa con le pinzette. 8. Pulire il coperchio di chiusura con un panno pulito privo di lanugine. – Non utilizzare detergenti. 7.3.2 Assemblaggio del serbatoio del fluido di esercizio Prodotti di consumo necessari ● Guanti da laboratorio ● Serbatoio del fluido di esercizio Strumenti richiesti ● Chiave a brugola, WAF 3 ● Pinzette ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) 42/66 Manutenzione 1 2 4 3 5 6 7 Fig. 20: 1 2 3 4 Assemblaggio del serbatoio del fluido di esercizio Serbatoio del fluido di esercizio Aste capillari (9×) Punta di iniezione Vite interna ad esagono incassato 5 6 7 Coperchio a vite O-ring Coperchio protettivo Assemblaggio del serbatoio del fluido di esercizio 1. Indossare guanti da laboratorio per evitare ogni contatto cutaneo. 2. Inserire tutte le nuove aste capillari con le pinzette. 3. Inserire il serbatoio del fluido di esercizio nell'alloggiamento del cuscinetto con il lato in feltro in direzione della punta di iniezione. – Durante questa operazione non esercitare alcuna pressione sul serbatoio del fluido di esercizio. 4. Inserire l'O-ring nella scanalatura della parte inferiore della pompa. 5. Inserire il coperchio a vite. 6. Serrare tutte e 3 le viti a brugola in modo uniforme. – Coppia di serraggio: 2,5 Nm. 7.4 Sostituzione dell'unità di comando elettronica AVVERTENZA Danni alla pompa per vuoto e all'unità di comando elettronica dovuti all'errata separazione di componenti Anche dopo aver disinserito l'alimentazione, la pompa per vuoto continua a fornire energia elettrica pur essendo inattiva. Se la pompa per vuoto e l'unità di comando elettronica vengono separate prima del tempo, vi è il rischio che si verifichi un contatto cutaneo che causerebbe la distruzione di componenti elettronici. ► Non staccare mai la pompa per vuoto e l'unità di comando elettronica l'una dall'altra se l'alimentazione è ancora collegata o il rotore è in funzione. ► Monitorare la velocità di rotazione mediante i parametri disponibili nell'unità di comando elettronica (ad esempio [P:398]). ► Attendere l'arresto della pompa per vuoto (velocità di rotazione f = 0). AVVERTENZA Danni materiali dovuti a scariche elettrostatiche I fenomeni elettrostatici possono causare danni ai componenti elettronici e persino la loro distruzione ► Implementare misure di sicurezza ESD nella postazione di lavoro. ► Osservare la direttiva EN 61340 "Protezione dei dispositivi elettrici dai fenomeni elettrostatici". 43/66 Manutenzione Esecuzione del backup delle impostazioni definite dal cliente Nelle unità di ricambio sono sempre impostati i parametri operativi definiti in fabbrica. Quando l'unità di comando elettronica originale viene sostituita, tutte le impostazioni definite dal cliente vanno perdute. Per preservare le impostazioni personalizzate, è possibile scegliere tra le seguenti opzioni: 1. Eseguire il backup di tutte le impostazioni come set di parametri in una HPU. 2. Caricare un set di parametri di backup nella nuova unità di comando elettronica mediante una HPU. 3. Definire manualmente le impostazioni personalizzate nella nuova unità di comando elettronica. 4. Vedere le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica e della HPU. L'unità di comando elettronica della turbopompa non può essere riparata. In caso di guasto sostituire l'intera unità di comando elettronica con un ricambio. Prerequisiti ● ● ● ● ● ● 7.4.1 La turbopompa è spenta. La turbopompa è stata lasciata raffreddare. Il sistema per vuoto è ventilato alla pressione atmosferica. L'alimentazione elettrica è stata interrotta. Tutti i cavi sono stati scollegati dall'unità di comando elettronica. Tutte le aperture sono state sigillate con i coperchi protettivi originali ed eventuali tappi a vite. Rimozione dell'unità di comando elettronica Strumenti richiesti ● Cacciavite Torx TX 10 ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) 4 2 1 3 5 Fig. 21: Rimozione dell'unità di comando elettronica TC 110|TC 120 1 Vite Torx 2 Unità di comando elettronica 3 Piastra di adattamento 4 5 Coperchio protettivo originale Flangia cieca Procedura 1. Installare la turbopompa in posizione verticale, se necessario. 2. Svitare tutte e 4 le viti Torx dell'unità di comando elettronica. 3. Estrarre la vecchia unità di comando elettronica dalla turbopompa, avendo cura di mantenerla diritta. 4. Posizionare una nuova unità di comando elettronica direttamente sulla piastra di adattamento della turbopompa. 5. Avvitare l'unità di comando elettronica alla turbopompa con tutte e 4 le viti Torx. – Coppia di serraggio: 0,8 Nm 44/66 Manutenzione 7.4.2 Installazione dell'unità di comando elettronica Strumenti richiesti ● Cacciavite Torx TX 10 ● Chiave torsiometrica calibrata (fattore di serraggio ≤ 1,6) 4 2 1 3 5 Fig. 22: Installazione dell'unità di comando elettronica TC 110|TC 120 1 Vite Torx 2 Unità di comando elettronica 3 Piastra di adattamento 4 5 Coperchio protettivo originale Flangia cieca Procedura 1. Installare la turbopompa in posizione verticale, se necessario. 