Leybold, ULTRATEST UL 100 PLUS, Helium Leak Detector Portable

vakuumtechnik
VakuumVerfahrenstechnik
MeB-und
Analysentechnik
LEYBOLDAG
Ein Unternehmen der Degussa
GA 10.207/4
Gebrauchsanweisung
Operating Instructions
Mode d'emploi
155 82, 155 83, 896 38
___________________________ mm
ACHTUNO r
IMPORTANTl
Vor ledsr /nan!Jpruchnahme des ServIces Itd.s. aUI
GrUnden der ArbeltBslcherhs/t und de. Umweltsch lib:-
Contents
Sommalre
es notwlilndlg. am oder 1m Gerlt baflndllche. gaflihrll·
che ste"e (z.a 1m S/nne EG-Alchfflnle L 380, 1976
/1979 odor VaG 16) anzuzelgen und zu deklarleren.
Inhalt
4
, .1.4
Baschrelbung ••••.•••...
Allgemeine Angaben •..••
Bezeichnung ..•.•••.•.•..
Verwendungszweck ..••...
KennzeichnungS5teUe
BaugruppenObersicht .••.••
1.2
1.2.1
1.2.2
1.2.3
1.3
1.3.1
1
1.1
1.1.1
1.1.2
1.1.3
1.3.1.1
1.3.2
1.3.3
1.3.4
1.3.5
1.3.6
1.4
1.4.1
1.4.2
2
2.1
2.1.1
2.1.2
2.1.3
2.2
2.2.1
2.2.1.1
2.2.1.2
2.2.1.3
2.2.2
2.2.3
2.2.4
2.2.5
2.2.6
2.2.7
2.2.8
2.2.8.1
2.2.8.2
2.2.8.3
2.2.8.4
2.2.9
2.2.10
2.2.'1
2.2.12
2.2.13
2
a
1
1.1
1.1.1
1.1.2
1.1.3
1.1.4
6
6
7
7
1.2
8
1.3
1.3.1
4
4
5
5
5
5
1
1.1
1.1.1
1.1.2
1.1.3
1.1.4
Technische Daten •••••.•
Physikalische Daten ••••...
Elektr/sche Daten ••.••..••
Sonstige Daten ••••... •••.
6
1.2
6
7
7
1.2.1
1.2.2
1.2.3
Technlsche Beschrelbung
Beschreibung des NachweisPrinzips (Gegenstrom) ••.•..
Ventilstellung ••...•.•.•••
Vorval<uumpumpe ••••••••
Turbo-Molekularpumpe .••.
Massenspaktrometer ...•..
lonenquelle ••••.••.....•
lonenfa.nger und VerstArker
8
1.3
10
10
10
11
11
1.3.1.1
1.3.2
1.3.3
1.3.4
1.3.5
1.3.6
10
10
10
11
11
1.3.1.1
1.3.2
1.3.3
1.3.4
1.3.5
1.3.6
Ausstattung ...........
Lieferumfang •••.•.•.••.
ZubehOr ••••••••..••.•.
12
12
12
1.4
1.4.1
1.4.2
12
12
12
1.4
1.4.1
1.4.2
1:
1:
Bedlenung und Batrleb •.
AufBtelien des UL 100 PLUS
Obersicht der Bacien- und
Anzeigeelemente •••••..•
Vorbereitung zur Inbetriebnahme •..•...••••••.•.
Betriebstemperatur .•.•...
14
14
2
2.1
2.1.1
2
2.1
2.1.1
1'
1,
2.1.2
2.1.2
2.1.3
15
16
2.1.3
2.2
Description of controis "
16
2.2
2.2.1
2.2.1.1
2.2.1.2
2.2.1.3
16
16
2;2.1
2.2.1.1
2.2.1.2
2.2.1.3
4
1.3.1
9
9
5
5
5
5
1.2.1
1.2.2
1.2.3
9
9
14
15
16
Beschrelbung der
Bedlenfunkllonen .......
NetzanschiuB ..•.••.••.•
Elektrlscher AnschluB •.•••
Netzschalter "EIN/AUS· ...
Netzspannungsausgang fOr
ZusatzgerAte •.••••••.••
Taste "START" und
"STOPNENT" ••••.•..•.
Werteingabe~Taste ••••.••
Mel3bereichswahl-Taste
"Automatik"rTriggenogik"
19
MeBbereichswahl-Taste
"HAND" .....•..•.••..
Nullpunkt-Taste "Auto-Zero"
19
19
16
16
16
17
17
2.2.2
17
18
2;2.3
2.2.4
2.2.5
Multifunktions-Taste
"Akustisches Signal"
19
Multifunktions-Taste
"Trigger und Kalibrierung" •• 20
Funktion "Trigger 1 und 2"
Normal ................ 20
Funktion "Trigger 1 und 2"
Invers ••.•••..••••.•. . . 21
Sonderfunktion Trigger 1
und 2 (Geratezustand)
22
Funlction "Kalibrierung" ..•. 22
Taste fOr Eingabe-Ende
"ENTER" ••..•••.••.••. 22
Permanenter parameterspeicher 23
Gasballastven1ll .......... 23
TestanschluB •..•.•.•... 24
Zusatzliche Bedieneinrlchtungen 24
2.2.6
2.2.7
2.2.8.4
2.2.9
2.2.10
2.2.11
2.2.12
2.2.13
2.2.8
2.2.8.1
2.2.8.2
2.2.8.3
17'
17
2.2.2
17
18
2.2.3
2.2.4
19
2.2.6
2.2.7
19
2.2.8
20
2.2.8.1
20
2.2.8.2
21
2.2.8.3
22
22
23
2.2.8.4
2.2.9
23
23
24
24
2.2.10
2.2.11
2.2.12
2.2. 13
4
5
5
5
5
e
e
i
i
1(
1(
1(
1·
1"
1:
1,
2.2.5
19
19
a
4
mm~
__________ ______ ____
~
2.2.13.1 SchlOsselschalter .••.•...
2.2.13.2 Multifunktions-Schnittstelle ..
2.2.13.3 Trigger-Ausgange Trigger 1 + 2
2.2.13.4 Teilstromventilansteuerung
25
27
28
29
2.2.13.5 Femsteuerung der Lecksuchfunktionen .••••..•••.•••
30
2.2.13.6 AnaJog-Spannungs-AusgAnge
30
2.2.13.7 Analog-Spannungs-Ausgang
fOr den EinlaBdruck (PE) .•.
2.2.13.8 KopfhOrer-AnschluB •••.•.
31
32
2.2.13.9 Halskette
..•••.•••.....
32
2.2.13.10 Verbindung zwischen Bedieneinheit und Lecksuohmodul
32
2.3
2.3.1
Datum
2.4
2.4.1
2.4.2
2.4.3
2.4.3.1
2.4.3.2
2.4.3.3
2.4.4
2.4.5
2.4.6
2.4.6.1
2.4.6.2
2.4.7
2.4.7.1
2.4.7.2
2.4.7.3
2.4.7.4
2.4.8
2A.B.1
2.4.8.2
33
Einstellen der Uhrzeit und
2.3.1
•...•••..•..•••.
36
Betrlebaarten .•..•••• ~ .
Obersicht der
Betriebsarten .••••••....
Vakuum-Lecksuche mit
prOfling •••..••..•...••
Handhabung des PrOfIings
bei lokaler und integraler
Lecksuche ..••••....•.•
lokale Lecksuche ......•.
Bestimmung der Ansprechzeit •.•..••....•••.•..
Integrale Lecksuche ......
Besonderheiten bel groBem
Volumen elnes PrQfIings ...
Besonderheilen bei kleinem
Volumen eines PrQfIings '"
Besonderheiten bei kleinen
und groBen Leckraten .•.••
Kleine Leckraten •.•.•.•..
GroBe Leckraten ..•••.•.•
Besondere LecksuchablAufe
37
2.4
2.4.1
37
2.4.2
38
2A.3
38
38
39
39
2.4.3.1
2.4.3.2
2.4.3.3
2.4.4
39
2.4.5
39
. 2.4.6
40
40
40
40
Option Teilstrompumpsatz TPS
UL 100 PLUS .......... 40
Sonstige Pumpsatze .••.•• 42
Betrieb des Lecksuchmoduls
ohne Pumpmodul .•..•... 43
Lecksuchmodul mit anderer
Vorvakuumpumpe am VorvakuumanschluB ........• 43
SchnOffeliecksuche •..•.•. 44
Lecksuche mit Standard·
schnOffler ..........••.. 45
Lecksuche mit Hefium·SchnOffier
QUICKTEST QT 100 ..... 45
2.3
Inbetrlebnahme und Abo
pumpen elneB ProfllngB •.
22.13.1
2.2.13.2
2.2.13.3
2.2.13.4
2.4.6.1
2.4.6.2
2.4.7
2.4.7.1
2.4.7.2
2.4.7.3
2.4.7.4
2.4.8
2A.B.1
2.4.8.2
~
25
27
28
29
30
30
31
32
32
32
a
22.13.1
2.2.13.2
2.2.13.3
2.2.13.4
2.3
2.3.1
2.4
2.4.1
2.4.2
2.4.3
2.4.3.1
2.4.3.2
2.4.3.3
2.4.4
2.4.5
2.4.6
2.4.6.1
2.4.6.2
2.4.7
2.4.7.1
2.4.7.2
2.4.7.3
2.4.7.4
2.4.8
2.4.8.1
2.4.8:2
25
27
28
29
30
30
31
32
32
32
37
37
38
38
38
39
39
39
39
40
40
40
40
40
42
43
43
44
45
45
2.5
AuBerbe1riebsetzung ....
45
2.5
45
2.5
Arrirt de I'apparel! ...•••.
45
2.6
2.6.1
2.6.2
Kallbrieren und Tunen .•.
Tunen ..•.••••••..••.•
Kalibriereri mit
eingebautem Testleck •.•..
Kalibrieren mit externem
Testleck .••.••..•..••.•
Kalibrieren im
SchnUffelbetrieb .....••..
46
46
.2.6
46
46
2.6
2.6.1
2.6.2
46
46
2.6.3
2.6.4
2.7
2.7.1
2.7.2
2.7.3
Servlcefunktlon der
Eleklronlk-Elnhelt .......
Statusanzeige _. . • • • . • . . ..
Fehlermeldung ......•••.
Abgleich der Massenposition ................
2.6.1
2.6.2
46
2.6.3
47
2.6.4
48
2.7
49
52
53
55
2.7.1
2.7.2
2.7.3
46
2.6.3
47
2.6.4
48
2.7
49
52
53
55
2.7.1
2.7.2
2.7.3
46
47
48
49
52
53
55
3
___________________________ mm
56
3
Entretlan
56
Maintenance Schedule ••••.
56
3.1
56
56
56
3
56
3.1
Wartungsarbelten.. . . . . . ..
56
3.2.1 Vorpumpe TRIVAC 0 1,6 B .••
56
3
Wartung ••••••.••••..••••
56
3.1
Wartungsplan. •... . .• . ...
3.2
3.2.2 Turbo-Molekularpumpe
TURBDVAC 50 ............
3.2.3 Luftfilter wechseln •••.•.•...
3.2.4 Wechsel der lonenquelle
SoftwareumriiBtung fur
Sottwareveralonen ab V 2.0
3.3.1 Identifikation der Software
56
56
57
3.3
3.3
des UL 100 PLUS ..........
3.3.2 Ausbau der Mikrocomputerlei1erkarts ................
3.3.3 Austausch der programmEPROM..................
3.3.4 Einbau der Mikrocomputerlei1erkarts ................
3.4
1
1.1
Beschrelbung
Allgemeine Angaben
••••••.••••••••••
58
3.3.1
58
3.3.2
58
3.3.3
59
3.3.4
60
60
3A
.................
1·
1.1
Description
General
56
56
56
57
3.3
3.3.1
58
3.3.2
58
3.3.3
59
3.3.4
60
60
Wichtige Anweisungen. die die technische 5icherheit -und den Betriebsschutz betreffen,
sind durch KennzeichnungBn hervorgehoben.
lows:
Vorslcht steht bei Arbeits- uoo Betriebsverfahren, die gansu einzuhaften sind, urn eine
GefAhrdung von Personen auszuschlieBen.
a
58
Die58 Gebrauchsanweisung enthatt wichtige
Informationsn zurn VerstAndnls, zur Aufstellung, Inbetriebnahme und Betrieb, Fehlersuche und zur Wartung des Helium-leck-Detektors UL 100 PLUS.
Important remarks
a
operational
56
56
56
57
a
a
a
3.4
1
1.1
Description
Geniiralltiis
58
58
5E
51;
6e
6e
sons.
Achtung bezieht sich auf Arbeits w und Betriebsverfahren, die ganau einzuhatten sind,
urn Beschadigungen oder ZerstOrungen des
HeliumwLeckwDetektors UL 100 PLUS zu vermeiden.
Hlnwels gilt fOr technische Erfordernisse, die
der Benutzer besonders beachten muB.
Abbildungshinweise z.B (4114), geben mit der
ersten Ziffer die Abbildungsnummer an und
mit der zweiten Ziffer die Position in dleser
Abbildung.
HeliumwLeck-Detektor unmittelbar nach Emp-fang auspacken, auch wenn die Inbetriebnahme zu einem spAteren Zeitpunkt erlolgt
Transportverpackungsbehalter auf auBere
Schaden untersuchen. Verpackungsmaterial
vollstandig entfemen.
Hlnwela
Bei eventuellen Schadensersatzforderungen
ist der Transportbehalter und das Verpakkungsmaterial aufzubewahren.
Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS auf Vollw
standigkeit prOfen (slehe Abschnitt 1.4).
4
a
a.
a
mm ________~---------------Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS siner
Fembedienungseinheit
und
AnschluBleitung
prOten. urn sicherzustellen, daB auf dem Transportweg keine Schaden entstanden sind. .
Werden Beschadigungen festgestellt, 1st umgehend aine Schadensmeldung an den Spa-
Soumettre I'appareil
approfondi.
1.1.1 Designation
Appellation
diteur unci an den Versicherer zu leiten.
Falls as notwendig 1st, elas bescMdigte Tail zu
ersetzen, bitte mit dar Auftragsabteilung in
Verbindung setzen.
1.1.1 Bezelchnung
Gebrauchsname
Helium"Leck-DetektorPortable ULTRATEST UL 100 PLUS
Lecksuch-Modul
Pump-Modul
Kurzbezeichnung
1.1.2 verwendungszweck
Dar Helium-Leck-Detektor UL 100 PLUS ist
ein Heliumlecksucher mit massenspektrometrischem Nachweisprinzip.
Dar UL 100 PLUS zeichnet sich durch ainan
graBen Nachweisbereich 8US.
a
sorgfaltigen SichtprOfung unterziehen.
un
a
a
a
a helium portalif ULTRATEST UL 100 PLUS
Module-deteoleur
Module-pompa
Abreviation
UL 100 PLUS
a
Mit clem Ul , 00 PLUS kOnnen DichtheitsprOThe UL 100 PLUS permits leak checks 10 be
carried out on test objects of various sizes.
1ungen an verschiederi groBen PrOflingen
Small test objects (with a volume of 10 I or
durchgefOhrt werden. Kleinere PrOflinge
less) can be evacuated by the UL 100
(Vol.:s 1a I) kOnnen durch die im UL 100
PLUS vorhandene Vorvakuumpumpa evaku~ . PLUS's own backing pump. On spraying the
test object with helium, helium will enter it if
iert werden. Bei Bespruhen des PrOfIings mit
there is a leak. Even very small helium conM
Helium kann durch ein vorhandenes Leek He·
centrations reach the mass spectrometer
lium in den Prufling eindringen. Schon gering~
ste Helium·Konzentrationen gelangen zum. where they are detected.
Massenspektrometer und werden dart nachge~
wiesen.
Durch das Gegenstromprinzip ist die Verwen~
dung von flussigem Stickstoff nicht erlorder~
Uch.
Durch die besonders k1eine und leichte Bau~
weise ist der Ul100 PLUS universaU einsetz~
bar. Das Lecksuch~Modul ist yom Pump~
Modul abnehmbar und dadurch auch einzeln,
z.B. zu Servicearbeiten an Vakuumanlagen,
einfach einzusetzen.
An das Lecksuch~Modul ist jade andere geei~
gnete VOlVakuumpumpe uber die TrennsteUe
der beiden GeriUebaugruppan anschlieBbar,
wenn ein grOBeres SaugvermOgen am Testan·
schluB und damit kOrzere Pumpzeiten benOtigt
werden.
Der UL 100 PLUS ist 'mit einem Teilstrom~
Pumpsatz besonders fOr groBvolumige PrOfob~
jekte mit hohen Leckraten geeignet Leck~
ratennachweis und ~messung sind dann be·
reits ab 100 mbar EinlaBdruck mOglich.
1.1.3 Rating Plate
1.1.3 Kennzelchnungsstelle
Ein TypenM und Leistungsschild 1st bairn UL
100 PLUS an zwei Stellen angebracht
MOberhalb deS elektrischen AnschluBfeldes
unter dem Tragegriff (siehe Abb. 8).
~ Auf der ROckseite der Bedieneinheit
1.1.4 Baugruppeniiberslcht
Der UL 1Dei PLUS besteht aus zwei HauptM
baugruppen:
etre
a
a
a
a
a
a
a
--------~---------------~
Erliuterungen zur Abb. 1
1 Bedlen-Elnheit
2 Turbo-Moiekularpumpe (TURBOVAC 50)
3 Massanspaktromater mit VorvarsUirker
4 Elektronlk·Elnhelt
5 Ventltblock
6 Vorvakuumpumpe (TRNAC 0 t.6 B) mit
Kopplungselnrlchtung
Unite da commanda
Pompe turbomoleculalre (TURBOVAC 50)
Spectromatre de masse avec preampll
Unite elactronlque
5
Bloc de roblnets
6
a
Abb. 1 BaugruppenOberslchl
Fig. 1 Modules of the UL 100 PLUS
Fig. 1 Modules compos,ant Ie detecteur UL 100 PLUS
LecksuCh·Modul mit
• Bedien-Einheit (1/1)
• Turbo-molecular pump TURBOVAC 50
• Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC 50
(112)
• Massenspaktrometer (113)
• Elektronik-Einheit (1/4)
• Ventilblock (1/5)
Pump-Modul mit
VOlVSkuumpumpe (TRIVAC D 1,6 B)
Module-pompa avec:
Backing pump CTRIVAC 0 1,6 B)
Pompa it vide primalre (TRIVAC 0 1,6 B)
1.2 Technlsche Daten
Hlnwels
Safety
Securlte
L'appareil correspond it la classe de securitEt
Die angegebenen technischen Daten beziehen
sich auf das Lecksuch-Modul In Verbindung
mit dam Pump-Modul.
SlcherheHsangaben
Das GarAt erront Schutzklasse I naoh VOE
0411 (lEO 348).
(112)
(1/2)
(lEO 348).
1.2.1 Physlkallsche Daten
mitTeilstrom~Pumpsatz
Max. EinlaBdruck
Max. EinlaBdruck mit
Teilstrompumpsatz
Anzeigebereiche
MeBbereichsumfang -ohne
Teilstrom-Pumpsatz:
MeBbereichsumfang mit
Teilstrom-Pumpsat2:
Leckraten-Anzeige
EinlaBdruck
6
10.2 mbar' ,. S·1
10 mbar'" S·1
0,2 mbar
100 mbar
80ekaden
11 Oekaden
logarithmisch,
20ekaden
mit 15 Schritten je Dekade
separate Exponenten-Anzeige
0,1 mbar bis 100 mbar
logarithmisch in 15 Schritten
Kleinste nachweisbare Leckrate
2_10.10 mbar- ,. S·1
Zeitkonstante (blindgefJanscht)
< 1,5 S
GroBteI anzeigbare Leckrate
ohne Teilstrom-pumps.
St
&
8 decades
11 decades
mm __________________________
Vorvakuumdruck
0,01 mbar bis 10 mbar
logarithmisch in 15 Schritten
Massenspektrometer
180 0 magnetisches
Sektorteld
lonenquelle mit Z-Fokussierung
Zwei lridium-Katoden
geheizte Anode, selbstreinigend
Nachweisbare Massen
2, 3· und 4
Zeit bis 2ur Betriebsbereitschaft
< 3 min
TestanschluB
2 x ON 25 KF
Leitungslange der Bedien-Einheit
8m
'1.2.2 Elektrlsche Daten
Lecksuch-Modul:
Netzspannung umschaltbar 100 V I '20 V
50160 Hz
220 V 1240V (±S %)
LeistungsaUfnahme
80 VA
Pump-Modul:
210 bis 260 V
Netzspannung
oder 100 bis 130 V
Netzfrequenzbereich
50/60 Hz
Leistungsaufnahme
240 VA
Gesamtstromaufnahme wAhrend Hochlauf
bell10V
SA
bei 220 V
2,5 A
Gesamtstromaufnahme nach 30 min Betrieb
bei110V
3A
bei220V'
1,5A
Netzausgang fOr SchnQffler
1A
Max. Strombelastbarkeit
Achtung
Der Ausgang fQhrt immer die jeweils am UL
100 PLUS anliegende Netlspannung.
Signaleingange I SignaJausgange
EinlaBdruck (PE)
0 bis 10 V,RL~2,5 kG
Leckraten-Signal
1 bis 10 V,RL~2,5 kG
MeBbereich-Signal (Exponent)
(0,5-V-Stufen pro Dekade)
1 bis 10 V
RL~2,5 kn
Leckraten-Trigger (Grenzwertschatter)
2 SchrieBer, potentiaJfrei
(voneinander unabMngig)
SchaJtvermOgen
max. 2 A; 60 V
(Ohmsche las1)
Ext. Ansteuerung Lecksuchfunktionen
24 bis 48 V DC
Schnitts1elle
RS 232 C I V.24
2,SA
Consommatlon totale apras 30 min de service
8110V
3A
a220V
1,SA
a
a
a v
1.2.3 Sonstlge Daten
Gerausch-PegeJ
54 dBA
KOhlluftbedarf
ca 100 m3 ·h·'
Maximale Umgebungstemperatur
40 °C
Maximale Feuchte
85 % (rei., nicht
kondensierand)
Minimale Pumpenanlauftemperatur
mit N 62
17°C
Minimale Pumpenanlauftemperatur
mit SpazialOI (Arctic~61)
10°C
Abmessungen (HxBxl)
UL 100 PLUS komplett 430X460x250 mm
320)(460x250 mm
Lecksuch-Modul
225x460x250 mm
Pump-Modul
Gewicht
UL 100 PLUS komplett
Lecksuch-Modut
Pump-Modu!
Weight"
UL 100 PLUS complete
Leak detection module
Pump module
ca 33,5 kg
ca 20,0 kg
ca.
13,5 kg
Kat-Nr.
ULTRATEST UL 100 PLUS Helium-LeckDetektor-Portable; komplett
Euro-Version 220 V bis 240 V
15582
Version 100 V bis 120 V
896 38
S4dBA
rn 3 ·h·'
40°C
85 % (rei., noncondensed)
ca. 100
approx. 33.5 kg
approx. 20.0 kg
approx. 13.5 kg
15583
env. 20,0 kg
env. 13,5 kg
Ret
155 82
896 38
15583
UL 100 PLUS
UL 100 PLUS Lecksuch-Modul
env. 33,5 kg
Module
a.
a.
15582
89638
15583
7
--------------____________ mm
1.3 Technlsche Beschrelbung
Der UL 100 PLUS dient zum Auffinden von
das Saugvermagen dieses Pumpensatzes berUckslchtlgt werden (slehe Abschnitt 2.4.7).
Gegebenenfalls ist das Lecksuch-Modul neu
zu kalibrieren. Bel Verwendung des TeilstromPumpsatzes gilt die Kalibrierung Obar den gao.
samten erweiterten MeBbereich.
.
Nac:h dem Einschalten der Netzspannung baginnt der UL 100 PLUS mit dem automatischen Hochlauf. Dabei wird auf der KombiAnzeiga (4/3) der fortlaufend' erfaBte Vorvakuumdruck Pv (4/22) und der einmal ermittelte
EinlaBdruck Pe (4/23) angezeigt Der -UL 100
PLUS ist lecksuchbereit, wenn der Hochlauf
beendet ist. Dann schaltet die Kombi-Anzeige
(4/3) auf Leckraten-Anzeige urn und zeigt die
Betriebsbereitschaft des Gerates an.
Durch kurzes Betatigen der Taste "START"
PLUS angeschlossenen PrDflings beg onnen,
gleichzeitig leuchtet die Status-LED (4/1) grun,
die Kombi-Anzeige schaltet wieder auf Druckanzeige.
Der fallende EinlaBclruck Pe (PrOfling) wird
der Skala (4/23) der Kombi-Anzeige (4/3)
gezeigt. 1st der EinlaBdruck PE kleiner als
mbar, erfolgt automatisch ein Umschalten
Kombi-Anzeige (413) von EinlaBdruck
(4/23) auf Leckraten-Anzeige.
auf
an0,2
der
PE
Wird der PrOfling mit Helium besprOht, kann
Helium durch die Druckdifferenz durch ein
eventuell vomandenes Leck in den PrOfling
eindringen. Helium gelangt innerhalb der Ansprechzeit in das Massenspektrometer. Das
Massenspektrometer ionisiert die Gas-MolekOIe, trennt sle oach ihrem Masse-zu-LadungsverhaJtnis und fangt die Helium-Ionen (Massanzahl 4) auf. Der Strom, proportional zur
Anzahl der Helium-Ionen, die auf den lonenfAnger (3/5) traffen, wird verstarkt und auf der
Kombi-Anzeige (4/3) als Leckrate sichtbar ge-
leeks und ermOglicht es, die Leckrate quantitativ zu bestimmen. Die kleinste nachweisb.
Helium-Leckrata betragt 2-10.10 mbar-I·S"'.
Der UL 100 PLUS besteht 8US dam Leek-
such-Modu! und dam Pump-Modul.
Oer UL 100 PLUS wird betriebsbereit gelieDabei ist das Lecksuch-Modul auf das
tart.
Pump-Modul abgestin'\mt und kalibriert. Das
Lecksuch-Modul kann auch a1lein zur Auffindung von Leeks an Vakuumanlagen eingesetzt
werden. Es muB sichergestellt sein, daB das
Lecksuch-Modul nur an einer Stelle der Anlage angeschlossen wird, wo der Druck mit Sicharheit immer kleiner a1s 0,2 mbar ist
Hlnwels
Bei alleiniger Verwendung des Lacksuch-Moduls mit sinem externen Vorva!<uum-Pumpsatz
. muB fUr die quantitative Leckraten-Anzeige
(4/24) wird die Evakuierung eines am UL 100
a
a
a
a
machl
Zum SelOften des PrOflings muB die Taste
"STOP" (4/2) lange gedrOckt werden (mindestens 2 s). Die Status-LED (4/1) leuchtet rot
Der Prufling wird hOrbar gaflutet und kann
abgenommen werden.
8
a
a
mm __________________________
Abb. 2 Funklionsschema UL 1 DO PLUS
5
-- 7
Erliuterungen zur Abb. 2
1
2
3
MaS5enspeklromaler
Turbo·Molekularpumpe TURBOVAC 50
Tolaldruck·MeBslelle, VOrVakuum
"
5
6
Tolaldruck·MeBslelle, Elnla8
Testanschlu8 ON 25 KF
2.Tes1anschluB bzw. AnschluB IUr Teilstrom·
7
8
9
Pumpsalz ON 25 KF
Oplion TeUstrom·Pumpsatz
Option He·Testleek TL 7
AnschluB ON 10 KF lOr He-Teslleck
10
11
12
V,
V2N3
Drehsc~leber·Vakuumpumpe TRIVAC 0 1,6 B
Trenns!e"e (Vakuumkupplung)
PumpvenUI
ElnlallVenlillFlulvenlli
Vl.2
Grobleck·Venlil
ext. Ventn llir Option Tellslrompumpsalz
VEXT
~''';;::'''(~~'''''/-- 8
Pump.Modul
Pump module
Module-pompa
\
11
10
1.3.1
1.3.1
Beschrelbung des Nachwels-Prlnzips (Gegenstrom)
....................... ~ ............ .
AbbJFlg.2
a
9
10
11
12
V,
a
V2N3
VI.2
VeXT
1,3,1
a
a
Beim Gegenstrom-Prinzip wird der Prufling an
der Vorvakuumpumpe angekoppelt
Dadurcl1 sind erheblich hOhere PrOflingsdrOcke
zulAssig als beim klassischen Hauptstrom-'
Prinzip. Oas Helium diffundiert entgegen der
Pumprichtung der Turbo-Molekularpumpe in
das Massenspektrometer, wahrend schwere
Gase, var aHem Wasserdflmpfe, zurOckgehalten werden (massenabhangiges Kompressionsvermogen).
Eine KOhlfaUe in Verbindung mit fl. Stickstoff
ist deshalb nicht mehr erlorderlich.
1.3.1.1 Ventilstellung
Nachfolgende Tabella zeigt den Zusammenhang zwischen der Betriebsart und den Ventilstell un gen. Siehe auch Abb. 2.
Mode
Nom
V12, V2.
VExr open
V1 closed
p< 100
GROS
.... 10-6 *)
V1.2, V2,
VEXT ouvert
V1 ferme
p<100
p<O,2
FINE
.. .. 10.9 *)
p<0,2
ULTRA
2'10-10
V1. V2, ouve
V1".2 ferms
VExr 1erme
p<0,2
Einlafl
druck
Bezeichnung
Typ. MeB· Ventilbereich
stellung
mbar-I·s·l
(mbar)
GROSS
.... 10.6 *)
V1.2, V2,
VExr offen
V1 geschl.
p< 100
GROSS .... 10-6*)
FINE
.... 10·9 '*)
V1, V2,
VExr offen
V1.2 geschl.
p<O,2
FINE
.... 10.9 ")
V1, V2,
VExr open
V1.2 closed
ULTRA
2'10.10
V1, V2, offen p<0.2
V1.2 geschl.
VExr geschl.
ULTRA
2'10-10
,
mit extemer Vorvakuumpumpe 0 25 B
a
,
a
9
--------------------------~
a
1.3.3 Turbo-Molekularpumpe
Die Turbo-Molekularpumpe erzeugt aus dam
Helium-Druck im Vorvakuum den HeliumDruck im Massenspektrometer, der dert dann
nachgewiesen wird, Dabei wird ihr stabiles
Kompressionsverm6gen fOr Helium 8u5genutzt. Seine GrOBe bestimmt zusammen mit
dem SaugvermOgen der Vorvakuumpumpe die
Empfindlichkeit der Anordnung,
Die Turbo-Molekularpumpe is~ aine TURBOVAC 50, Aile Daten und Angaben kennen der
GA 05.100 entnommen werden.
1.3.4 Massenspektrometer
. Das Massenspektrometer besteht im wasentlichen aus der lonenquelle, dem magnetischen
Trennsystem und dem 10nenfAnger.
Die lonenquelle ionisiert durch ElektronenstoB
neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen
lonenstrahl. Positiv geladene lonen werden
durch das negative Potential der Extraktorblende (3/10) aus der lonenquelle abgesaugt
und gelangen so in das Magnetfald (3/8). Dart
werden sie auf einer Kreisbahn mit definiertam
Radius abgelenkt. Nur die Helium-Ionen (M
= 4) erfullen die Trennbedingungen der Anordnung und erreichen den lonenfanger (3/5).
Durch die Ausblendung vOn' SIOrionan mit Hilfe der Zwischenblende (319) wird eine hohe
AufiOsung erreicht.
Beim MS-Spektrometer handelt es sich um
ein magneti. Sektorfald-MS-Spektrometer mit
180 0 -Ablenkung. DUrch die Inhomogenitat des
Magnetfeldes senkrecht zum lonenstrahl wird
in dieser Richtung eine zusatzliche Bundelung
erreicht (Z -Fokussierung). Diese Bauart gewahrleistet neben einer guten AuflOsung eine
hohe Empfindlichkeit und LangzeitstabilitAt.
1.3.2 Vorvakuumpumpe
Die VOlVakuumpumpe erzeugt aus dam in den
Leck-Detektor flieBenden Helium-Strom ainen
proportionalen Helium-Druck. Dabei wird das
stabile Helium-SaugvermOgen dieser Pumpa
ausgenutzt. Seine GroBe bestimmt zusammen
mit der Kompression der Turbo-Molekularpumpa die Empfin,dlichkeit der Anordnung.
Als Vorvakuumpumpe ist im UL 100 PLUS aine Drehschieber-Pumpe TAIVAC 0 , ,6 B
eingebaut. Aile Daten und Angaben kOnnen
der Gebrauchsanweisung GA 01.200 entnommen wEirden.
5
6
10
7
M=4
Abb.lFlg.3
10
9
Erlauterungen zur Abb. 3
1 Katode 1
2 Anode
3 Katode 2
4 Verstarker
lonenlanger
Abschirmung fUr
lonenf.iinger
7 Suppressor
Magnelfeld
9 Zwlschenblende
10 EKtraktorblende
11 Abschlrmring
,•
,
a
a
a
a
a
a
,•
,
,•
,.
8
Achtung
Halogene oder halogenhaltige Substanzen
k6nnen unter Umstanden die Lebensdauer der
Katoden ungOnstig beeinflussen.