2. Posizionare una nuova unità di comando elettronica direttamente sulla piastra di adattamento della turbopompa. 3. Avvitare l'unità di comando elettronica alla turbopompa con tutte e 4 le viti Torx. – Coppia di serraggio: 0,8 Nm 7.4.3 Conferma delle specifiche relative alla velocità La velocità di rotazione nominale tipica di una turbopompa viene impostata in fabbrica nell'unità di comando elettronica. Se si sostituisce l'unità di comando elettronica o si utilizza un diverso tipo di pompa, il valore impostato per la velocità di rotazione nominale viene eliminato. La conferma manuale della velocità di rotazione nominale è parte integrante di un sistema di sicurezza ridondante volto a prevenire velocità di rotazione eccessive. È possibile confermare la velocità di rotazione nominale di una turbopompa regolando il parametro [P:777] NomSpdConf nell'unità di comando elettronica. HiPace Velocità di rotazione nominale 10 | 30 | 60 | 80 1500 Hz 300 1000 Hz 350 | 450 1100 Hz 400 | 700 | 800 820 Hz Tab. 12: Velocità di rotazione nominali tipiche delle turbopompe Ausili necessari ● Unità di comando Pfeiffer Vacuum collegata ● Conoscenze relative alla configurazione e all'impostazione dei parametri operativi dell'unità di comando elettronica Regolazione della conferma della velocità di rotazione nominale 1. Osservare le istruzioni d'uso dell'unità di comando. 2. Consultare le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica. 3. Impostare il parametro [P:794] su "1" e attivare il set di parametri esteso. 4. Aprire e modificare il parametro [P:777]. 5. Impostare il parametro [P:777] sul valore previsto per la velocità di rotazione nominale in Hertz. 45/66 Manutenzione Alternativa alla regolazione della conferma della velocità di rotazione nominale Le unità di ricambio includono un configuratore di velocità Pfeiffer Vacuum per l'immediata impostazione una tantum del parametro [P:777]. 46/66 Messa fuori servizio 8 Messa fuori servizio 8.1 Arresto per lunghi periodi di tempo ATTENZIONE Rischi per la salute dovuti ad avvelenamento causato da componenti o dispositivi contaminati con sostanze tossiche I fluidi di processo tossici contaminano i dispositivi e i relativi componenti. Durante gli interventi di manutenzione, sussistono rischi per la salute a causa del contatto con tali sostanze pericolose. Lo smaltimento illecito delle sostanze tossiche può provocare danni all’ambiente. ► Adottare opportune precauzioni per evitare rischi alla salute o danni all’ambiente causati dai fluidi di processo tossici. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Indossare i dispositivi di protezione. Procedura per impostare un periodo di inattività prolungato della turbopompa (> 1 anno) 1. Rimuovere la turbopompa dal sistema per vuoto, se necessario. 2. Sostituire il serbatoio del fluido di esercizio della turbopompa, se necessario. 3. Chiudere la flangia per alto vuoto della turbopompa. 4. Evacuare la turbopompa mediante il raccordo di prevuoto. 5. Sfiatare la turbopompa attraverso il raccordo di sfiato con aria secca e priva di olio o gas inerte. 6. Sigillare tutte le aperture flangiate con i relativi cappucci di protezione originali. 7. Conservare la turbopompa in posizione verticale con la flangia per alto vuoto rivolta verso l'alto. 8. Conservare la turbopompa solo in ambienti interni entro l'intervallo di temperatura specificato. 9. In ambienti con atmosfere umide o aggressive: chiudere la turbopompa in un sacchetto di plastica sigillato ermeticamente con un essiccante. 8.2 Rimessa in servizio AVVERTENZA Rischio di danni alla turbopompa dopo la rimessa in servizio dovuti all'invecchiamento del fluido di esercizio La durata di conservazione del fluido di esercizio della turbopompa è limitata. L'uso di un fluido di esercizio vecchio può portare a un guasto del cuscinetto a sfere e causare danni alla turbopompa. ► Fare attenzione alla data di scadenza del fluido di esercizio: ● dopo al massimo 2 anni in caso di inattività, ● dopo al massimo 5 anni in caso di periodi di attività e inattività combinati. ► Attenersi alle istruzioni di manutenzione e informare il servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. Procedure per la rimessa in servizio della turbopompa 1. Controllare che la turbopompa non presenti segni di inquinamento e di umidità. 2. Pulire l'esterno della turbopompa con un panno privo di lanugine e un po' di isopropanolo. 3. Se necessario, far eseguire una pulizia completa della turbopompa dal servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. 4. Rispettare la durata complessiva della turbopompa e, se necessario, far sostituire il cuscinetto dal servizio di assistenza Pfeiffer Vacuum. 5. Sostituire il serbatoio del fluido di esercizio della turbopompa. 6. Installare la turbopompa secondo le presenti istruzioni (vedi capitolo “Installazione”, pagina21). 7. Rimessa in servizio della turbopompa in base alle presenti istruzioni (vedi capitolo “Messa in servizio”, pagina34). 