1.3.6 lonenfanger und Verstlrker
Die positiven Helium-Ionen, die auf den lonenfanger (3/5) treffen, erzeugen im hochohmigen
Eingang des Verstarkers einen Strom. Nach
Verstarkung und Wandlung erscheint das Signal auf der Kombi-Anzeige (4/3) als Leckra-
1.3.5 lonenqueUe
Die aus der Katode (3/1) oder (3/3) austretenden Elaktronen werden von der positiven Anode (3/2) angezogen. Sis treffen aber nicht 50fort auf die Anode, sondern pandaln oft zwi-
schen der Katode und dem Abschirmring
(3111), bis sie schlieBlich an die Orahtwendel .
der Anode gelangen. Auf diesem Wage ioni-
sieren die Etektronen ,Gasatome durch Sto/3.
Die positiven Gasionen werden durch die Ex-
traktorblende (3/10) aus dam Anodenraum ga-
zogen.
Zur Vermeidung von polymerisierten Kohlen-
wasserstoffablagerungen (isolierende Schichten, die die Empfindlichkeit beeintrachtigen
kOnnen) 'yVird die Anode sta,ndig geheizt.
Die Katoden bestehen aus Iridiumband, das
mit Thoriumoxid beschichtet ist. Wagen ihres
Thoriumbelages arbeiten diese Iridium-GIOh-
faclen mit einer viel niedrigeren Temperatur als
Wolfram-GIOhfaden und haben eine ausgezeichnete Widerstandsfahigkeit (Durchbrennsichemeit) gegen VersprOdung, O2 , H2 0-Dampf
und KW-Stoffe.
teo
est
a
a
a
11
___________________________ mm
1.4 Ausstaltung
1.4.1 Lleferumfang
Der UL 100 PLUS wire! betriebsbereit· 8usge-
1.4.1 Equlpement standard
Set of gaskets (200 28 021 ~
Gasket 6 x ON 40 KF
- Gasket 4 x ON 25 KF
• Gasket DN 16 KF (2 x)
• Gasket for preamplffier (1 x)
- Gasket for exhaust filter (2 x)
- a ring for inlet flange (2 x)
-
liefert
Zurn Lieferumfang gshOren zusMzlich:
Kat Nr.
NetzanschluB-Leitung
2,5 m fOr 110 V bei
2,5 m fUr 220 V bei
15583
15582/89638
Dichtungs-Set (200 28 021):
~
•
-
Flach-Dichtung 6 x ON 40 KF
Flach-Dichtung 4 x ON 25 KF
Flachdichtung DN 16 KF (2 x)
Flachdichtung fOr VOJVerstarker (1 x)
Flachdichtung fOr Auspuffilter (2 x)
•
-
D-Ring fOr EinlaBflansch (2 x)
C-Ring fOr Vorverstarker (3 x)
O·Ring fOr D 1.6 B (4 x)
C-Ring fOr Vakuumkupplung (2 x)
Dichtring fOr Festo-Verschraubung (2 x)
- drei O-Ringe fOr die Vakuumkupplung
Zusatzflansch ON 25 KF (AnschluB
far Teilstrom-Pumpsalz)
Filterelement zurn Auspuff-Filter 0 1.6 B
Filter element for exhaust filter 0 , ,6 B
Satz Sicherungen (200 28 022)
a air
Luftfilter
Dust filter
Filtre
Halskette zur Bedien-Einheit
Werkzeugsatz
FIOgelschraube (2 x)
Vis
Schnittstellenstecker
Spol. Sub-D-Stecker
25pol. Sub·D·Stecker
6pol. Kupplungs-Stecker
Schlauchstutzen fOr Auspuffleitung
SchlOsselsatz
Set of keys
Gebrauchsanweisungen
UL 100 PLUS
V .241 AS 232 C~Schnittstenen~
betrieb mtt dem ULTRATEST
UL 100 PLUS
TURBOVAC50
TRIVAC D 1,6 B
TURBOTRONIK NT 14
25~way Sub~D-plug
GA 10.207
SB
GA
GA
GA
10.207
05.100
01.200
05.213
Ersatzteilliste
Ersatzteilliste
Ersatzteilliste
KopfhOrer
Headset
IT 05.100
IT 10.207
IT 01.200
Liste de pieces de rechange
Liste de pieces de rechange
Liste de pieces de rechange
Kat.·NrJBest.-Nr.
155 97
GA 10.20'
SB 10.20'
GA 05.100
GA 01.20
GA 05.21
ET 05.10
ET 10.20
IT 01.20
Cache-poussiere
Order No. 200 27 981
1.4.2 Accessories
1.4.2 Zubeh6r
Transport·Koffer
SB 10.207
GA 05.100
GA 01.200
GA 05.213
GA 10.207
StaubschutzhOlle
Transport case
Ro!. 200 27 98
Re
1559
155 98
Transport bey
155 98
1559
Verlangerungsleitung, 10m,
zur Bedien-Einheit
165 43
Extension lead, 10m, for
remote control unit
165 43
165.!
Testleck TL 7 komplett mit Elektro~
magnet-Ventil und Einbausatz
155 93
15593
155 !
Fuite calibres TL 8
1651
Testleck TL 8
12
165 57
16557
~
Testleck TL 4-6
15580
15580
Fuite calibree TL 4·6
Heliuffi-$chnOffler
aUICKTEST aT 100
1559'
1559.
1559'
Helium-Standard-SchnOffler
ST lOa
15590
15590
Renifleur helium standard
ST lOa
15590
SchnQffelleitung zum
aUICKTEST, 5m
15577
Sniffer tine for
aUICKTEST, 5 m
15577
15577
SchnOffelieilung zurn
aUICKTEST, 20m
15576
Sniffer line for
aUICKTEST, 20 m
15576
15576
Teitstrom-Pumpsatz
16544
16544
Ersatz-Ionenquelle
165 A.
Ausputfschlauch 5.6 x 2,75
Arctic 01 (Flasche mit 1 I)
Renifleur helium
16504
Special accB.ssories
Sonderzubehor
pvc 12802 158
20028 181
15580
a
16544
165 O'
Exhaust tubing 5.5 x 2.75 PVC
12802158
5,5 x 2,75 PCV
12802 158
200 28181
20028 181
Hlnwels
"'Ole
Remarque
Zum SelOften des UL 100 PLUS mit anderen
Gasen a1s Umgebungsluft, kann das Sinterfiltar am Ventilblock (BelOftungsventil V3) gegen
eine Schlauchverschraubung mit Schlauch
ausgetauscht werden. 8enOtigt wird:
Schlauchverschraubung M 5 fOr
Schlauch 5 x 1
200 23 010
128 20 140
Schlauch 5 x 1 (MetalWare)
a
a
x,a
13
-...,..-____________ lil
2
Bedlenung und Betrieb
2
Operation
2
Utilisation
2.1
Aufstellen des UL 100 PLUS
2.1
2.1
Installation de UL 100 PLUS
2.1.1 Uberslcht der Bedlen- und
Anzelgeelemente
Die Badien- und Anzeigeelemente des Ul
100 PLUS befinden sich auf einer Bedieneinheit, die Ober aine Leitung mit dam UL 100
PLUS verbunden' 1st Die Bedieneinheit kann
entweder am Gerat eingeMngt betrieben werden oder erlaubt im abgenommenen Zustand
die Fembedienung des UL 100 PLUS.
Badienelemente und die MeBwert-1 Statusanzeigen sind in Abb. 4 dargestellt und eriautert.
........................................
24
2
3
23
4
22
5
21
20
6
19
7
8
18
9
17
10
16
15
11
12
13
14
: ................................................. .
Abb. 4 Bedleneinheit
Fig. 4 Remote control unit
FI
4 Unite de commande
14
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
~------------------------Abb. 5 Ansetzen des lecksuch-Moduls
Fig. 5 Attaching Il'Ie leak defection module
Fig. 5 Pose du module-chi'ecleUr
Erlauterungen zur Abb. 5
1 leckslIch·Modul
2 Tragegrllf, herausgezogen
3 Klinke
4 Aussparung, Klinke
5 Pump-Modld
-----2
~
1
2
:3
4
5
Leak detecl10n module
Handle, in puiled-oul position
TOib
Sial for lab
Pump module
Poigruie, retiree
3
4
5
~3
~=====:
1
2
______________
Abb.lFig.5
2.1.2 Vorbereitung zur Inbetriebnahme
Der UL 100 PLUS wird im betriebsbereiten
Zustand ausgeliefert. Das Pump-Modul ist bereits mit dam Lecksuch-Modul verbunden.
a
Sind beida Teile noch voneinander getrennt,
ist das Lecksuch-Modul (5/1) auf das PumpModul (5/5) gemaB Abb. 1 aufzusetzen. Dabei
mul3 die Klinke (5/3) am Lecksuch-Modul in
die Aussparung (5/4) vom Pump-Modul (5/5)
gefOhrt werden. Das Lecksuch-Modul (5/1)
kann nun durch leichten Druck vollstandig auf
das Pump-Modul (5/5) aufgesetzt werden.
Das Lecksuch-ModuJ (5/1) mit dem PumpModul (5/5) verriegeln.
Dazu wird am Pump-Modul (7/2) das Abdeck- .
blech (7/1) von den Magnetvarschlussen (6/6)
abgehoben und nach unten herausgenommen.
Jetzt konnen beide Flugelschrauben (6/2) und
(6/4) hochgekJappt und durch eine Rechtsdrehung geschlossen werden. Das LecksuchModul ist nun vakuumdichl mit dam PumpModul verbunden. Abdeckblech (7/1) schrag
an das Pump-Modul (7/2) ansetzen und unten
gegen die Magnelverschlosse (6/6) andrOkken.
Beim Trennen des Lecksuch-Moduls yom
Pump-Modul ist entsprechend in umgekehrter
Reihenfolge vorzugehen.
Die im Pump-Modul eingebaute DrehschieberVakuumpumpe ist betriebsbereit mit 01 geffillt
a
(6/6).
a
Erliuterungen zur Abb. 6
Typenschlld TRIVAC 0 1,6
Verriegelung IIIr Vakuum·Kupplung geoflnet
lecksuch-Modul
Verrieglliung fijI' Vakuum·Kupplung geschlossen
Pump-Modul
MagnetverschluB
1
2
3
4
5
6
a
3---2---~
- ..:r----4
---,1------ 5
a
,E~----6
Abb. 6 Verriegelung
Fig. 6 InlerlQcklng the modules
Fig. B verrouillage
15
--------------------------~
Erlluterungen zur Abb. 7
1
2
3
4
5
3
-'~---2
1
2
3
4
5
Abdackblech, Varrlagalung
Pump-Modul
Abdackung, Gasballasl
Lacksuch·Modul
Tragagrltt
bis + 40°C Qewahrleistet (PumpenOI N 62).
FOr AuBentemperaturen von ca + 10°C bis
+ '7 °C steht Bin SpeziaJOI (Arctic-Ol) fOr die
Drehschieberpumpe 0 1,6 B zuy VerfOgung.
Entsprechender Olwechsel siehe GA 01.200.
Cas SpezialOI (Literflasche) ist bei Leybold un·
ter der Bastell·Nr. 200 28 181 erhtdtlich.
2.2
Beschrelbung der Bedlenfunktlonen
2.2
2.2
2.2.1
NetzanschluB
2.2.1
2.2.1
2.1.3 Betrlebstemperatur
Die einwandfreie Funktion des UL 100 PLUS
ist bei Umgebungsbedingungen von + '7 °C
a
a
a
Hlnwe18
Die im Foigenden beschriebenen Geratefunktionan beziehen sich auf die Softwareversion
V 3.0.
2.2.1.1 Elektrlacher AnschluB
2.2.1_1 Electrical Connections
2.2.1.1 Raccordement electrlque
Achtung
die fOr beida Module eriorderliche Netzspannung mit der des vorhandenen Netzes
Obereinstimmt. Bel 1a1scher Netzspannung
sind BescMdigungen am Ul 100 PLUS nicht
auszuschlieBen.
Netzspannung fOr das Pump-Modul prOfsn.
Verifier I'indication de tension sur Ie module
pompeo
Die Netzspannung kenn anhand der Kat.-Nr.
der TRIVAC 0 1,6 B (611) feslaestel~ werden:
Kat-Nr. 112 25 muB mit 220 bis 240 V und
Kat-Nr. 112 27 muB mit 105 bis 120 V
betrieben werden.
Bei falscher Ne1zspannungszuordnung ist das
Pumpmodul bzw. der UL 100 PLUS gage.n
die Version mit der korrekten Netzspannungszuordnung auszutauschen.
Die NetzanschluBleitung (8/2) wird am UL 100
PLUS in den vorhandenen Kombi-Ger/ite_ker (8/5) eing'-kt.
Hinweis
Var AnschluB des UL 100 PLUS prOfsn, ob
Am Lecksuch-Modul (Oberteil) des UL 100
PLUS ist die "Netzspannung eingestellt die am
16
a
correcte.
mm __________________________
Erlluterungen zur Abb. I
1 Schraubendreher
2
3
4
5
NetzanschluBleltung
Sicherungsainschub und Spannungswihler
Marklerung am KombloGer.litestecker
5
Kombl-Geriitestecker
8
7
GeraleS1eckdose, QUICKl'EST
Nel~chalter. "EINlAUS·
6
11111 III
5
Powar socket
6
7
3--~
2 _ _---':::.:::::-"
U!gende de 18 fig. 8
,
2
3
'"
5
6
7
Fiche comb!nea
Prise pour raccordsr Ie QUICKTEST
Interrupteur secteuf,"MARCHEIARRET"
Abb. 8 NetzanschluB
Sicherungseinschub (8/3) lesbar nach aben
auf die Markierung (8/4) zeigt
Zurn Einstellen dar GerAtespannung ist dar
Sicherungseinschub (al3) neben dam KombiGeJ'Atestecker mit einem Schraubendreher
(8/1) herauszunahmen und so zu drehen, daB
die gewQnschte Spannung lesbar nach oben
auf die Markierung (814) zeigt Den Sicherungseinschub in dieser Stellung wieder in den"
Kombi-Geratestecker (815) einschieben. NetzanschluBleitung am Kombi-Ger&testecker (815)
einst8cken und mit dem Netz verbinden. Der
UL 100 PLUS kann nun am Netzscha/ter
"EIN/AUS" (817) eingeschaltet werden.
2.2.1.2 NetzschaHer "EIN/AUS"
2.2.1.2 "ON/OFF" Power Switch
Durch Betatigen des Netzschalters (817) wird " By operating the power switch (817), the
UL 100 PLUS is switched on.
das gesarnte GerM in Betrieb genom men.
a
I~interrupteur
Der UL 100 PLUS beglnnt mit dem automatischen Hochlauf der Turbopumpe. Nach ca. 3
min ist der UL 100 PLUS betriebsbereit
Hlnwel8
Bei der Erstinbetriebnahme "bzw. nach IAngerer Stillstandszeit kann as zu einer Oberschreitung dieser Hochlaufzeit kommen. Die FehlerIndikator LED blinkt.
Durch emeutes DrOcken der Taste "START"
kann der Fah[er quittiert werdan.
Durch nochmalige Betatigung wird das Ger&t
abgeschaltet (siaha Abschnitt 2.5). Es nimmt
nach dem Hochlauf den gleichen Zustanc:l ain,
dan as bairn Ausschalten hatte (siehe Abschnitt 2.2.10)
2.2.1.3 Netzapannungsausgang fiir Zu..
2.2.1.3 Mains Outlet for AuxJllary Equip..
ment
satzgeriite
An der GerAtesteckdose (816) kann ffir Verbraucher niedriger Leistungsaufnahme (max. 1
A) die am Kombistecker (B/5) zugefuhrte
Netzspannung entnommen werden z. B. fur
den aUICKTEST aT 100 Heliumschnuffler.
a
as
Die Geratesteckdose (816) wird nicht Obar den
Netzschaltar vom Netz getrennl Sie fOhrt
stets die Netzspannung.
2.2.2 Tasten "START" und "STOPNENT"
Taste "START"
Nachdem der UL 100 PLUS mit dem Netzschalter eingeschaltet und der Hochlauf be-
Hlnwel8
a
17
___________________________ mm
endet 1st, erfolgt die waiters Bedienung mit der
Taste "START" (4124) und der Taste "STOP
I VENT" (4/2).
Durch kurzes OrOcken dBr Taste "START"
bi-Anzeige (413) angezeiglf bis der EinlaBdruck von Pe < 0,2 mbar 1st Bei diesem EintaBdruck wire! automatisch die Kombi-Anzeige
(4/3) so umgeschaJtet. daB anstelle des EinlaBdrucks die Leckrate angezeigt wird.
WAhrend 1m MeBbetrieb die Leckrate angezelgt wird. kann mit jedem weiteren Druck auf
die Taste "START" die angezeigte leckrate
auf einen evtI. angeschlossenen Drucker ausgegeben werden (PRINT ONLY-Betrieb siehe
Schnittstellenbeschreibung S8 10.207).