47/66 Riciclo e smaltimento 9 Riciclo e smaltimento ATTENZIONE Rischi per la salute dovuti ad avvelenamento causato da componenti o dispositivi contaminati con sostanze tossiche I fluidi di processo tossici contaminano i dispositivi e i relativi componenti. Durante gli interventi di manutenzione, sussistono rischi per la salute a causa del contatto con tali sostanze pericolose. Lo smaltimento illecito delle sostanze tossiche può provocare danni all’ambiente. ► Adottare opportune precauzioni per evitare rischi alla salute o danni all’ambiente causati dai fluidi di processo tossici. ► Decontaminare i componenti interessati prima di effettuare gli interventi di manutenzione. ► Indossare i dispositivi di protezione. Tutela dell’ambiente Il prodotto e i suoi componenti devono essere smaltiti in conformità ai regolamenti applicabili per la tutela delle persone, dell’ambiente e della natura. ● Contribuite a ridurre lo spreco di risorse naturali. ● Prevenire la contaminazione. 9.1 Informazioni generali sullo smaltimento I prodotti Pfeiffer Vacuum contengono prodotti che devono essere riciclati. ► Smaltimento dei nostri prodotti in base a quanto segue: – Ferro – Alluminio – Rame – Materiali sintetici – Componenti elettronici – Oli e grassi, senza solventi ► Adottare le seguenti misure precauzionali speciali per lo smaltimento: – Fluoroelastomeri (FKM) – Componenti potenzialmente contaminati che vengono a contatto con le sostanze 9.2 Smaltimento delle turbopompe Le turbopompe Pfeiffer Vacuum contengono materiali che devono essere riciclati. 1. Rimuovere l'intero serbatoio del fluido di esercizio. 2. Rimuovere l'unità di comando elettronica. 3. Decontaminare i componenti che entrano in contatto con gas di processo. 4. Separare i componenti in materiali riciclabili. 5. Riciclare i componenti non contaminati. 6. Smaltire il prodotto o i componenti in modo sicuro secondo quanto previsto dalle norme locali. 48/66 Malfunzionamenti 10 Malfunzionamenti ATTENZIONE Pericolo di morte per avvelenamento in caso di fuoriuscita di fluidi tossici di processo da raccordi danneggiati Una torsione improvvisa della turbopompa in caso di guasto provoca l'accelerazione dei raccordi. Questo movimento può danneggiare i collegamenti in loco (ad esempio la linea di prevuoto) causando delle perdite. Ciò si traduce in una perdita di fluidi di processo. Nei processi che fanno uso di fluidi tossici, sussiste il rischio di lesioni e il pericolo di morte per avvelenamento. ► Tenere le masse collegate alla turbopompa più basse possibile. ► Per collegare la turbopompa utilizzare, se possibile, delle linee flessibili. ATTENZIONE Pericolo di morte dovuto al distacco della turbopompa in caso di guasto Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se la turbopompa non è stata fissata correttamente, può cedere. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Attenersi alle istruzioni di installazione previste per la turbopompa in questione. ► Rispettare i requisiti relativi alla stabilità e alla struttura della controflangia. ► Per l'installazione utilizzare solo accessori originali o materiali di fissaggio approvati da Pfeiffer Vacuum. ATTENZIONE Rischio di lesioni dovute al distacco della turbopompa assieme al compensatore di vibrazioni in caso di malfunzionamento Un inceppamento improvviso del rotore genera coppie altamente distruttive secondo ISO 27892. Se si utilizza un compensatore di vibrazioni, è probabile che la turbopompa ceda durante l'uso. L'energia rilasciata potrebbe fare esplodere l'intera turbopompa, lanciandone i frammenti nello spazio circostante. Potrebbero fuoriuscire gas pericolosi. Vi è il rischio di procurarsi delle lesioni molto gravi, persino fatali, come pure di causare consistenti danni materiali. ► Si raccomanda di adottare delle idonee misure preventive in loco per compensare le coppie che si originano in questo modo. ► Prima di installare un compensatore di vibrazioni, è necessario innanzitutto contattare Pfeiffer Vacuum. Se dovessero verificarsi delle anomalie, si consiglia di consultare le informazioni riportate di seguito sulle possibili cause e sulle possibili soluzioni. Le istruzioni d'uso dell'unità di comando elettronica associata descrivono più dettagliatamente i messaggi di errore. Problema Possibili cause Rimedio La turbopompa non si avvia; nessuno dei LED integrati nell'unità di comando elettronica si accende ● Alimentazione di corrente interrotta ● Controllare i contatti della spina del pacchetto alimentazione. ● Controllare le linee di alimentazione di corrente. ● Controllare la tensione di uscita del collegamento del pacchetto alimentazione "DC out". ─ 24 V CC o 48 V CC, a seconda della versione del pacchetto alimentazione. ● Tensione di esercizio errata ● Rispettare i dati riportati nella targhetta dei dati di funzionamento dell'unità di comando elettronica. ● Fornire la corretta tensione d'esercizio. ● Nessuna tensione d'esercizio ● Fornire la corretta tensione d'esercizio. ● Accendere il pacchetto alimentazione. ● Unità di comando elettronica difettosa ● Sostituire l'unità di comando elettronica. ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. 49/66 Malfunzionamenti La turbopompa non si avvia; il LED verde dell'unità di comando elettronica lampeggia La turbopompa non riesce a raggiungere la velocità di rotazione nominale entro il tempo di avvio impostato La turbopompa non raggiunge la pressione finale Rumori inusuali durante il funzionamento Il LED rosso dell'unità di comando elettronica si illumina Tab. 13: 50/66 ● Funzionamento senza unità di comando: pin 2-7 e 5-7 del collegamento "X3" non collegati ● Allacciare i collegamenti secondo lo schema di collegamento previsto per l'unità di comando elettronica. ● Controllare i ponticelli del cavo di collegamento. ● Funzionamento mediante RS-485: il ponticello tra i pin 5 e 7 inibisce i comandi di controllo ● Rimuovere il ponticello dal collegamento "X3". ● Controllare il cavo di collegamento. ● Funzionamento mediante RS-485: parametri non impostati nell'unità di comando elettronica ● Impostare i parametri [P: 010] e [P: 023] mediante l'interfaccia RS-485 su 1 = "ON". ● Caduta di tensione nel cavo eccessivamente elevata ● Controllare il cavo di collegamento. ● Utilizzare un cavo di collegamento idoneo. ● Pressione di prevuoto eccessivamente elevata ● Controllare la compatibilità della pompa ausiliaria di prevuoto (vedere i dati tecnici). ● Controllare che la pompa ausiliaria di prevuoto sia funzionante. ● Perdite nella turbopompa ● Controllare eventuali perdite. ● Controllare i sigilli e gli attacchi a flangia. ● Eliminare tutte le perdite. ● Portata di gas eccessivamente elevata ● Ridurre il carico di gas del processo. ● Il rotore non funziona bene, cuscinetto difettoso ● Verificare la rumorosità della turbopompa ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. ● Valore nominale del tempo di avvio regolato troppo in basso ● Incrementare il valore impostato per il tempo di avvio [P:700] con l'ausilio di un'unità di comando. Carico termico dovuto a: ● Assenza di ventilazione ● Flusso idrico troppo scarso ● Pressione di prevuoto eccessivamente elevata ● Temperatura ambiente troppo elevata ● Ridurre il carico termico. ─ Garantire una immissione d'aria sufficiente. ─ Regolare il flusso di acqua di raffreddamento. ─ Ridurre la pressione di prevuoto. ─ Adattare le condizioni ambientali. ● La turbopompa risulta contaminata ● Riscaldare la turbopompa se necessario. ● Farla pulire. ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. ● Perdite nella camera del vuoto, nelle tubazioni o nella turbopompa ● Controllare eventuali perdite, partendo dalla camera del vuoto. ● Controllare i sigilli e gli attacchi a flangia. ● Eliminare le perdite nel sistema per vuoto. ● Cuscinetto del rotore danneggiato ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. ● Rotore danneggiato ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. ● Paraschegge o schermo protettivo allentati ● Controllare la sede del paraschegge o dello schermo protettivo nella flangia per alto vuoto e correggerla. ● Attenersi alle istruzioni di installazione. ● Errore di gruppo ● Resettare l'anomalia spegnendo e riaccendendo l'alimentazione di corrente. ● Resettare l'anomalia con V+ sul pin 6 del collegamento "X3". ● Impostare il parametro [P: 009] mediante l'interfaccia RS-485 su 1 = conferma anomalia. ● Impostare il parametro [P: 010] mediante l'interfaccia RS-485 su 0 = off, quindi su 1 = on con conferma anomalia. ● Eseguire un'analisi differenziata dell'anomalia mediante un'unità di comando. ● Contattare l'assistenza Pfeiffer Vacuum. Risoluzione dei problemi delle turbopompe Servizi Pfeiffer Vacuum 11 Servizi Pfeiffer Vacuum Offriamo un'assistenza di altissimo livello Lunga durata dei componenti per vuoto e brevi periodi di fermo: questo è quanto i clienti si attendono da noi. Rispondiamo a queste esigenze con prodotti impeccabili e un servizio di assistenza efficiente. Ci impegniamo inoltre costantemente a migliorare la nostra competenza chiave, ovvero l'assistenza sui componenti per vuoto. Il nostro servizio non finisce nel momento in cui si acquista un prodotto Pfeiffer Vacuum. Anzi, inizia proprio in quel momento. Il tutto, naturalmente, con la comprovata qualità Pfeiffer Vacuum. I nostri esperti addetti alle vendite e i tecnici dell'assistenza garantiscono un intervento puntuale ed efficiente in qualunque parte del mondo. Pfeiffer Vacuum offre una gamma completa di servizi, dai singoli pezzi di ricambio originali ai contratti di prestazione di servizi. Mettete a frutto la competenza del servizio assistenza Pfeiffer Vacuum Manutenzione preventiva in loco da parte del nostro team di assistenza sul campo, sostituzione rapida con prodotti pari al nuovo o riparazione nel centro di assistenza più vicino: a voi la scelta fra le svariate opzioni esistenti per garantire la massima disponibilità del prodotto. Per informazioni dettagliate e i dati di contatto, consultate la sezione Pfeiffer Vacuum Service dalla nostra home page. Il vostro referente Pfeiffer Vacuum saprà consigliarvi la soluzione più giusta per voi. Per una gestione rapida e snella dell'intervento di assistenza, si consiglia di procedere come segue: 1. Scaricare i moduli aggiornati. ─ Dichiarazione di richiesta di assistenza ─ Richieste di assistenza ─ Dichiarazione di contaminazione a) Rimuovere tutti gli accessori e conservarli (tutte le parti montate esternamente, quali valvole, gli schermi protettivi, ecc.). b) Scaricare il fluido/lubrificante di esercizio se necessario. c) Scaricare il fluido refrigerante se necessario. 