Taste· STOP I VENT"
Ausgehend yom MeBbebieb des UL 100
PLUS wird durch einmaliges kurzes OrOckan
der Taste "STOPNENT" (412) des Evakuie·
ran des PrOflings unterbrochen. Der UL 100
PLUS geht in den Stand-By-Zustand.
Oem Bediener wir:d dieser Zustand wie folgt
angezeigt
- Die angezeigte Leckrate wird ausgeblendet.
die lED's (413) sind aile aus.
- Die rot-grune Status-lED (4/1) erlischl
- Die Exponenten sind weiterhin slchtbar.
- 1m Service1eld wird aut der Status~ 1 Fehleranzeige (26/1) "STBY" angezeigt.
- Die LED-Zero (4/21) leuchtel
Nach dem Drucken der Taste "STOPNENT"
(412) ertolgt ein Selbstabglelch des Ul 100
PLUS. Hierbei wird d~r gerAteinteme Heliumuntergrund und die elektrische Nullpunktverschiebung bestimmt
Durch langeres OrOcken (mindestens 2 s) der
Taste "STOPNENT" (4/2) wird die Funktion
VENT (Fluten) arreicht Das Flutventil V3 wird
geOffnet Der PrOfIing wird hOrbar geflutel
Dieser BetriebszuBtand wird durch rotes Auf[euchten dar Status-LED (4/1) gemaldel Die
LEOs der Kombi-Anzeige (413) sind aile aus.
Das Flutventil V3 kann wieder geschlossen
werden durch
- nochmaliges ONckan der Taste "STOPI
VENT". Dar UL 100 PLUS geht in den
Standby-Zustand oder
- Taste "START" (4/24) drucken.
Dar UL 100 PLUS geht in den MeBbetrieb
zurUck.
Venting valve V3
2.2.3 Wertelngab&oTasten
Nach Bet!tigen einer Multifunktionstaste kOnnen Qber die Werteingabe-Tasten (4/19) und
(4/6) Parameter ins Gerat eingegeben werden.
Zum Beispiel kann nach vorherigam Betatigen
der Multifunldions-Taste "Akustisches Signal"
(4/16) die Lautstarke des akustischen Signals
eingestellt werden.
Hlnwels
Mit den Werteingabe-Tasten (4/19) und (4/6)
kann nur die Funidion beeinfluBt werden, die
jeweils auf einer der Multifunktions-Tasten
vorgewflhlt uoo Qber eine LED angezeigt wird.
wird ein angeschlossener Pnifling evakuiert,
gleichzeitig leuchtet die Status-LED (4/1) grOn.
Der fallende. EinlaBdruck PE wird auf der Kam-
18
~----------------------~Die Werteingabe wird durch DrOcken dar Taste (4/19) vergrOBert und durch Dnlcken dar
Taste (416) verkleinert. SiB wird erst mit
DrQcken dar Taste Eingabe-Ende "ENTER"
(4/l3) abgeschlossen und damit wirksam.
2.2.4 MeBberelchswahl-Taste
2.2.4
"Automatlk"/"Triggerloglk"
Durch Beta.tigen dar Taste MeBbereichswahl
"Automatik" (4118) wl!h~ der UL '00 PLUS
• Automatlc"rTrigger logic"
Als Sonderfunktion wird clie Taste bel dar Programmierung dar Trigger zur Umschaltung
zwischen Normal- und Invers-Betrieb verwendet (slaha Abschnitt 2.2.8.2).
2.2.5 MeBberelchswahl·Ta81e "Hand"
automatisch den richtigen Me13bereich und
zeigt diesen auf dar Kombi-Anzeige (413) an.
Urn den jeweiligen Prof· bzw. MeBvorgang ohne VerzOgerungen durchfOhren zu kOnnen,
empfiehlt BS sieh, den UL 100 PLUS auf
Automatikbetrieb einzustBUen.
ua'"
Bei Verwendung der Option Teilstrompumpsatz kann mit Hitfe der Taste "HAND" und
der Werteingabetaste (416) manueU in den
empfindlichsten MeBbereich (ULTRA) geschaltet werden. (Sieha Abschn~ 2.4.7.1).
2.2.& Nullpunkt-Taste -Auto-Zero"
2.2.6 Pushbutton "'Auto Zero·
2.2.& Touche de remise
zero"
1m MeBbetrieb wircl eine stOrende konstante
Untergrundanzeige durch einmaliges Betatigen
dar Nullpunkt-Taste (4/14) untercirOckt.
Ab Softwareversion V3.4 wirkt die Nullpunkttaste zusatzlich auf die TriggerausgAnge
(Abschnitt 2.2.8) und auf die Analog·
Spannungs·Ausgange (Abschnitt 2.2.13.6).
Die leckraten-Anzeige wird automatisch auf
Null gesetzt und die Null·lndikator lED (4/21)
blinkt.
Befindet sich der angezeigte Helium-Untergrund in der unteren Dekacle, so wircl der
MeBbereich eine Dekacle empfindlicher gewAhIt Ein Umschalten in empfindHchere MeBbereiche ist nun nicht mehr mOgHch. Ein Absinken des Untergrundes wird durch eine gleitende Untergrundbestimmung korrigiert.
Durch nochmaliges Beta.tigen der NullpunktTaste (4/14) wird die Funktion aufgehoben,
ein eventueller Untergrund wird wieder als
leckrate angezeigt
2.2.7 MuHlfunktlons-Taste "Akustlsches
2.2.7
Durch das Betatigen dar MeBbereichswahlTaste "Hand" (4/8) wird das automat AuswAhlen .des richtigen MeBbereiches abge-
schahet Der MeBbereich muB Dber die Werteingabe-Taste (4/19) u. (416) eingestelJt werden und kann an den Exponenten (4/4) bzw.
(4/5) abgelasen werclen. Durch eine in der
MeBbereichswahl-Taste "Hand" vorhandene
lED (4n) wirel diese Funktion angezeigt.
Signal
lO
rate.
Multl~Functlon
stic SignaI'"
a zero "auto-
a
Die Betatigung dieser Taste und ihre Funktion
kOnnen in allen Betriebsarten eOOlgen.
Mit der Multifunktions-Taste .. Akustischas Signal" (4/16) kann die lautstarke bzw. der Ein·
Hlnwels
19
gen Skalenwert eingestellt werden. Der eingesteltte Einsatzpunkt wird wAh rend der Einstallung auf der Kombi-Anzeige (4/3) angezeigl
Die leuohtenden LED's auf der Kombi-Anzelge (413) geben den Bereich an, in dam das
akustische Signal aktiviert ist
Durch zweimaJiges Betatigen dar Multifunk-
tions-Taste "Akustisches Signal" (4/16) leuch-
satzpunkt der LautstArke eingesteltt werden,
indem die jewells gewAhlte Funktion uber die
Werteingabe-Taste (4/19) oder (4/6) geAndert
wird.
Durch einmaliges Beta.tigen der MuttifunktioosTaste "Akustisches Signal" (4/16) leuchta! die
Einsatzpunkt-LED (4115). Der EinsBtzpunkt
des akust Signals kann mit Hilfa der Wertsingabs-Taste (4119) oder (4/6) auf jeden beliebi-
tel die Lautstarke LED (4/17). Ober Werleing8be-Taste (4/19) oder (4/6) kenn in diesem
Fall die Lautstarke des akustischen Signals
geAndert werden. Die Intensttlit wird durch
Aufleuchten der LED's (413) von unten nach
a
aben angezeigt.
Die Eingabe muB mit der Taste fOr EingabeEnde "ENTER" (4/13) ebgeschlossen werden. Die Einstel1ung kann durch nochmaliges
DrUcken oder zweimaliges Drucken der Taste
(4/16) abgebrochen werden.
2.2.8
Multlfunktlons-Taste "Trigger und
Kallbrlerung"
Hlnwels
Die BetMigung der Taste kenn aus dem
Stand-By und dem MeBbetrieb erfolgan.
2.2.8
Noto
2.2.8
Touche muhlfonctlon "trigger et
callbrage"
2.2.8_1 Funktlon "Trigger 1 und 2" Nor..
mal
Mit Hilte dar Funktionen "Trigger 1 und 2"
wird bei Erreichen einer bestimmten Leekraten-HOhe je ein potentialfreier Kontakt an
der Multilunktions-Schnittstelle geschahat
2.2.8.1 '"Trigger 1 and Trigger 2 10 Normal
2.2.8.1 Fondlon "t,rlgger 1 et 2" normale
Die Ausgo1nge "Trigger 1" und "Trigger 2" an
der Multifunktions-Schnittstelle (siehe Abschnitt 2.2.13.2) stehen dem Benutzar des UL
100 PLUS zur lreien VerfOgung.
Las sorties "trigger 1" at "trigger 2" de l'lnter
Die HOhe des Leckraten-Wert_BS, bei der die
potentialfreien Kontakte am MultifunktionsSchnittstelle geschaltet werden, ist vom Benwer lrei vorwflhlbar.
Dazu muB die Funktion "Trigger 1 oder 2"
durch ein- bzw. zweimaliges Drucken der Multifunktions-Taste "TRIG I CAL" (4/11) vorgewAhIt werden. Dies wird durch die LED's
(4/9) oder (4/10) angezeigt
Mit Hilfe der WerteingalJ&.Tasten (4/19) und
(4/S) kann die Triggerschwelle beliebig in der
GroBe geandert werden. Der eingegebene
Wert wird fOr die Dauer des Einstellvorganges
durch die Position einer Einzel-LED auf der
Kombi-Anzeige (413) zusammen mit dem Exponenten dargestellt
Die Eingabe muB mit der Taste fOr EingabeEnde "ENTER" (4/13) abgeschlossen werden. Die Triggereinstellung fOr Trigger 1 kann
durch 3maliges DrOcken der Taste "Trigger
und Kalibrierung" (4/11) und fUr Trigger 2
durch 2maliges Drucken der Taste "Trigger
und Kalibrierung"(4/11) abgebrochen werden.
L'introduction doit we terminee avec la touct
"ENTER" (4/13). Pour interrompre Ie regiS{
des triggers, actionner 3 fois la touche "trigg
et calibrage" (4111) pour Ie trigger 1, at 2 fc
pour .Ie trigger 2.
20
mm __________________________
2.2.B.2 Funktlon -Trigger 1.u. 2- Invera
Die Funktion der Trigger laBt 51ah auch urn-
kehren. Wie BUS Tabella' erkennbar. werden
in der inversen Funktionsweise nur tatsAchlich
a1s unterhalb der Leckraten-Triggerschwelle liegend gemessene PrOflinge a1s akzeptabel
gemeldet GerAte1ehler kOnnen nicht a1s scheinbar dichte Pniflinge interpretiert werden.
etre
Diese Betriebsart arkennt man durch inverse This operating mode is indicated by an invertDarstellung in der LEo-Zeile (4/3). In dieser ed display of LED display (413). In this mode
Darstellung leuchtet die LED des Triggerwertes the LED for the trigger value does not Ught up.
nicht. Die AusgAnge arbeiten dann nicht als . The outputs then operate as n.c. contacts.
SchlieBer sondem ala Offner. Die Relais- The status of the relays is given in Table 1.
Schaltzusla:nde siaha Tabella 1.
Wird bei der Triggereinstellung die Taste "AutomatikITriggerlogik" (4118) gedrOckt, 8rfol91 aine Umkehrung der Triggerlogik. Die KombiAnzeige (413) und die Ausgfmge fOr Trigger 1
und ,2 an dar Multifunktions-Schnittstelle (siaha
Absch. 2.2.13.2) werden invertiert.
Tabella 1 Triggerrelais
Gerttezustand
1 GerAt ausgeschaJtet 1 ausgefallen
Funktion Normal
Relais: 1x EIN
Kontakt offen = ACCEPT
Funktion Invers
Relais: 1x EIN
Kontakt offen = REJECT
Relais abgefallen
Kontakt offen: "ACCEPT"
Relais abgefallen
Kontakt offen: "REJECT"
2 Kabelbruch
Kontakt offen: "ACCEPT"
Kontakt offen: "REJECT"
3 GerAt eingeschaJtet Hochlauf.
Relais abgefallen
Kontakt offen: "ACCEPT"
Relais abgefallen
Kontakt offen: "REJECT"
4 GerAt eingeschaJtet Normalbetrieb
Leckrate < Trlggerschwelle
Relais abgefallen
Kontakt offen: "ACCEPT"
Relais angezogen
Kontakt geschlossen: "ACCEPT"
Relais angezogen
Kontakt geschlossen: "REJECT'"
Relais abgefallen
Kontakt offen: "REJECT"
Function Normal
Relay: 1 n.o. contact
Contact open = ACCEPT
Relay de-ene~zed
Contact open: ACCEPT"
Relay de-ene~zed
Con1aCl open: REJECT"
Leckrate > Triggerschwelle
Table 1 Trigger relay
Equipment status
2 Cable breakage
Relay de-energized
Contact open: "REJECT"
•
Relay de-ene~zed
Contact open: ACCEPT"
Relay de-enerq!zed
Contact open: REJECT"
1 Appareil arrete I en panne.
2 Rupture de eBble
3 Appareil en circuit Montee en regime.
AppareiJ en circuit Service normal
taux de fuits < saull trigger
leak rate > trigger level
Tableau 1 relais triggers
Etat de I'appareil
•
21
--------------------------~
2.2.8.3 Sonderfunktion Trigger 1 und 2
(Geritezustand)
2.2.8.3 Fanation speciale triggers 1 et 2
. (etal de I'apparell)
Stormeldung
Zurn Einstellen diesar Sonderfunktion der Trigger 1 und 2 mussan die Trigger durch
DrQcken der Taste .. AutomatikITriggerlogik"
(4/18) invers geschaltet werden.
(4118).
1m Inversmodus kann 'Trigger 1 die Funktion
als Sttlrmeldung Obernehmen.
In the inverted mode trigger 1
error monitoring.
Bedingung hierlOr ist. daB mit der Werteinga·
be-Taste (4/19) der invertierte Trigger in ainen
Bereich eingesteUt wird, in dam keine Leckrate
angezeigt werden kann. z. B. > 1'109
mbar·,·s·l (Plus Exponent). Die Eingabe muB
mit Taste "ENTER" (4/13) bestAtigt werden.
Bei -ainer Fehlermeldung wird der Kontakt 10
und 11 an der Multifunktions·$chnittstelle (siehe Absch. 2.2.13.2) geoffnet. Somit ist durch
externe Beschaltung aine Fehlermeldung mOgHch.
Bereitmeldung
Zum Ein'stellen dleser Sonderfunktlon der Trigger 1 und 2 mussen die Trigger durch
DrOcken der Taste n AutomatiklTriggerlogik"
(4/18) lnvers geschaltet werden.
1m Inversmodus kann Trigger 2 die Funktion
als Bereitmeldung Obernehmen.
Bedingung hierfOr 1st, daB mit der Werteingabe-Taste (4/19) der invertierte Trigger in einen Bereich eingestellt wird, in dem keine
Leckrate angezeigt werden kann, z. B.
> 1'10 9 mbar'I's-1 (Plus, Exponent). Die Eingabe,muB mit Taste "ENTER" (4/13) bestatigt
werden. Die Bereitmeldung erfolgt nach
Geratehochlauf und erfolgreich eingeschalteter
Emission.
In dieser Einstellung wird der Kontakt 12 und
13 an der Multifunktions-Schnittstelle (siahe
Absch. 2.2.13.2) geschlossen. Somit ist durch
elCterne Beschaltung eine ROckmeldung der
Betriebs- bzw. MeBbereitschaft mOglich.
Hlnweis
Wird nur eine der Sonderfunktionen 'genutzt,
kann der andere Relaiskontakt weiterhin als
inverser Triggerkontakt benutzt werden.
2.2.8.4 Funktion "Kallbrierung"
Die Multifunktions-Taste "TRIG I CAL" (4/11)
bzw. LED (4/12) dient zum Ermitteln des Kalibrierfaktors fOr eine quantitative LeckratenAnzeige. 1m einzelnen richtet sich ihre
Wirkungsweise danach. ob ein intemes oder
externes Testleck benutzt wird. Siehe Abschn.
2.6.2 und 2.6.3.
Die Funktion wird durch dreimaliges kurzes
DrOcken der Taste (4/11) und anschlieBendes
DrOcken der Taste "ENTER" (4/13) aktiviert.
Nach jeder Eingabe bestimmter Werte aber
die Werteingabe-Taste (4/19) und (4/6) muB
die Eingabe durch DrOcken der Taste fOr Eingabe·Ende "ENTER" (4/13) beendet werden.
Erst dann ist der UL 100 PLUS in der Lage,
die neuen Werte zu verarbeiten.
Die Taste dient auBerdem als Bestatigung fOr
die AusObung des Kalibriervorgangs.
2.2.9
22
Taste fUr Eingabe-Ende "ENTER"
(4118).
2.2.9
~--------~--------------2.2.10 Permanenter ParameterspelCher
In der Initialisierungsphase des UL , 00 PLUS
wird getestet, ob die letzte parametereinstel·
lung noch gespeichert ist. Normalerweise
Obernimmt der UL 100 PLUS aile Einstellun·
gen, die vor dam Ausschalten des Netzes programmiert wurden. Sonte ain Verlust-der letz-
ten Parameterdaten vorliegen, z. B. durch
Versagen der Puffer·Batterie, wird eine
Grundeinstel1ung vorgenommen:
LautstArke
5/8 des Maximalwertas
Einsatzp. des Lautspr.
ab LED 0
9600 baud
normal
active
disabled
Der Parameterverlust wird durch die Fehler·
meldung "ER10" angezeigt
2.2.11 Gasballastventil
Das Gasballastventil der im UL 100 PLUS
eingebauten VOlVakuumpumpe ist von auBen
zu bedienen. Dazu Tragegriff (9/4) herausziehen und die Abdeckung (7/3) abnehmen.
Oer Batatigungshebel (913) kann dann zum
Offnen des Gasballastventils zum Bediener
hin geschoben werden. Das Ventil sollte mehrare Minuten geOffnet bleiben. Das Gasballastventil ist geschlossen, wenn der Betatigungshebel (9/3) an der Vorvakuumpumpe·
anliegt.
Hlnwels
Das Gasba!lastventil muB zum Transport immer geschlossen werden.
Trigger 1
Trigger 2
1'10.10 mbar+s"
10-10.3 mbar+s"
CAL-Faktar
mittlere Empfindlichkeit
Baudrate
Triggertogik
9600 Baud
Normal
aktiv
inaktiv
AUTORANGE
Schlussell bis 6
Baud rate
Trigger logiC
a
a.
a
a
Erliiuterungen zlAr Abb. 9
,
Lecksucl!·Modul
2 OlelnlaBscl!raube
3 BeUUigungsllebel Gasballastventll (gaschtossen)
4 Tragegrlll
Key 10 FIg. 9
1 Leak detection module
OIl·lnfel screw
3 Acluatlng lever lor gas ballast valve (closed)
4 Handle
3 -_ __
2
2---
Abb.9 Betiitigungshebel Gasballsslventll
Fig. 9 Actuating lever for gas ballast valve
Fig. 9 Levier de commande dlA robine! de lasl d'air
Abb.lFig.9
23
Erliuterungen zur Abb. 10
1 TestanschluB
2 Innensechskantschreube
3 Zusat.:llansch
.. Lecksuch·Modul
Key to FIg.. 10
1 Test connection
2 Hel( screw
3 Supplementary lIange
.. Leak detection module
Legende de la fig.. 10
1 Aaccord test
2 Vis sil( pans creul(
3 Raccord test lateral (addltlonnel)
4 Module-detecteur
a
AbbJFlg.10
2.2.12 TestanschluB
Der UL 100 PLUS verfOgt neben dam normalen TestanschluB (10/1) aber einen Zusatzflansch (10/3). Er dient zum AnschluB des
Teilstrom-Pumpsatzes (Option). Ferner besteht die MOglichkeit ihn ebenfalls als TestanschluB lU benutzen, wenn ar aus GrOnden der
PrOflingsgeomelrie besser zuganglich ist. Oazu
muB der TestanschluB (10/1) mit einem Blindflansch verschlossen werden.
Dann vier Innensechskantschrauben (11/6)
ausschrauben und Blindplatte (11n) mil den
FIOgelschrauben herausdrOcken.
Dar Zusatzflansch (10/3) ist im Lieferumfang
enthalten; ar kann nun einschlieBHch der 2ugeharigsn Dichtung mit vier Innensechskantschrauben (10/2) angeschraubt werden.
2.2.13 Zusatzllche Bedieneinrlchtungen
Der UL 100 PLUS verfOgt Ober vier zusatzliche Bedieneinrichtungen:
- SchlDsselschalter
- Kopfhorer-AnschluB
- Multifunktions-Schnittstelle
- SchloB fOr Umhangekette
a
a
a
Erliuterungen ~ur Abb. 11
1 Bedlen·Elnholl
2 Schlllssalschalter .:ur Verrlegelung von
PrUlprogrammon
3 1(0plh<Srer·AnschluB
4 SchloB IIIr Umhangekotte
5 Auslrltt akustisches Signal
8 Innensechskantschrauben
7 Blindpialle IIIr TestanschruB
8 Multifunklions·Schnlttstena hinter der I(lappa
5
~-----------------6
--------7
------------------8
AbbJFig. 11
24
Abb. 11
Fig. 11
Fig. 11
Bedieneinheit und TestanschluB
Remote control unit and lest connection
Unite de commando el raccords test
mm __________________________
2.2.13.1 SchlOsselschalter
An de( Bedieneinheit <11/1) vom UL 100
PLUS 1st seitlich sin Schlusselschalter (11/2)
angebracht.
Mit sechs verschiedenen SchWsseln lassen
sich PrUfprogramme und Betriebsarten sin-
- La DEL indicateur de zero (4/21) clignote 6x
Bairn Ausschalten des UL 100 PLUS werden
die Eingaben, die Ober die SchlOsselfunktionen
1, 2 und 6 eingegeben wurden, abgespeichert,
d.h. beim Wiedereinschalten erscheinen wieder die Zustande, die mit diesen SchlOsseln
eingegeben wurden.
Die Funktionen, die mit SchlOssel 3, 4 und 5
eingestellt waren, werden beim Ausschalten
nicht abgespeichert. Die Funktionen' der
SchlOssel im einzelnen.
SchlUssel Nr. 1
SchlOssel Nr.1 verriegelt und entriegelt die
Benutzung der Multifunktionstaste "Trigger
und Kalibrierung" (4/11), um z. B. unbelugte
Anderungen der eingestellten Kalibrierung und
Triggerwerte zu verhindern.
Schliissel Nr.2
SchlOsser Nr.2 verriegelt und entriegelt Trigger, Kalibrierung, Hand, Auto und die Werteingabetasten.
SchlOssel Nr. 3
SchlOssel Nr. 3 wird nur in Verbindung mit
dem Teilstrompumpsatz (Abschnitt 2.4.7.1)
verwendet.
SchlUssel 3 ermOglicht bei automatischer
Mel3bereichswahl die Umschaltung von FINE
nach ULTRA. Hierbei wird das ext. Teilstromventil geschlossen und der Lecksucher arbeitet mit der maximalen Empfindlichkeit.
Die Umschaltung kann nur erfolgen, wenn der
Einlal3druck p = 0,2 mbar unterschreitet.
Das Umschalten von ULTRA nach FINE ist
nicht mOglich.
Schliissel Nr. 4
SchlOssel 4 ermOglicht die Lecksuche am Rezipienten mit eigener Vorvakuumpumpe ohne
Verwendung des UL 100 PLUS-Pumpmoduls
(6/5). Dazu 1st die Vakuumkupplung des Lecksuchmoduls (613) mit einem Blindflansch zu
versehen und der Rezipient mit einem der
TestanschlOsse zu verbinden.
stellen.
Aktlvieren:
• Entsprechenden SchlQssel in den Schlitz des
Schlusselschalters (11/2) der Bedieneinheit
(11/1) bis zum Anschlag einschieben.
• Taste "ENTER" (4/13) betatigen.
- Zero-Indikator LED (4/21) blinkt 3x lang.
• Schlussel abziehen.
Loschen:
• Entsprechenden SchWssel in den Schlitz des
SchlOsselschalters (11/2) der Bedieneinheit
(11Jl) bis zum Anschlag einschieben und
anschlieBend Taste "ENTER'" (4/13)· beta-
ligen.
- Null-lndikator LED (4/21) blinkt 6x kurz.
- SchlOssel abziehen.
a
a
a
a
a
a
a.
a
a
25
Urn in den Zustand "Betrieb ohne eigene Vorpumpa" zu gelangen, muB vcr dam Einschalten des UL 100 PLUS der SchlOssel NT. 4 gasteckt saln.
.
Dlase Lecksuchbetriebsart setzt voraus, daB
von Pe < 0,2 mbar herrscht
Nach dam Hochlauf kann im Zustand "STBY"
der Schl0ssel NT. 4 wieder entfemt werden.
In der Betriebsart des UL 100 PLUS ohne
Zur Wiederaufnahme des Leeksuchbetriebes
ohne Pumpmodul ist in diesem Fall das UL
100 PLUS-Lecksuchmodul auszuschalten und
dann erneut mit eingestecktem SchlOssel Nr.
4 in Beuiab zu nahmen.
SchlUssel Nr. 5
'SchlOssel Nr. 5 ermoglicht das Messen von
Leeks bei einem EinlaBdruck von PE < 100
mbar mit einer beliebigen externen Vorpumpe.
Der UL 100 PLUS ist somit in der Lage, ein
Autoranging far MeBwerte von 10 mbar+s"
bis 1'10.9 mbar+s-1 durchzufOhren, in AbhAngigkeit vom SaugvermOgen der Vorvakuumpumpe.
Zur Aktivierung den SchlOssel Nr. 5 in den
SchlUsselschlitz der Bedieneinheit stacken und
im STBY·, VENT- oder MEAS-Mode des UL
, 00 PLUS die Taste "ENTEW drOcken.
Diese Funktion kann durch erneutes Aufrufen
wieder aufgehoben werden. Danach geht der
UL 100 PLUS in den STAND-By-Zustand.
Mit dam Abschalten des UL 100 PLUS (Netzschalter (917) auf Stellung "AUS") wird diese
Funktion aufgehoben und nicht gespeichert.
Far den Einsatz in automatischen PrCtfsystemen braucht der SchlOssel Nr. 5 nur gesteckt
sein, da er direkt nach dem Einschalten automatisch registriert wird.
Be; Verwendung des Standard-Teilstrompumpsatzes darf der SchlOssel Nr.. 5 nicht ak·
tiviert werden, da ansonsten das Teilstrom·
ventil nicht angesteuert wird.
Bei aktivem SchlOssel 5 kann der Rezipient
nicht durch den UL 100 PLUS geflutet wer·
den.
SchlOssel Nr. 6
Der SchWssel Nr. 6 ei moglicht den SchnOffel·
belrieb.
am TestanschluB wahrend der gesamten
Betriebsdauer des UL 100 PLUS sin Druck
Pumpmodul sind die Ventils Vl und V2 immer
geoffnet, vorausgesetzt, der EinlaBdruck ist
< 0,4 mbar.
Der Zustand "STANO-BY" unterscheidet sich
vorn Zustand "MEAS" dadurch, daB die Leekratenanzeige ausgescha/tet ist. Oberschreitet
der Einla1k1ruck den Wert 0,4 mbar. wird Vl
automatisch
geschlossen.
die
abgeschaltet und auf dam Statusdisplay die
Fehlermeldung "ER01" (max. Vorvakuumdruck Oberschritlen) angezeigt
26
a
Der Flutvorgang des Ul 100 PLUS kann nicht
eingeleitet werden.
mm __________________________
Oer SchlQssel Nr. 6 kann wahrend des Hochtaufs, 1m Stand-By-Betrieb und baim Fluten
Zur Aktivierung SchlOssel Nr. 6 in den
SchlOsselschlitz der Bedieneinheit (11/1) 8instecken und die Taste "ENTER" (4/13)
drOcken.
Taste "START" (4/24) drOcken.
Operate "START" (4/24).
Actionner la touche "START" (4/24).
Der EinlaB wird 8vakuiert. Bairn Erreichen des
EinlaBdruckes PE'" 0,2 mbar schaltet der UL
100 PLUS in den SchnOffelbetrieb. Die Sta-
gesetzt werden. Bairn Hochlauf mull die
Schlusselfunktion nicht mit Taste
"ENTE~"
bestatigt werden, da der Schlossel automa-
tisch registriert wird.
tusanzeige (26/1) im Servicefeld zei9t "SNIF"
an,
Bei aktiviertem SchnOffelbetrieb ist der UL
100 PLUS nach dam Hochlauf sofart mel'3bereil. Der Sland-By·Setrieb entMilit und die Taste .. STOPNENT" ist vemiegelt.
Hlnweis
Wird der Einlalklruck nicht innerhalb von 2
min erreicht, erlolgt auf der Statusanzeige
(26/1) im Servicefeld die Fehlermeldung
ER21.
Zum Ausstieg aus dem SchnOffelbelrieb:
- SchlOssel Nr. 6 in den SchlOsselschlitz der
Bedieneinheit stecken und die Taste REN·
TER w (4/13) drOcken,
- Der UL 100 PLUS geht in den Stand'ByBetrieb.
2.2.13.2 Multlfunktions·Schnittstelle
Unler der Bedien·Einheit (11/1) befindet sich
eine Klappe (11/8), auf deren Ruckseite sich·
drei Buchsen befinden:
- Multifunktionsschnittstellej 25pol. (12/1)
- Recorderausgange; 6poJig (12/2)
- Relaisausgange; 9polig (1213)
Es stehen analoge Spannungsausgange fUr
Leckrate und Mel3bereich-ldentifikation sowie
potentialfreie Relaiskontakte fUr die beiden ein·
stellbaten Triggerschaltpunkte zur Grenzwertmeldung von Leckraten zur VerfOgung. AuBerdem ist eine serielte Computer·Schnittstelie
V.241RS 232 C standardm. eingebaut. Damit
ist der UL 100 PLUS fOr den Anschlul3 von
Registriergeraten, z. B. Schreibem und
Druckem ausgerOstet. Die genaue Belegung
der Multifunktions-Schnittstelle (12/1) ist den
Erlauterungen der Abb. 13 zu entnehmen.
a
(4113),
a
Erliiuterungen lur Abb. 12
1 Mullilunktions-Schnittstelle
2 Recorderausgang
3 Relalsausgang
MULTIFUNCTION
13 12 11 10
(0
0
\0 0
0
0
0
9
0
0
8 7
0
0
6
0
0
0
0
5
4
0
0
0
0
3
0
0
0
1
2
0
0,.)_ __
0/
25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 15 14
RELAY-OUTPUT
RECORDER
r----2
Abb.12
Anordnung der MulUlunktlons·Schnlttslelle
hlnler der Klappe (11181
Fig. 12 Location 01 the multl·functlon Interlaces
behind the !lap (11/8)
Fig. 12 Position de l'lnlerlace mul!iluncllon derriere fe
clapet (1118)
OUTPUT
'--------3
Abb. !Fig. t 2
27
----~------~---~
Erliuterungen zur Abb.13
1
frel
2
3
415
6
frel
DSR
13 12 "
0
10
9
0
8 7
0
0
8
0
0
5
0
4
0
3
0
2
0
~o 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0)'
25 24 23 22 21 20 19 18 17 18 15 14
7
819
GNO
,
7
11
12
Trigger 1 (Relals·Ausgtinge
Trigger 2 (Relals·Ausgiinge
11
12
Trigger 1 (Relay outputs)
Trigger 2 (Relay outputs)
15
HI
11
18
Bezugsmasse IIlr 14
24 V Verso fUr 17
Teilstromventil RlIckmeldung
PumpenlFluten
(Fernsteuerung)
StandBy/FlutenFernsteuerung)
frel
~~Z~&1~nads~;rumpen I Flu·
Leckratenslgna'
:V~~~trICh.::~.~!'i .(Exponent)
9V = 10'Wmbar+s·1
ElnlaBdruck (PI!I)
Bezugsmasse \L.eckratenslgnal
lMe8berelch·Slgnal
.
15
16
17
18
22
23
24
25
Fig. 13 Sortie mullilonclion
415
6
GNO
19
20
21
Abb.13 Mulillunkiions-Ausgang
Fig. 13 Multl·functlon output
415
6
7
~~ §~~uge~~~J~~lf~1;~~~~~~lye)
1
0)
Litgende de 101 fig. 13
1
Llbre
2
RXe
DSR
GNO
~~ ~r~~~::~~lals'AUSgtinge!
\.0 0
2
3
~~
19
20
21
22
23
24
25
~~fr:i ~!~1!f~,g~te~::!
10
11
12
13
14
~~
17
18
t9
20
21
22
23
24
25
TXD
~e~::ndUef~~~rcirur 14
Robinel
Evacuer/remellre I'alr
(telecommande)
Stand·by/remaUre 11
I'alr(telecommande)
Llbre
Masse de reference (evacuerf
remellre l'airfStand·by)
Signal helium
Signel gamme de mesure Ifx,
~~s~nlh~YK':n'bO~r.rs~fl"'s· ,
Pression d'admlsslon (pe)
Massa de reference (signal
taux de lulie/signal gamme de
mesure)
a
a
ONLY.
z'usatzAch zu diesar Multifunktions-Schnittstelle befindet sich parallel sine Spoi. Schnittstellenbuchse (1213) auf der. "OChmars die vier
RelaisausgAnge und die RecorderausgAnge
geschaltet sind. Entsprechende Steckerbelegung siehe Abb. 14. Der separate Recorderausgang (12/2) liegt 8uch parallel zu den beiden vorgenannten Schnittstellenbuchsen. Entsprechende $teckerbelegung siehe Abb. 15.