2. Compilare la richiesta di assistenza e la dichiarazione di contaminazione. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Inviare i moduli via e-mail, fax o posta al centro di assistenza più vicino. 4. Riceverete un messaggio di conferma da Pfeiffer Vacuum. Invio di prodotti contaminati Non saranno accettate unità contaminate con sostanze microbiologiche, esplosive o radioattive. In caso di prodotti contaminati o di assenza della dichiarazione di contaminazione, Pfeiffer Vacuum contatterà il cliente prima di iniziare la manutenzione. A seconda del prodotto e del livello di contaminazione, potrebbero essere addebitati ulteriori costi per la decontaminazione. 51/66 Servizi Pfeiffer Vacuum 5. Preparare il prodotto per il trasporto secondo le disposizioni fornite nella dichiarazione di contaminazione. a) Neutralizzare il prodotto con azoto o aria secca. b) Chiudere tutte le aperture con flange cieche ermetiche. c) Sigillare il prodotto con un'adeguata pellicola protettiva. d) Imballare il prodotto in contenitori resistenti adatti al trasporto. e) Rispettare le condizioni previste per il trasporto. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Applicare la dichiarazione di contaminazione all'esterno dell'imballaggio. 7. Quindi inviare il prodotto al centro di assistenza più vicino. 8. Riceverete un messaggio di conferma/un preventivo da Pfeiffer Vacuum. Per tutti gli ordini di assistenza valgono le nostre Condizioni generali di vendita e fornitura e le Condizioni generali di riparazione e manutenzione previste per i dispositivi e componenti per vuoto. 52/66 Ricambi HiPace 450 12 Ricambi HiPace 450 1 2 Fig. 23: Ricambi HiPace 450 Posizione Denominazione Codice Nota Pezzi 1 Unità di comando elettronica TC 110|TC 120 Vedere la targhetta dei dati di funzionamento A seconda del pannello di collegamento 1 2 Serbatoio del fluido di esercizio Vedere la targhetta dei dati di funzionamento Incl. aste capillari e O-ring 1 Tab. 14: Ricambi disponibili 53/66 Accessori 13 Accessori Visualizza la gamma di accessori per turbopompe a cuscinetto ibrido sul nostro sito web. 13.1 Informazioni sugli accessori Materiali di fissaggio Pacchetti assemblati specifici per tipo, con anello di centraggio e guarnizione, assicurano un fissaggio sicuro della pompa per vuoto. Sono dotati opzionalmente di paraschegge o schermo protettivo. Pacchetti alimentazione e unità di comando I pacchetti alimentazione, che si distinguono per le loro dimensioni compatte e per la varietà di gamma, offrono un'alimentazione di tensione ottimale dei prodotti Pfeiffer Vacuum, che garantisce la massima affidabilità. Le unità di comando vengono utilizzate per controllare e regolare i parametri operativi. Cavi e adattatori I cavi di rete, di interfaccia, di collegamento e di prolunga assicurano un collegamento protetto e idoneo. Varie lunghezze disponibili Accessori di sfiato Una valvola di sfiato Pfeiffer Vacuum offre la massima sicurezza operativa e funzionale. Controllo automatico mediante l'unità di comando elettronica integrata della turbopompa. Alimentazione del gas di tenuta Il gas di tenuta viene utilizzato per proteggere la pompa per vuoto in caso di processi polverosi e corrosivi o di portate di gas eccessive. Il gas di tenuta impedisce l'ingresso di sostanze dannose nel motore e nell'area dei cuscinetti. La fornitura avviene mediante una valvola per gas di tenuta normale o a farfalla priva di sistema di controllo. Raffreddamento ad aria Nei processi con scarsa portata di gas e buona pressione di prevuoto il raffreddamento ad aria può essere utilizzato indipendentemente dalla fornitura d'acqua. Controllo automatico mediante l'unità di comando elettronica integrata della turbopompa. Riscaldamento Le camicie riscaldanti consentono di raggiungere più rapidamente la pressione finale durante la pulizia di processo. Controllo automatico mediante l'unità di comando elettronica integrata della turbopompa. Gestione delle pompe ausiliarie di prevuoto Le pompe ausiliarie di prevuoto possono essere gestite mediante l'unità di comando elettronica della turbopompa. A seconda della pompa ausiliaria di prevuoto utilizzata è possibile scegliere tra diverse modalità operative. Misurazione di pressione integrata Valutazione e monitoraggio mediante l'unità di comando elettronica integrata, indipendentemente da un'eventuale fornitura d'acqua supplementare. 