2.2.13.3 Trlgger·Ausgange Trigger 1 +_,2.
Zur extemen Ansteuerung von Grenzwertmel·
dern z. B. "GUT" I "SCHlECHT"·Anzeigen
sind 2 Triggerausgange (siehe Abschnitt
2.2.8.1) vorgesehen als potentialfreie Relais·
kontakte. Zur Programmierung und Funktion
der Trigger-AusgAnge siehe Abschnitt 2.2.8.
Die Relaiskontakte sind herausgefUhrt auf der
Multifunktionsbuchse und der. Relais·Aus·
gangsbuchse mit folgender Belegung:
Standarcl·loglk (Funktlon Normal)
Multifunktions-Schnittstelle (1211) bzw'.Abb13:
PIN Nr. 10 und 11 schliel3ender Relaiskontakt von Trigger 1
PIN Nr. 12 und 13 schliel3ender Relaiskontakt von Trigger 2
Relaisausgang (1213) bzw. Abb 14:
PIN Nr. 2 und 3
schliel3ender Relaiskontakt von Trigger 1
PIN Nr. 4 und 5
schliel3ender Relaiskontakt von Trigger 2
Waiters Beschreibung der einzelnen Signale
fur die serislls Computer-$chnittstelle (1211)
sowie Beschreibung der Betriebsarten REMOTE und PRINT ONLY siehe Schnittstellenbeschreibung S8 10.207.
RELAY-OUTPUT
5
4
3
2
1
~oOoOoOo'l
9
8
Abb.14 Relalsausgang
Fig. 14 Relay oulput
Fig. 14 Sortie de relals
28
7
6
ErUiuterungen zur Abb. 14
1 nicht belegen
2 Trigger 1 (Relals.Ausgange)
a Trigger t (Relals·Ausgange)
4 Trigger 2 (Rel ..ls·Ausgtinge)
5 Trigger 2 (Relals·Ausglinge)
6 Leckretensignal
7 MeBbereich-Slgnal (Exponent)
8
9
OV=100 mbar+s-'.
QV = 10.10 mbar+s-'
EinlaBdruck (pe)
Bezugsmasse
(Leckratensignafl
Treppenspannung)
~------------------------Erlluterungen zur Abb. 15
1
2
3
Leckra,enslgnal (Exponent)
nlchl Delegen
Bezugsmasse
(Lackralenslgoal )
ElnlaBdruek. <Pel
Leckralenslgnal (Mantissa)
nlchl belegen
Legende de Ie fig. 15
5
Leak rale signal (mantissa)
5
Sigoilll,au_ de tulte (mantlsse)
6
do not usa
6
Libras
1
Slgnallau~
2
3
Libras
Masse de reference
(signal helium)
..
RECORDER
defulte (e_posant)
,0
'0
,0
OUTPUT
Abb.15 Reoorderallsgang
Fig. 15 ReCOrder output
Fig. 15 Sortie enreglstreur
Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen,
wenn dar UL 100 PLUS aine graBere a1s die
eingestellte leckrate feststeUt
Inverse-Logik (Funktion Invers)-·
Muitifunktions-Schnittstelie (12/1):
PiN Nr. 10 und 11 schlieBender Relaiskontakt von Trigger 1 I Starmeldung
PIN Nr. 12 und 13 schlieBender Relaiskontakt von Trigger 2 / Bereitmeldung
Fur Relaisausgang (12f3) PIN Nr. 2 und 3 sowie PIN Nr. 4 und 5.
Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen,
wenn der UL 100 PLUS eine kleinere als die
eingestellte Leckrate feststerrt In allen anderen
Betriebszustanden ist er geOffnet
Hinwels
Die Triggerausgange sind fUr eine Spannung"
von max. 60 V und einen Strom von max. 1 A
ausgelegt
2.2.13.4
2.2.13.4
2.2.13.4
a
Zur Ansteuerung des als ZubehOr 1m Teilstrom-Pumpsatz (siehe Abschnitt 2.4.7.1) enthaltenen externen Teiistromventils sind 101gende Buchsenkontakte vorgesehen- (Multifunktionsschnittstelle (1211):
PIN Nr.14 Ventil-Steuersignal-Ausgang (OV
"ZU", 24V "AUF")
PIN Nr.15 Bezugsmasse fUr Nr. 14
PIN Nr.16 24V-Versargung fur Nr. 17
PIN Nr.17 Ventil-Ruckmefde-Eingang (KurzschluB zwischen Nr. 16 u. 17 bedeutet Ventil vorhanden und ,geschlossen)
Tellstromventllansteuerung
Extern ::: External;; Externe
Remote cont.-GNO = Masse de reference
pour tel&c:ommanda
U 24V 16
!l
u
S
E
:::~i
N
21 (Remote cant .-GNO)
15
Abb.IFig. 16
29
----------~----------~--~
Abb.11 Ansleuerung dllrch Loglk oder SPS
Fig. 17 Rllmole conlrol via logic or PC
Fig. 11 i.lecommande par loglqlle au CP
U
L
1
0
0
P
19
L
U
21
0/24 V
5
Abb.lFlg.17
2.2.13.5 Fernsteuerung der Lecksuchfunktlonen
Die
Bedienungsfunktionen
der
Tasten
"STAAT" oder "STOP" kOnnen a1temativ
auch aber die Schnittstelle durch Logiksignate
(ca. 0 und 20... 35V) ausgelOsl werden. Dies
geschieht durch Kontaktsteuerung (Abb.16)
oder Steuerung aber SPS (Abb.17). Die
Zustandssteuersignale fOr die Stati: STBV,
VENT und MEAS werden zugefOhrt Qber die
PIN No. 18 Pumping/measuring
PIN
PIN
PIN
,PIN
o
Kontakte:
PIN Nr. 18 PumpenJMessen
PIN Nr. 19 Stand-By
PIN No. 19.5tandby
PIN Nr. 21 Bezugsmasse fOr Nr. 1S u. Nr.' 9
PIN Nr. 18 und 19 Fluten (bel gleichzeitiger
Betatigung)
Damit der UL 100 PLUS aber diese Fernbe·
dienung sicher von einem Zustand in den an·
deren wechsett. 1st aine Impulsdauer von
mindestens 500 rna 2U gewAhrieisten.
Spannung an:
Kontakt 19
Spannung an:
Status
Kontakt 18
OV
OV
0!:20V
OV
0!:20V
OV
!:20V
~20V
Local'
oSTBY"
"MEAS"
"VENT"
next.
Voltage at:
ContaCt 19
Voltage at
Contact 18
OV
2:20V
OV
OV
OV
2:20V
2:20V
~20V
No.
No.
No.
No.
a
OV
;::20V
OV
ii!!::20V
Etat
Locar
OV
OV
2:20V
;::20V
Bel local, dem Normalzustand des Ul 100
PLUS, lassen sich aile Tastalurlunktlonen Ilber
die Bedieneinheit wie bishar baschrleben benutten. Bellndet sich an einem odar beiden
Fernsteuereingangen eln Spannungspegel von
~20 V, dann wird der Zustand Local verlassen
und damit 1st die Funktion aller Tasten der Bedieneinheit unterdrllckt. Durch Ausnutzen dieser Eigenschaft laBt sich jegliche unerwQnschle Bedlenung von Hand ausschlleBen.
2.2.13.6 Analog-Spannungs-Ausginge
Zur Registrierung der gemessenen Leckrate
stallt der UL 100 PLUS zwei analoge Spannungsausginge (Ua"'O bis 10V, RL 2:2.5 kn)
zur VerfOgung:
Multifunktions-Schnittstelle (1211):
PIN Nr. 22 Analogausgang Leckratensignal
PIN Nr. 23 Analogausgang MeBbereichSSi-
PIN No. 23 Analog output range signal
m8Suli:
gnal
PIN Nr. 24 Analogausgang EinlaBdruck (Pe)
PIN Nr. -25 Bezugsmasse fUr Analogausgange
pu1S
30
a
Spannung
MantiSse
Spannung
Exponent
,.
•
•
IIIIIIIIII
IIIII
•
" " I I,
,
, •
• •
~-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-t-~-t-~-1
.,
. ..
• • •
0
2
3
4
2
3
4
3
4
0
5
8
8
7
8
7
-4
·10
7
0
10
2
V
mbar·Hr
V
mbar·I·s-1
Spannung = tension
Mantissa mantissa I mantissa
Exponent exponent I axposanl
Abb. 18 Leckralenslgnal am Recorderausgang
Flg. 18 Leak rate signal at the cllarl recorder output
Fig. 18 Signal de !aux de fulta la sorlie enreglstreur
=
=
a
Recorderausgang (1212):
PIN Nr. 5 Analogausgang Leckratensignal
PIN Nr. 1 Analogausgang MeBbereichssl-
PIN No.1 Analog output range signal
fuito
gnal
PIN Nr. 4 Analogausgang EinlaBdruck (Pe)
PIN Nr. 3
Bezugsmasse fOr Analogausgange
puts
Das leckratensignal teilt sich auf In Mantissa
und Exponent Die Analogspannung der Mantisse liefert' gOltige MeBwelte im Bereich von
, ,0 V bis 9,9 V pro Dekad8 (siehe Abb. 18).
Ab Soflwareversion V3.4 werden bei manueller Bereichswahl 2 Dekaden angezeigt
Dann liefert die Analogspannung der Mantissa
gOltige MeBwerte im Bereich von 0,1 V bis
9,9V.
Bei eventuel! auftretenden Storungen (z.e.
kurzzeitige Obersteuerung des Verstarkers)
wird die Spannung auf 10,6 V begrenzt
Der Exponent wird durch eine Spannungs·
Treppenstufe mit 0,5 V pro Dekade dargastellt
beginnendmit1 Vfiir1 E-10mbar·I·$'"1.
2.2.13.7 Analog-$pannungs-Ausgang fur
den ElnlaBdruck (Pe)
Der Analogausgang fOr den EinlaBdruck (Pe)
gibt den Verlauf des EinlaBdruckes wieder.
Der Ausgang liegt an PIN Nr. 24 dar Multifunktions-Schnittstelle (1211) und an PIN Nr. 4
des Recorderausgangas (1212). Siehe auch
Abschnitt 2.2.13.6.
Der Analogausgang fOr den EinlaBdruck (Pe)
between 1.0 and 9.9 V per decade (Fig. 18).
a
a
a
a
Pe /mbar
1E+03
1E+02
-
1E+01
V
l - I-"
1e+00
/.
1E-01
.
./
/
1e-02
1e-03
Abb.19 Analog-Ausgang I elnlaBdruck Pe
Flg. 19 Analogue output I inlel pressure Pe
Fig. 19 Sortie analoglque I pression d'admlsslon PE
1e-04
AbbJFlg.19
0
2
4
•
•
10
V
31
-----------'----~
liefert sine Ausgangsspannung von 0 bis lOV.
Dar Zusammenhang zwischen Spannung und
Druck ist 8US Abb. 19 ersichtlich.
Beispiel fOr Druck-Ausgabe:
AnaJog-Ausgang "" ',0 V ergibt
EinlaBdruck PE = ',0 '10.1 mbar
2.2.13.8 Kopfh6rer-AnschluB
Neben dam seitlich an dar Bedien-Einheit"
(11/1) eingabauten SchlCtsselschalter (11/2)
befindet sich ein KopfhOrer-AnschluB (1113).
Hier lassen sich Kopfhorer (Impedanz > 500
il) mit einem 3.5 mm Klinkenstecker anschlie-
NOIe
Ben.
2.2.13.9 Hal.kelte
Die Bedieneinhelt laBt sich mit Hilte siner
Halskette leieht am KOrper des UL 100 PLUS·
Benutzers tragen. Zur 8efestigung ist dar KettenschlUssel fest in die SchloBbohrung (11/4)
einzudrucken. Durch leichtes Verdrehan lam
sich dar KettenschlOssel wieder aus dam
SchloB herausziehen und die Katte entfemen.
2.2.13.10 Verblndung zwischen Bedleneln·
helt und Lecksuchmodul
Die Spiralleitung zwischen Lecksuchmodul
und Bedieneinheit laBt sich am Lecksuchmodul mittels einer im Leitungsbehalter vomandenen Steckvorrichtung trennen, um z. B. die
10m VeriAngerungsleitung (Kat-Nr. 165 43)
einzusetzen. Dazu ist zunAchst die Spiralleitung vollstandig aus dem Leitungsbehalter und
der BuchsentrAger samt Buchsa und Stecker
bis zum EinrastBn vorsichtlg an der Leitung
gagen den Federzug aus der Leitungsbox hersuszuziehen.
Jetzt kann der Stecker durch Anfassen an der
Griffhulse aus der Buchse herausgezogen
werden. Die Entriegelung der Steckvorrichtung
geschieht dabei automatisch. Zum Stecken
mussen die roten lagemarkierungen zueinander zeigen.' Mit eingestecktem Stecker kenn
man die Steckvorrichtung wieder in der Kabelbox verschwinden lassen. Dazu ist vorsichtig
an der Lettung zu ziehen und glaichzeitig dar
Buchsentrager mittels leichler Drehung am
Stecker im Uhrzeigersinn zu entriegeln und
durch Nachgeben der Leitung in die Leitungsbox zurOckgleitan zu lassen.
Hlnwela
Den Steckvarbinder hinter der RAndelmutter
ergreifen. Durch Ergreifen und Drehen der
RAndelmutter lOst sich der innere Teil und wird
in den UL 100 PLUS zurOckgezogen.
32
a
a
~------------------------2.3 Inbetriebnahme und Abpumpen eines Priiflings
Hlnwels
Die Lfd. Nr. 1, 3 und 4 sind nur bel der ersten Inbetriebnahme durchzufOhren,
Lfd.Nr.
.T3tigkeit
Anzeige I Reaktion
Aufstellen des UL 100 PLUS
gemaB Abschnitt 2.1
2
UL 100 PLUS mit der erforderlichen
Netzspannung versorgen
3
Elektronikeinheit ausklappen (5. Abschnitt 2.7)
Grundeinsteltung der Schalter im
4
Ansaugstutzen mit Blindflansch schlieBen
5
Netzschalter "ErN/AUS". (8/7) auf "ErN"
Servicefeld (Abb. 25) prufen
Schlitzschalter (26/2) auf Stellung "NORMAL"
Bedienschalter (26113) aile auf Stellung "Auto"
Umschalter fUr Masse (26/11) auf "M4"
Initialisierung des UL laO PLUS; auf der Statusanzeige (26/1) erscheint "INIT"
Die Bedienelnheit wird initialisiert; die Status-LED (4/1) leuchtel grOn.
Anlauf der Vorpumpe.
Elektronik wird mit Spannung versorgt.
1m Servicefel~ erscheint in der Statusanzeiga (26/1) alnma! durchlaufend
nachstehender Text
UL 100 PLUS VERSION-3.0
DATE-xx.xx.xx TIME-xx.xx.xx
Beginn automatischer Hochlauf der Turbo-MoJekularpumpe.
1m Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) alternierend die Anzeige
AGGL/VAG.
Anzeige Vorvakuum-und Einlal3druck.
Sobald Vorvakuumdruck Pv SO,l mbar und die Nenndrehzahl der TMP-Pumpe
erreicht ist, erfolgt Bereitmeldung durch Aufleuchten der Exponenten und NullIndikatoren lED (4/21)
Die Status-LED (4/1) erJischt.
1m Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (2611) die Bereitschaftsmeldung
" STBY".
Hlnwels
Erscheint im Servicefeld in der Statusanzeige (26/1) aiternierend die Anzeige
ACCll SNIF, war der Ul 100 PLUS vor dem Ausschalten im Schnuffelbetrieb.
Der EinlaB wird evakuiert; Anzeige "EVAC"
Der Stand-By Betrieb wird Obersprungen und auf der Anzeige erscheint "SNIF".
6
Taste "START" (4/24) kurz drucken
Die Status-LEO (4/1) leuchtet grun.
Die Exponenten und Null-lndikalor LED (4/21) vertOschen.
Anzeige fallender EinlaBdruck Pe (4/23).
1m Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) "EVAC"
Sobald Einlal3druck Pe S 0,2 mbar, Umschalten der
Kombi-Anzeige (413) auf Leckrate. Ein kurzes Signal ertOnt.
Anzeige der Leckrate.
1m Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) "MEAS".
7
Taste "STOPNENT" (4/2) lange (>25) drOcken.
Die Status-lED (4/1) leuchtel rot.
leckratenanzeige erlischt.
Die Exponenten und die NulHndikator LED (4/21) leuchten.
Flutventil Offnet Mrbar.
a
Ansaugslutzen Offnen.