13.2 54/66 Ordinazione di accessori Descrizione Numero d'ordine Set di viti prigioniere per flange con foro passante, DN 160 CF-F PM 016 735 -T Set di viti esagonali per flange con foro passante, DN 160 CF-F PM 016 691 -T Set di viti prigioniere per flange con foro filettato, DN 160 CF-F PM 016 693 -T Set di viti prigioniere per flange con foro passante, DN 160 CF-F PM 016 735 -T Kit di montaggio per HiPace con DN 160 ISO-K, con anello di centraggio rivestito e viti da staffa PM 016 375 -T Kit di montaggio per DN 160 ISO-F, con anello di centraggio rivestito e viti esagonali PM 016 460 -T Accessori Descrizione Numero d'ordine Kit di montaggio per DN 160 ISO-F, con anello di centraggio rivestito e viti prigioniere PM 016 465 -T Kit di montaggio per DN 160 da ISO-K a ISO-F, con flangia a collare, anello di centraggio rivestito e bulloni esagonali PM 016 950 -T Kit di montaggio per DN 160 da ISO-K a ISO-F, con flangia a collare, anello di centraggio rivestito e viti prigioniere PM 016 955 -T TPS 180, pacchetto di alimentazione per installazione a parete/su guide standard PM 061 341 -T TPS 181, pacchetto di alimentazione, unità a innesto 3HU da 19" PM 061 345 -T OmniControl 001 Mobile, unità di comando PE D20 000 0 OmniControl 001, unità rack senza pacchetto alimentazione integrato PE D40 000 0 OmniControl 200, unità rack con gruppo di alimentazione integrato PE D50 000 0 Cavo di rete 230 V CA, da CEE 7/7 a C13, 3 m P 4564 309 ZA Cavo di rete 115 V CA, da NEMA 5-15 a C13, 3 m P 4564 309 ZE Cavo di rete, 208 V CA, da NEMA 6-15 a C13, 3 m P 4564 309 ZF Cavo di interfaccia RJ 45 su M12 per HiPace PM 051 726 -T Cavo di collegamento da gruppo di alimentazione 24V/48V all'unità di comando elettronica. Con interfaccia RS-485 PM 061 350 -T Cavo di collegamento con interfaccia RS-485 e 2 porte per accessori per TC 110/120 a pacchetto di alimentazione PM 061 351 -T Cavo di collegamento per HiPace con TC 110/120 PM 061 543 -T Scatola relè per pompe ausiliarie di prevuoto, monofase Motore 20 A per TC 110/120 e TCP 350, spina M8 PM 061 373 -T Scatola relè, schermata, per pompe ausiliarie di prevuoto, monofase Motore 7A per TC 110/120 e TCP 350, spina M8 PM 071 282 -X Cavo di collegamento con interfaccia RS-485 e 3 porte per accessori per TC 110/120 a pacchetto di alimentazione PM 061 512 -T Cavo di collegamento con 2 porte per accessori per TC 110/120 a pacchetto di alimentazione PM 061 552 -T TCS 11, adattatore per TC 110/120 con interfaccia RS-485 PM 061 636 -U TCS 12, adattatore per TC 110/120 con interfaccia RS-485, 4 porte per accessori e set di accoppiamento PM 061 638 -U TCS 13, adattatore per TC 110/120 con interfaccia RS-485, 2 porte per accessori e set di accoppiamento PM 061 856 -U Valvola di sfiato, schermata, 24 V CC, G 1/8" per collegarsi a TC 110/120 PM Z01 290 Valvola gas di tenuta, schermata, per HiPace 300 con TC 110/120 PM Z01 311 Raffreddamento ad acqua per HiPace 60 P / 80 / 350 / 450 e per SplitFlow 50 / 80 con raccordo a pressione, 8 mm PM 016 623 -T Raffreddamento ad acqua per HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace 800 con raccordo a pressione, 8 mm PM 026 068 -T Raffreddamento ad aria, schermato, per HiPace 350/450 con TC 110/120 PM Z01 373 Manicotto riscaldante schermato, per HiPace 350/450 con TC 110/120, 230 V CA, spina di sicurezza PM 071 700 -T Manicotto riscaldante, schermato, per HiPace 350/450 con TC 110/120, 208 V CA, spina UL PM 071 701 -T Manicotto riscaldante, schermato, per HiPace 350/450 con TC 110/120, 115 V CA, spina UL PM 071 702 -T RPT 010, sensore digitale piezo/Pirani PT R71 100 IKT 010, sensore digitale a catodo freddo, bassa corrente PT R72 100 IKT 011, sensore digitale a catodo freddo, alta corrente PT R73 100 Tab. 15: Accessori 55/66 Accessori Descrizione Numero d'ordine OmniControl 400, unità rack con pacchetto alimentazione integrato PE D70 000 0 TPS 400, gruppo di alimentazione 48 V CC, per montaggio a parete/su guida standard PM 061 343 -T TPS 401, gruppo di alimentazione 48 V CC, 3HU a innesto parziale da 19” PM 061 347 -T Tab. 16: 56/66 Altri accessori per TC 120 | 48 V CC Dati tecnici e dimensioni 14 Dati tecnici e dimensioni 14.1 Informazioni generali Nella presente sezione vengono forniti i dati tecnici di base delle turbopompe Pfeiffer Vacuum. Dati tecnici I valori massimi esprimono esclusivamente valori di ingresso come carichi singoli. ● Specifiche secondo PNEUROP commissione PN5 ● ISO 27892 2010:"Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of rapid shutdown torque" ● ISO 21360 2012: “Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description” ● ISO 21360 2018: "Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 4: Turbomolecular vacuum pumps" ● Pressione finale con cupola di prova dopo 48 h di preriscaldamento ● Portata di gas con raffreddamento ad acqua; pompa ausiliaria di prevuoto = pompa rotativa a palette (10 m3/h) ● Consumo di acqua di raffreddamento alla massima portata di gas, temperatura dell'acqua di raffreddamento 25 °C ● Tasso di perdita integrale con concentrazione di elio al 100%, durata di misurazione 10 s ● Livello di pressione sonora a distanza di 1 m dalla pompa per vuoto mbar bar Pa 100 kPa Torr | mm Hg 1 0,1 0,75 1 1 · 10 bar 1000 1 1 · 10 1000 100 750 Pa 0,01 1 · 10-5 1 0,01 1 · 10-3 7,5 · 10-3 hPa 1 1 · 10 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 0,133 1 5 -3 133,32 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 17: 2 Tabella di conversione: unità di pressione mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m /s 10 1 592 7,5 9,87 sccm 1,69 · 10-2 1,69 · 10-3 1 1,27 · 10-2 1,67 · 10-2 Torr l/s 1,33 0,133 78,9 1 1,32 atm cm3/s 1,01 0,101 59,8 0,76 1 mbar l/s 3 Tab. 18: 14.2 hPa mbar -3 Tabella di conversione: unità per portata di gas Dati tecnici Campo di selezione HiPace® 450 con TC 110, DN 160 ISO-K HiPace® 450 con TC 110, DN 160 CF-F Flangia (ingresso) DN 160 ISO-K DN 160 CF-F Flangia (uscita) DN 16 ISO-KF / G 3/8" DN 16 ISO-KF / G 3/8" Velocità di rotazione ± 2% 66000 rpm 66000 rpm Velocità variabile 60 – 100 % 60 – 100 % Tempo di accelerazione 5,3 min 5,3 min 57/66 Dati tecnici e dimensioni 58/66 Campo di selezione HiPace® 450 con TC 110, DN 160 ISO-K HiPace® 450 con TC 110, DN 160 CF-F Pressione finale ≤ 1 · 10-7 hPa 5 · 10-10 hPa Velocità di pompaggio per Ar 350 l/s 350 l/s Velocità di pompaggio per H2 330 l/s 330 l/s Velocità di pompaggio per He 380 l/s 380 l/s Velocità di pompaggio per N2 380 l/s 380 l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per Ar 0,7 mbar l/s 0,7 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per H2 11 mbar l/s 11 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per He 7 mbar l/s 7 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per N2 2 mbar l/s 2 mbar l/s Rapporto di compressione per Ar > 1 · 1011 > 1 · 1011 Rapporto di compressione per H2 2 · 10 2 · 106 Rapporto di compressione per He > 1 · 108 > 1 · 108 Rapporto di compressione per N2 > 1 · 1011 > 1 · 1011 Prevuoto max. per N2 10 mbar 10 mbar Vuoto preliminare max. per H2 6 mbar 6 mbar Vuoto preliminare max. per Ar 10 mbar 10 mbar Vuoto preliminare max. per He 10 mbar 10 mbar Apparecchiatura elettronica di comando TC 110 TC 110 Tensione d’esercizio: CC 24 V 24 V Tensione di ingresso: tolleranza ±10 % ±10 % Corrente, max. 7,5 A 7,5 A Consumo di energia max. 180 W 180 W I/O interfaces RS-485, remota RS-485, remota Curva caratteristica in modalità gas 0, angolo C 90/66000 W/min-1 90/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 0, angolo D 100/60000 W/min-1 100/60000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 1, angolo A 110/66000 W/min-1 110/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 1, angolo B 130/60000 W/min -1 130/60000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 2, angolo E 150/66000 W/min-1 150/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 2, angolo F 150/60000 W/min -1 150/60000 W/min-1 Posizione di installazione Arbitrario Arbitrario Stoccaggio Ibrido Ibrido Metodo di raffreddamento Convezione Convezione Metodo di raffreddamento, opzionale Aria, Acqua Aria, Acqua Flusso dell'acqua di raffreddamento 100 l/h 100 l/h Temperatura acqua di raffreddamento 15 – 25 °C 15 – 25 °C Umidità dell’aria relativa 5 – 85 % 5 – 85 % Temperatura di trasporto e di stoccaggio -20 – 55 °C -20 – 55 °C Attacco immissione aria G 1/8" G 1/8" Pressione di alimentazione max. per valvola di immissione aria/gas di sbarramento 1500 hPa 1500 hPa Grado di protezione IP44, Type 12 IP44, Type 12 Livello di pressione sonora ≤50 dB(A) ≤50 dB(A) Tasso di perdita integrale 1 · 10-7 mbar l/s 1 · 10-7 mbar l/s Campo magnetico amm. max. 4,5 mT 4,5 mT 6 Dati tecnici e dimensioni Campo di selezione HiPace® 450 con TC 110, DN 160 ISO-K HiPace® 450 con TC 110, DN 160 CF-F Přípustné axiální magnetické pole max. 20 mT 20 mT Peso 7 kg 10,9 kg Campo di selezione HiPace® 450 con TC 120, DN 160 ISO-K HiPace® 450 con TC 120, DN 160 CF-F Flangia (ingresso) DN 160 ISO-K DN 160 CF-F Flangia (uscita) DN 16 ISO-KF / G 3/8" DN 16 ISO-KF / G 3/8" Velocità di rotazione ± 2% 66000 rpm 66000 rpm Velocità variabile 60 – 100 % 60 – 100 % Tempo di accelerazione 4 min 4 min Pressione finale ≤ 1 · 10-7 hPa ≤ 5 · 10-10 hPa Velocità di pompaggio per Ar 350 l/s 350 l/s Velocità di pompaggio per H2 330 l/s 330 l/s Velocità di pompaggio per He 380 l/s 380 l/s Velocità di pompaggio per N2 380 l/s 380 l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per Ar 0,7 mbar l/s 0,7 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per H2 11 mbar l/s 11 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per He 7 mbar l/s 7 mbar l/s Portata di gas a velocità di rotazione massima per N2 2 mbar l/s 2 mbar l/s Rapporto di compressione per Ar > 1 · 1011 > 1 · 1011 Rapporto di compressione per H2 2 · 106 2 · 106 Rapporto di compressione per He > 1 · 108 > 1 · 108 Rapporto di compressione per N2 11 > 1 · 10 > 1 · 1011 Prevuoto max. per N2 10 mbar 10 mbar Vuoto preliminare max. per H2 6 mbar 6 mbar Vuoto preliminare max. per Ar 10 mbar 10 mbar Vuoto preliminare max. per He 10 mbar 10 mbar Apparecchiatura elettronica di comando TC 120 TC 120 Tensione d’esercizio: CC 48 V 48 V Tensione di ingresso: tolleranza ±10 % ±10 % Corrente, max. 3,75 A 3,75 A Consumo di energia max. 180 W 180 W Curva caratteristica in modalità gas 