9
PrOfting anschlieaen.
10
Taste "START" (4/24) kurz drOcken.
Slehe Lfd. Nr. 6
11
PrOfJing mit Helium besprOhen.
Nach Ablauf der Ansprechzeit ggf. Anzeige der Leckrate.
12
Taste "STOPNENT" langer als 2 5 drQcken.
Siehe Lfd. Nr. 7
'3
PrOfling abkoppeln.
Ansaugstutzen mit Blindflansch schlieBen oder
neuen PrOfJing anschliel3en.
Hinwels
Der MeBbetrieb kann durch kurzes CrOcken der Taste
"STOPNENT" unterbrochen werden.
Die Status"lED (4/1) erlischt.
Die leckratenanzeige erlischt
Die Exponenten und die NulHndikator LED (4/21) leuchtel'!'
33
--------------__--_________ mm
2.3
Step
2
3
•
5
oSTBY".
.
6
7
a
9
'0
See No.6
See No.7
"'2
,3
34
Etape
Activite
necessaire.
3
4
5
"STOPNENT" (4/2).
8
9
Raccorder la piece.
10
Actionner briEwement la touche "START" (4/24).
11
Asperger la piece
12
13
a 1'h9lium.
35
--~----------------------~
2.3.1 Einstellen der Uhrzeit und Datum
Urn bel Ausgaben des UL 100 PLUS spezla!!
uber die V.24/RS 232 C-Schnittstelle gOll198
sierungsanzeige ab, in der auch Uhrzeit und
Datum angezeigt werden (Abschnitt 2.3.1).
• im SERVICE-Betrieb (slaha Abschnitt 2.7
Service-F unktionen).
Die Einstellung von Uhrzeit und Datum karin
Werts fOr Vhrzeit und Datum zu erhalten,
mussen diese gegebenenfalls neu eingestellt
werden. Die Kontrolle dar 1m Gerat programmierten Uhrzeit und Datum kann auf zwei
Arten erfolgen:
• nach dam Netzeinschalten lauft auf der aIphanumerischen Anzeige (2611) eine Initiali·
ebenfaUs auf zwei f\rten dur.chgeffihrt werden:
• am
Gerat Ober die Bedieneinheit 1m
SERVICE-Setrieb. Dies ist beschrieben im
Abschnitt 2.7 im Ablaut nach Betlltigung der
T_"HANO".
- Dber die V.24/RS 232 C-SchnittsteUe. Siehe
hierzu S8 10.207.
36
a
mm __________________________
2.4 Operating Modes
2.4
2.4.1 Uberslcht dar Betrlebsarten
Hlnwels
2.4
Betrlebsarten
Leckraten~Bestimmung
sollte der UllOa PLUS mit a'inam Testleck
nach Abschnitt 2.6 abgeglichen werden.
Modes de service
"VAC" und die SchnOffellecksuche "SNIF".
Die Betriebsart SNIFF wire! Ober den SchlUssel Nr. 6 (Abschnitl 2.2.13.1) angewahlt
Die Betriebsart wird an der Statusanzeige im
Sef',(icefeld (26/1) wah rend des Hochlaufes
des Gerates angezeigt und kann so kontrofliert
Der UL '00 PLUS verlOgt grundsatzlich Ober
zwei
Betriebsarten,
die
Vakuumlecksuche
werden.
.r--
~
(5)
...L...L.
(1)
Normalbetrleb
Abschnlll 2.4.2
ULTRA
(2)
Rezipient
p<~bar
HV:Hochvakuum
HV: High vacuum
HV: vide pousse
Abb. 20 Obe.sicht der Belriebsarten
Fig. 20 Overview 01 the operalJng modes
Fig. 20 Tableau des mod8$ de service
Anlagenlecksucher
Abschn.2.2.13.1
GROSS, FINE
Sch[(lssel5
(
(3)
UHV·Anlagenlecksucher
Abschn.2.2.13.112.4.7.3
ULTRA
SchJUssel4
):14
HV
(4)
(
Rezipient )
II
W. Vorvakuum
w: FOfQVaCUUm
w: vide prlmalre
Rezipient "" Vac, chamber l.Enceinte
37
--------------------------~
2.4.2
Vakuum·Lecksuche mit Priming
Zur quantitativen ,Bestimmung ainer Leckrate
ist das Leek aines PrOflings mit ainer HeliumKonzentration von 100 % zu besprOhen. Das
helBt, daB salange Helium gesprOht werden
muB, bis die Anzeige nicht mehr groBer wirdl
Dabei 1st sicherzustellen, daB das MeBergeb·
nis nicht durch Helium verlAlscht wird. das
dUTCh zusatzliche Leckstellen in der Nalls aindringt Gegebenenfalls 1st das PrOflingsleck
(z.B. durch aine PapprOhre) abzuschirmen.
Ein am UL 100- PLUS angeschlossener PrOf·
ling wird dUTCh kurzes Beta.tigen ,der Taste
"START" (4/24) evakuiert.
Der faltende EinlaBdruck PE (PrOfling) wird auf
der Skala (4/23) der Kombi-Anzeige (413) angezeigt Ein Umschatten dar Kombi-Anzeige
(4/3) von Druckanzeige Pe l Pv auf Leckratenanzeige erfolgt unter der Bedingung:
- in Betriebsart (1) und (2) gemaB Abb. 20 bei
PE "" 0,2 mbar
- in Betriebsart (4) und (3) gemaB Abb. 20 bei
PE "" 100 mbar
Una piece raccord~
2.4.2
2.4.2
a
a
Der Leeksucher ist nun im MeBbetrieb.
Wird der PrOfling mit Helium besprOht, kann
Helium in10lge der Druckdifferenz zwischen
auBen und innen durch ain eventuel! vorhandenas Leek in dan PnJfling eindringen und 1m
Massenspaktrometar nachgewiesen werden.
2.4.3
Handhabung des Prii111ngs bello-kaler und integraler Lecksuche
2.4.3.1 Lokale _Lecksuche
2.4.3
a
2.4.3
Um auch sehr kleine Lecks neben schon gefundenen Lecks am PrOfling auffinden zu kOnnen, sind bereits bekannte Leeks durch Auftragen von Alkohol zu verschlieBen.
Beim BesprOhen des PrOflings mit Helium ist
mind. solange zu sprOhen, wie die mit elnem
Testleck am PrOfling ermittelte Ansprechzeit
betra-gt. Sonst wird das Leek falsch lokalisiert
oder nicht gefunden.
Bel der lokalen Lecksuche ist der am UL 100
PLUS angeschlossene PrOfling (21/2) an verdachtigen Stellen mit nicht zuviel Helium zu
besprDhen. Dabei sollte nach MOglichkeit eine
SprOhpistole mit feiner Spitze .(21/4) benutzt
werden.
Ertiuterungen zur Abb.21
1 UL 100 PLUS
Prllfllng
Abschlrmung
4 Spruhpistole
5 100 % Helium
6 Leckslelle
7 Anschlu8flansch
Key to FIg. 21
1 UL 100 PLUS
2 Tesl object
3 Shield
4 Spray gun
5 100% helium
8 Leak
7 Connecting flange
LCgende de la fig. 21
1 UL 100 PLUS
2 EprouveUe
3 lsolallon
4 PIstolel d'3Sperslon
5 Heliumal00%
8 Fulta
7 BrIde de raccordemenl
2
3
Abb.lFlg. 21
38
Abb. 21
FIg. 21
Fig. 21
Lokale Lecksuche
Local leak detection
Oelectlon de fulle locale
~------------------------Erliuterungen zur Abb. 22
,
2
3
Prllll1ng
HUlle
"
Helium
5
6
Prllfllngs·Leck
AnsctlluBllansch
Abb.22 Integrale Lecksuche
Fig. 22 Integral leak detection
Fig. 22 Recherche de fulte integrale
Test object
Enclosure
Helium
5
Leak 01 t8s1 object
6
Legende de Ie fig. 22
1 UL 100 PLUS
2
Eprollvelle
3
"
5
6
Bride de raccordemenl
AbbJFig.22
2.4.3.2 Bestlmmung der Ansprechzeit
~ur Bestimmung der Ansprechzeit wird ein
Testlack an der vom TestanschluB am wei~
testen entfemten Stelle des PrOflings ange-
schlossen. Die angezeigte Leckrate entspricht
der Testleckrate. Cas Testleck wird zugedreht,
gleichzeitig die Zeit gemessen, bis die angezeigte Leckrate am UL 100 PLUS auf ca.
37 % des ursprunglichen Wertes abgefaUen
ist. Die so gemessene Zeit ist die Ansprech-
zeit.
2.4.3.3 Integrale Lecksuche
Bei der integraJen Lecksuche befindet 5ich der
PrOfling (22/2) in einer HOlle (2213), z.B. eine
a
a
Besonderheiten bel groBem Volumen eines PrOflings
Ole Pumpzeit des UL 100 PLUS vergr613ert
sich nicht proportional zum PrOflingsvolumen,
sondern proportional zur inneren Oberilache.
Dies liegt daran, dal3 je nach Oberflachenbeschaffenheit groBe Mengen Feuchtigkeit gebunden sein kannen.
2.4.4
Daher kann die Pumpzeit z.B. durch Rostansatz erheblich verlangert sein. Um geringe
Pumpzeiten zu erhalten, sollen Volumen Ober
5 Liter nur mit ext. Teilstrompumpsatz geprOft
werden. 5iehe hierzu auch die Belriebsart (4)
und die Betriebsart (3) in Abb. 20.
2.4.5
2.4.5
2.4.5
PVC-TUte, die mit einer bekannten HeliumKonzentration (2214) gefOlit jst Nach M6glichkeit soli der Anschlul3f1ansch (22/6) nicht von.
der HOlle um5chlassen werden. da durch die
AnschluB-Dichtung Helium diftundieren und zu
einer Untergrundanzeige IOhren kOnnte.
2.4.4
Besonderheiten bei klelnem Volumen eines PrOflings
Bei kleinen PrOflingen solt mOglichst mit einer
SprOhpistole mit feiner Spitze gearbeitet werden. Damit wird vermieden, daB Helium
gleichzeitig durch mehrere Leeks in den PrOfling eindringen kann. Gegebenenfalls Leek gemaB Abb. 21 abschirmen.
2.4.4
a
a
39
--------------------------~
2.4.6
Besonderhelten bel klelnen und
2.4.6
graBen Leckraten
2.4.6
2.4.6.1 Kleine Leckraten
Der UL 100 PLUS ist in der Lage, Leckraten
bis 2'10.10 nibar-I·s·l nachzuweisen. Urn eine Anzeige in diesem Bereich ablesen zu kannen, ist 8ine eventual! vorhandene Untergrundanzeige mit Hilfe der Nullpunkttaste zu
unterdrUcken.
Eins hOhere MeBwertaufiOsung erreicht man
durch AnschlieBen aines Schreibers (Abschnitt 2.2.13.6) oder durch Ausgabe der
Leckrate aber eine V.24-SchnitlStelle.
2.4.6.2 GroBe Leckraten
Bei der Messung von greBen leckraten besteht die Gefahr der Verseuchung des Proflings und des UL 100 PLUS. ~aher die MaBzeit so kul'2 wie mOglich halten. Eins Verseuchung des PrOflings auBert sioh durch einen
Untergrund, der auf der Kombi-Anzeige (413)
abgelesen und gg1. mit der Nullpunkt-Taste
(4/14) unterdrOckt wardan kann (siaha auch
Abschnitt 2.2.6).
Hlnwels
Durch Offnen der Gasballasteinrichtung (9/3)
fUr mehrere Minuten kann eine Verseuchung
der Vorvakuumpumpe behoben werden.
Eine Lokalisierung ist bei graBen Leekraten
schwierig, da das Leek Helium schon aus ei·
ner gewissen Entfernung ansaugl Daher nur
wenig Helium mit einer Feinspruhspitze spruhen. Die quantitative Messung ist nur durch·
fDhrbar, wenn 100 % Helium vor das Leek
gebracht werden kann.
Haufige Leckratenmessungen uber Werte van
10.3 mbar+s·1 sollten mOglichst mit Teil·
strompumpsatz durchgefuhrt werden. Siehe
hierzu die Betriebsart (4) in Abb. 20.
Eine kurzzeitige Messung von Leckraten bis
10.2 mbar+s· 1 ist jedoch auch ohne Teilstrompumpsatz mOglich.
2.4.7
2.4.7
2.4.7
8esondere Lecksuchabliiu1e
~n
2.4.7.1 Option Tel1strompumpsatz TPS
UL 100 PLUS
Bei der Lecksuche mit einer Teilstrompumpe
wird eine groBe Pumpe parallel zum LeeksuchereinlaB betrieben. Diese kann groBe
Gasmengen abpumpen und entlastet damit
den Lecksucher bzw. verschiebt seinen MeBbereich zu grOBeren Leckraten.
Die Lecksuche mit Teilstrempumpe ist dann
ratsam, wenn entweder:
- groBe Volumina schnell abzupumpen sind
Die im Folgenden beschriebenen Lecksuchablaufe sind mit dam Lecksuchmodul des UL
100 PLUS in Verbindung mit jeweils notwendigen Zusatzgeraten mOglich. Sie erfordern im
allgemeinen die Benutzung eines SchlQssels,
mit dam die entsprechenden Ablaufe aktiviert
werden.
- aine kurze Ansprechzeit an greBe Volumina
gewQnscht wird
- bei hohen DrOcken (bis 100 mbar) Lecks
gesucht werden sollen
40
Procedures speciales de detection
a
mm ________________~-------graBe Leckraten (bis 1 mbar·'·s·1) games·
Hlnwels
Der Teilstrompumpsatz gemAB der Kat.-Nf.
'65 44 ist nur fOr aine Betriebsspannung von
220 V ausgelegt.
Urn ein funktionierendes Autoranging sowie ai-
Oas Magnetventil mit elektromagnetischem
Antrieb ON 25 KF wird an den TestanschluB
angeflanscht und Dber den Metallwellschlauch
mit der TRIVAC D 25 e verbunden.
Zur Versorgung mit Netzspannung wird die
Netzanschlul3leitung (23/5), die am Magnetventil fest installiert ist, mit der Geratesteckdose (B/6) des UL 100 PLUS verbunden.
Die Steuerleitung (23/4) wird Ober den
Stecker (2313) mit der Elektronikeinheit (23/2)
des Magnetventils verbunden und auf der andern Seite mit der Multifunktions-Schnittstelle
(1211) des UL 100 PLUS.
Nach Einstecken an der Multifunktions·
Schnittstelle (1211) wird die Option erkannt
und gesteuert.
Zur Inbetriebnahme des Systems kann der UL
100 PLUS und der Teilstrompumpsatz gleichzeitig eingeschaltet werden. Nachdem der UL
*
sen werden sollen.
ne quantitativ richtige Anzeige Ober den g9samten Leckratenbereich 8uch im Teilstrom
zu arhatten, muB der als Option Heferbare
Teilstrompumpsatz benutzt werden (siehe Betriebsart (4) in Abb. 20). Er besteht im wesentlichen aus ainer Pumpa TRIVAC 0 25 B t
einem Magnetventil ON 25 KF (siehe Abb.
23) sowie einem MetaU-Wellschlauch von 1 m
Lange.
Zum AnschluB des Teils'trompumpsatzes ist as
notwendig den seitlichen TestanschluB (10/3)
entsprechend Abschnitt 2.2.12 iu montieren.
Der TestanschluB ist im Lieferumfang anlhalten.
a
a
a
,.iQJ'
. ,
,. ,,. .,.i
! . !
,
,
,
,
Erliuterungen .tur Abb. 23
I
LED
2
3
Elektronikelnhelt des Magnetvenlils
Stecker (Steuerlellung)
Steuerleltung
Net.tanschluflleltung
4
5
a
,- -·_·-'1i
cate, a
f----2
1-----3
,
Electronics unit 01 the solenoid valve
Plug (ClJntroi cable)
Control cable
Mains cable
\'<-----4
UL 100 PLUS
TAIVAC 0 25 B
Legende de la fig. 23
I
DEL
2
3
4
5
Abb. 23 Eckventit mit elektromagnelischem Antrleb
Fig. 23 Solenoid valve
Fig. 23 Robinet equerre entrainement eleclromagnetique
a
41
--------------------------~
100 PLUS den Hochlauf beendet hat, erfolgt
die
weitere
Bedienung
mit
der
Taste
"START" (4/24) und der Taste "STOPI
VENT" (4/2).
Durch kurzes Dn1cken der Taste "START"
(4/24) wird ein angeschlossener PrOfIing vom
Teilstrompumpsatz (217) evakuiert.
Hlnwels
Bei richtigem AnschluB und evakuiertem PrOfling lauchtet an der Elektronik des Magnetventils die grOna LED (2311). Solita standig
die rote LED lauchten, ist zu kontrollieren. ob
der -Mikro-Umschalter in der Elektronikeinheit
des Magnetventils auf Remote (Stelfung S)
geschaltet 1st Siehe hierzu die GA 06.202.