0, angolo C 90/66000 W/min-1 Tab. 19: Dati tecnici per HiPace 450 con TC 110 90/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 0, angolo D 100/60000 W/min -1 100/60000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 1, angolo A 110/66000 W/min-1 110/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 1, angolo B 130/60000 W/min -1 130/60000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 2, angolo E 150/66000 W/min-1 150/66000 W/min-1 Curva caratteristica in modalità gas 2, angolo F 150/60000 W/min-1 150/60000 W/min-1 I/O interfaces RS-485, remota RS-485, remota Posizione di installazione Arbitrario Arbitrario Stoccaggio Ibrido Ibrido Metodo di raffreddamento Convezione Convezione Metodo di raffreddamento, opzionale Aria, Acqua Aria, Acqua 59/66 Dati tecnici e dimensioni Campo di selezione HiPace® 450 con TC 120, DN 160 ISO-K HiPace® 450 con TC 120, DN 160 CF-F Flusso dell'acqua di raffreddamento 100 l/h 100 l/h Temperatura acqua di raffreddamento 15 – 25 °C 15 – 25 °C Grado di protezione IP44, Type 12 IP44, Type 12 Umidità dell’aria relativa 5 – 85 % 5 – 85 % Temperatura di trasporto e di stoccaggio -20 – 55 °C -20 – 55 °C Attacco immissione aria G 1/8" G 1/8" Pressione di alimentazione max. per valvola di immissione aria/gas di sbarramento 1500 hPa 1500 hPa Livello di pressione sonora ≤50 dB(A) ≤50 dB(A) Tasso di perdita integrale < 1 · 10 mbar l/s < 1 · 10-7 mbar l/s Campo magnetico amm. max. 4,5 mT 4,5 mT Přípustné axiální magnetické pole max. 20 mT 20 mT Peso 7 kg 10,9 kg Tab. 20: 14.3 -7 Dati tecnici per HiPace 450 con TC 120 Caratteristiche Gas throughput [hPa l/s] 25 Backing pump: HiScroll 18 20 15 10 5 0 700 800 900 1.000 H! [hPa l/s] He [hPa l/s] N! [hPa l/s] Ar [hPa l/s] Fig. 24: 60/66 La portata di gas dipende dalla velocità di rotazione 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] Dati tecnici e dimensioni 14.4 Sostanze a contatto con i fluidi Sostanze a contatto con i fluidi Lega di alluminio Acciaio inossidabile Magneti in terre rare Plastica rinforzata con fibra di carbonio Resina epossidica FKM Nichel Feltro Fluido di esercizio (olio estere) Ossido ceramico, secondo necessità Tab. 21: 14.5 Materiali che vengono a contatto con i fluidi di processo Dimensioni Dimensioni in mm 1 67. 5 30° 30° 7 112.5 Fig. 25: 187 173 166 55.5 100 M8 (6x) 163 18 1 180 HV DN 160 ISO-K VV DN 16 ISO-KF HiPace 450 | DN 160 ISO-K 61/66 Dati tecnici e dimensioni HV DN 160 ISO-F !1 67 .5 7 30° Fig. 26: VV DN 16 ISO-KF 112.5 30° HiPace 450 | DN 160 ISO-F 53 HV DN 160 CF-F 67 .5 55.5 1 112.5 Fig. 27: 62/66 HiPace 450 | DN 160 CF-F 7 VV DN 16 ISO-KF 190 169 100 M8 (6x) 176 8 166 11 187 166 55.5 100 M8 (6x) 173 8 163 11 ! 225 ! Dichiarazione di conformità CE La presente dichiarazione di conformità è stata rilasciata sotto l'esclusiva responsabilità del produttore. Dichiarazione per prodotto/i di tipo: Turbopompa HiPace 450 Con la presente dichiariamo che il prodotto citato di seguito soddisfa tutte le disposizioni pertinenti delle seguenti Direttive europee. Macchine 2006/42/CE (Allegato II, n. 1 A) Compatibilità elettromagnetica 2014/30/UE Restrizione dell'uso di determinate sostanze pericolose 2011/65/UE Restrizione dell’uso di determinate sostanze pericolose, direttiva delegata 2015/863/UE Norme armonizzate e norme nazionali e specifiche applicate: DIN EN ISO 12100: 2011 DIN EN 61326-1: 2013 DIN EN 1012-2: 2011 DIN EN 62061: 2016 DIN EN IEC 61000-3-2: 2019 DIN ISO 21360-1 : 2020 DIN EN 61000-3-3: 2020 ISO 21360-4: 2018 DIN EN 61010-1: 2020 DIN EN IEC 63000: 2019 Il rappresentante autorizzato per la compilazione della documentazione tecnica è il sig. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germania. Firma: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Germania (Daniel Sälzer) Direttore generale Asslar, 2022-11-07 Dichiarazione di conformità Regno Unito La presente dichiarazione di conformità è stata rilasciata sotto l'esclusiva responsabilità del produttore. Dichiarazione per prodotto/i di tipo: Turbopompa HiPace 450 Con la presente dichiariamo che il prodotto citato di seguito soddisfa tutte le disposizioni pertinenti delle seguenti Direttive britanniche. Fornitura di macchinari (sicurezza) Norme 2008 Compatibilità elettromagnetica Norme 2016 Restrizione relativa all’utilizzo di determinate sostanze pericolose in apparecchiature elettriche ed elettroniche Norme 2012 Direttive e standard applicati: ISO 12100:2010 EN 1012-2+A1:1996 IEC 61000-3-2:2018 IEC 61000-3-3+A1:2013 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 61326-1:2012 IEC 62061:2005 ISO 21360-1:2020 ISO 21360-4:2018 IEC 63000:2018 Il rappresentante autorizzato dal produttore nel Regno Unito e l’agente autorizzato alla redazione della documentazione tecnica è Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Firma: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Germania (Daniel Sälzer) Direttore generale Asslar, 2022-11-07 65/66 Notizen / Notes: *PT0516* ed. F - Date 2307 - P/N:PT0516BIT ">
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