Der Mikro~Umschalter muD auf Stellung S
stehen.
Bel einem EinlaBdruck von 100 mbar wird das
Grobleck-Ventil V 1.2 automatisch geOffnet
(GROSS) siehe Abb. 2. Der UL 100 PLUS ist
Lecksuchbereit Dies ist erkennbar durch den
Wachsel von Druckanzeige zur Leckraten. ,anzeige der Badieneinhait (Abb.. 4).
Aufgrund des Tailstromvl;lrhaltnisses kOnnen
nun Leckraten bis "'10-8 mbar+s·l nachge·
wiesen werden.
Bei fallendem EinlaBdruck elfolgt dann eine
automatische Umschaltung. Das Ventil V 1.2
schliellt urid das Ventil V 1 Offnet bei Pe< 0,2
mbar (FINE); siehe Abb. 2. Der Leckraten·
bereich bis 10-9 mbar+S"1 steht nun infolge
des kleineren Teilstromverhaltnisses zur Verrugung.
Durch Aldivieren des SchlOssels 3 (siehe Abschnitt 2.2.13.1) oder durch DrOcken der Ta·
ste "Hand" und der Werteingabetaste kann
die maximale _Empfindlichkeit von 2-10. 10
mbar+s· 1 erreicht werden (ULTRA).
2.4.7.2 Sonstlge Pumpsatze
Grundsatzlich kOnnen im Teilstrompumpsatz
beliebige Drehschieberpumpen sowie auch
andere Ventile und Schlauche verwendet wer·
den (siehe Batriebsart (4) in Abb. 20). Dabei
ist jedoch zu beachten, daB die Software nur
mit den Magnetventilen (Kat.-Nr. 287 42; 287
52; 288 42; 288 52; js nach Spannung und
Geh8usematerial) zusammenarbeitet und auI3erdem bei Verwendung anderer Pumpen
oder Schlauche die KaJibrierung im Bereich
8
commutation de I'unite de commande (fig. 4)
de I'indication de pression a I'indication de taUl(
de fuite.
peul deteoter
a
p ~ 0,2 mbar
Abb. I Fig. 24
42
E
o
~
Abb.24 UL 100 PLUS Lecksuct\·Modul an Vakuumanlage mit eigenem Pumpsalz
Fig. 24 Ull00 PLUS leak detection module connecled 10 a vacuum syslem
equipped with its own pump sel.
Fig. 24 Ul 100 PLUS, module dchecteur sur Inslallatlon a vide equipee de son
propro groupe de pompage.
~------------------------ULTRA, FINE und GROSS (siaha Abschnitt
2.6) nacheinander durchgefUhrt werden.
2.4.7.3 Betrleb des Lecksuchmoduls
ohne Pumpmodul
Die Verwendung des Lecksuchmoduls ohne
Pumpmodul (siaha Betriebsart (2) in Abb. 20)
ist insbesondere in folgenden FAllen sinnvoll:
• im Serviceeinsatz an Vakuumanlagen mit
eigenen Pumpen
- an UHV-Anlagen mit niedrigen Drucken, die
nicht durch VorpumpenOI verschmutzt
werden sollen
• wenn bereits vorhandene Drehschieberpum·
pen als Vorpumpen genutzt werden sollen.
Oas Lecksuchmodul ist unler der Kat.Nr.
155 8a a1s eigenstandige Einheit erhalUich.
Be; UHV-Anlagen hat dies den besonderen
Vorteil. daB die Anlage Gberhaupt nicht mit
ainer Vorvakuumpumpe verbunden wird und
damit kohfenwasserstoffrei bleibt
Urn das Lecksuchmodul in dieser Weise sinzusetzen, ist folgendermaBen vorzugehen:
- Lecksuchmodul durch LOsen der beiden
SchnellverschlQsse yom Pumpmodul trennen.
- VorvakuumanschluB des Lecksuchmoduls
mit Blindflansch ON 16 KF verschlieBen.
- EinlaB des Lecksuchmoduls mit Vakuumkammer verbinden (hierzu muB an der
Vakuumkammer ein Ventil vorhanden seinl).
- Ventil zur evakuierten Vakuumkammer Offnen, so daB LecksuchereinlaB abgepumpt
wird.
- SchlOssel Nr. 4 bis zUITJ Anschlag in SchlUs·
selschlilz der Bedieneinhelt einstecken.
- Lecksuchmodul mit Netzschalter einschalten
und Hochlauf abwarten (bis Exponent
aufleuchtet).
- Das Ger!t ist nun meBbereit.
- Die Leckratenanzeige erfolgt nach DrDcken
der Taste "START". Durch DrOcken der
Taste "STOP" erfolgt in der Statusanzeige
im Servicefeld die Anzeige "STBY"; es
kann nicht geflutet werden!
- Taste "CAL" (4/11) 3x kurz drOcken.
• Taste "ENTER" (4/13) drOcken und somit
den Vorgang bestatigen.
2.4.7.4 Lecksuchmodul mit anderer
VOlVakuumpumpe am VorvakuumanschluB
Nachdem das Lecksuchmodul yom Pumpmodul gelOst wurde, staht an der Unterseite des
Lecksuchmoduls ein Kleinflansch ON 16 KF
zum AnschluB beliebiger Vorpumpen lur
VerfOgung (siehe Betriebsart (1) in Abb, 20).
Dabei ist lediglich zu beachten, daB der
AnschluB von Pumpen mit einem Saugvermogen von mehr als 16 m3'h" nicht sinnvoll ist,
da durch die Drosselwirkung des ON 16 KFFlansches dieses SaugvermCigen nichl am
EinlaB des Lecksuchers wirksam werden
kann,
Die Ablaufsteuerung des Lecksuchers bleibt in
dieser Betriebsweise erhalten, d,h. die Bedienung erfolgt in der Oblichen Weise,
a
a
a
43
-------------~
Zu beachten sind jedoch die folgenden Ein-
schrAnkungen bel den Speziftkationen:
• die Nachweisgrenze des lecksuchmoduls
erhOht sich ungefAhr proportional zurn angeschlossenen SaugvermOgen der Vorpumpe,
d,h. bei 10 x grOBerem SaugvermOgen ist
z.B. die kleinste nachweisbare Leckrate nur
noch 1'10.9 mbar'I's"
- die StabiHtlit der Anzeige (Rauschen und
Driftsn) und damit auch wieder die Nach·
weisgrenze hangt unmittelbar von der Qualital dar eingesetzten Vorpumpe abo
2.4.8 Schnuffellecksuche
An den UL 100 PLUS kOnnen folgende
SchnOffeleinrichtungen angeschl. werden:
Helium-Standard-SchnUffier ST 100
Helium-Schnuffler aUICKTEST QT 100
Renifleur Ii helium standard ST 100
Renifleur
helium rapide aUICKTEST QT
100.
In allen FAllen wird der jeweilige SchnOffier an
den BnlaB des Lecksuchers angeschlossen.
Der Schnuffelbetrieb kann wie im Abschnitt
2.2.13.1 beschrieben mit SchlOssel Nr. 6 angewahlt werden.
Wurde der Lecksucher im Hochlaufen initialisiert, oder war er vor dem Ausschalten im
SchnOffelbetrieb, gelangt er automatisch in
den Mel3betrieb.
Sonst ist ein zusatzliches DrOcken der Taste
"START" (4/24) erforderlich.
Wenn der Lecksucher betriebsbereit ist, erscheint auf der Leckratenanzeige der Wert fUr
das natorliche Lufthelium.
Dieser Wert kann bei einigen 10-& mbar+s-1
liegen.
Die Kalibrierung erfolgt genauso, wie baim
normaJen Kalibrieren mit externem Testlack
(sieha Abschnitt 2.6.3).
Entschaidend 1st aber nun, daB die einmal
durchgefUhrte Kalibrierung nur fur die gewahlten 'SchnUffelbedingungen (Abstand und Geschwincligkeit bezugtich der Leckposition) gilt.
FOr eventuelle Korrekturfaktoren in Bezug der
Haliumkonzentrationen ·unter 100 % oder un1erschiedlicher PrOflingsdrOcke siehe die Gebrauchsanweisung des verwendaten SchnOffler.
Der Kalibrierfaktar und die gewahlte Betriebsart "SNIFF" bleiben auch nach dem Ausschalten des GerAtes erhalten.
1m MeBbetrieb ist die Taste "STOP I VENT"
verriegelt Durch emeutes Steeken von
SchlOssel Nr. 6 und DrOcken der Taste "ENTER" wird die Schnuffelfunktion aufgehaben.
Das GerAt geht dann in den Stand-Byzustand.
Das beste Ergebnis kann mit dam AnschluB
ainer (eventuell gedrosselten) Hochvakuum-
pumpa (Turbopumpe) erzielt werden, da diese
im Vergleich zu einer Vorvakuumpumpe erheblich stabiler bzgl. Enddruck und SaugvermOgen fOr Helium ist
Bei einer salchen Pumpa mit groBem Saug-
vermOgen ist allerdings die Nachweisgrenz8
erheblich Mher (s.o.).
44
a
mbar+s·'.
~------------------------~
1m Schnuffelbetrieb kann der Femsteuereingang "PUMPEN", Pin Nt. 18 der Multifunktionsschnittstelle zur Helium-Untergrundbestimmung genutzt werden. Dazu muB ain Schalter
der Bedieneinheit (Abschnitt 2.2.6).
Der Schalter muB SO eingebaut werden, daB
bei Entnahme der SchnUffelspitze 8US der Hal·
terung der Kontald geOffnet und somit der Heliumuntergrund unterdrUckt wird.
Die
2.4.8.1 Lecksuche mit Standard·
sChnuffler
Der StandardschnUffler wird dann eingesetzt,
wenn hOchste Empfindlichkeit verlangt wird. Er
hat zudem den Vorteil, kein Gas in nennenswerter Menge abzusaugen.
Deshalb ist er besonders gut fOr HOlientest's
oder zur Messung sehr kleiner Lecks geeig-
Der Helium-SchnOffier QUICKTEST aT 100
vermeidet die Beschrankung des StandardschnOffiers auf kurze Leitungsll:lngen. Durch
seinen Ansaugeffekt hat er den Vorteil, auch .
Leeks anzuzeigen, die ralativ weit von dar
SchnOffalspitze entfernt sind.
Er ist dashalb besonders gut fOr die Leckloka·
lisierung ainzusatzen.
2.5
2.5
im SchnOffelspitzen-Haiter montiert und mit
dam 'Fernsteuereingang zwischen Pin Nt. 16
und Pin Nt. 18 der Multifunktionsschnittstelle
verbunden werden.
Di8 Funktion dieses Fernsteuereinganges ist
vergleichbar mit der Nullpunkt-Taste (4/14)
Helium-UntergrundunterdrOckung
wird
dutch die blinkende Null-Indikator LED (4/21)
a
a
a
angezeigl
net
2.4.8.2 Lecksuche mit Hellum-Schnuffler
QUICKTEST QT 100
AuBerbetriebsetzung
Sniffer
a la loca-
2.5
Zur AuBerbetriebsetzung ist der Netzschalter
~EIN/AUS" (817) auf Stellung "AUS" zu
schalten. Weitere MaBnahrnen sind nicht
erforderlich.
Die Betriebsart wird gespeichert. Das Gerat
nimmt nach Wiederinbetriebnahme den glejchen Zustand wieder ein.
Hinwels
.Das Gasballastventil der TRIVAC 0 1,6 B
(siehe Abschnitt 3.2.1) muB zum Transport
immer geschlossen werden.
Note
45
~---------2.6
Kallbrleren und Tunen
2.6
_______________ mm
2.6
Callbrage et syntonlsatlon
Hlnwels
- Die Kalibrierung solite erst 15 min naoh Beendigung des Hochlaufs erfolgen u. nach ca.
2 Stunden ainmal wiederholt werden.
- Die durch die Kalibrierung ermittelten Kali·
brierfaldoren bleiben auch· nach dam Ausschalten des Gerates erhalten.
Es werden vier Kalibrierfaktoren gespeichert:
• F_'·GROSS
• F_,·FINE
Der UL 100 PLUS ist zur Quantitativen Leck~
ratenmessung geeignet Dazu ist ain Kalibrier·
faktor erforderlich, der vern UL 100 PLUS
bairn Kalibrieren automatisch errechnet und
gespeichert wird. Die Kalibrierung vom UL
100 PLUS wire! zudem durch die Verwendung
aines internen Testlecks (Einbautestleck TL 7)
wesentlich vereinfacht. 1st im UL 100 PLUS
keln Testleck eingebaut, muB die Kalibrierung
mit einem externen Testleck 8OOlgen.
off.
- Faktor-ULTRA
- Falder-SNIFF
Bairn Kalibrieren in ULTRA warden dia Fakto·
ran GROSS und FINE aus dam Faktor·
ULTRA barechnet Diasa Umrechnung ist nur
fOr ainen Betrieb mit der Option "Teilstrom·
pumpsatz mit 0 25 B" gOltig. Beim Betrieb mit
beliebigen Anlagen oder Teilstrompumpan
muB zusatzlich in den Bereichan GROSS und
FINE kalibriert werden.
Der analoge Signalausgang
(Abschnitt
2.2.13.6) bzw. die V.24-Schnittstelle bieten
. zur Erstetlung der Kafibrierleckrate eine bessare Aufl6sung als die Kombi-Anzeige der Bedienainheit. Die Leckrate kann bel Benutzung
der V.24-Schnittstelle durch DrOcken der Taste "START" an ein Terminal oder Drucker
ausgegeben werden.
Vor jedem Kalibriervorgang soUte ein TUNEVorgang durchgefOhrt werden.
2.6.1 Tunen
Der Tune-Vorgang dient zum Abgleich des
Massenspektrometers auf maximale Empfindlichkeit. Dazu wird die Beschleunigungsspannung der lonen im gewahlten Massebereich
variert, bis ein maxi maier lonenstrom am 10nenfAnger registriert wird.
Zurn Tunen muB die Elektronikeinheit mit dem
Servicefeld ausgeklappt werden 'und das Testreck ge6ffnet sain.
Das Massenspektrometer kann jetzt mit Potentiometer "M4" (26/12) auf max. Empfindlichkeit gebracht werden. Die Leckratenanzeige wird dann maximal.
2.6.2 Kalibrieren mh elngebautem Testleck
UL 100 PLUS mit der Taste "STOPNENT"
in den Zustand Standby oder Fluten bringen.
2.6.2 Callbrage avec fuite calibree
Incorporee
Mettre UL 100 PLUS dans I'etat Stand-By ou
remis a I'atmosphere avec Ie touche
Mit Multifunktionstaste "Trigger und Kalibrierung" das Kalibrieren anwahlen und mit
der Taste "ENTER" quittieren.
Auf der Statusanzeige (26/1) im Servicefeld
erscheint "CAL". Oas interne Testleck Offnet
hOrbar.
46
"STOPNENT".
~------------------------Das Massenspektrometer kann jetzt mit Potentiometer .. M4" (26/12) auf max. Empfindlichkeit gebracht werden. (Abschnitt 2.6.1).
Die Leckratenanzeige wird dann maximal.
Durch DrOcken der Taste ZERO kann nun' der
gerateinterne Untergrund bestimmt werden.
- Vor der Untergrundbestimmung schlieBt das
Testleck.
- Nach der Untergrundbestimmung affnet das
Testleck.
Durch DrOcken der Werteingabetasten (4/19)
und (4/6) wire! die auf dam Testleck 8ufgedruckte Leckrate eingestellt
Der Kalibriervorgang ist nach dam DrOcken
der Taste "ENTER" abgeschlossen. Das interne Testleck schlieBt horbar.
Der Faktor-ULTRA ist damit bestimmt. Die
Faktoren GROSS und FINE werden aus dam
Bel zu geringer Empfindlichkeit kann beim Kalibrieren mit der Taste "HAND" auf die andere
Katode umgeschaltet werden.
Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch
DrOcken der Taste "Trigger. und Kalibrierung"
abgebrochen werden.
2.6.3 Kallbrieren mit externem Testleck
Externes Testleck offnen
2.6.3 Calibrage avec une fulte calibree
externe
Ouvrir la fuite calibree externe.
UL 100 PLUS mit der Taste "START" in den
Zustand Messen bringen.
Mit Multifunktionstaste "Trigger und Kalibrierung" das Kalibrieren anwahlen und mit der
Taste "ENTER" quittieren.
Auf der Statusanzeige (26/1) im Servicefeld
erscheint "CAL".
Das Massenspektrometer kann jetzt mit Potentiometer "M4 n (26/12) auf max. Empfindlichkeit gebracht werden. (Abschnitt 2.6.1).
Die Leckratenanzeige wird dann maximal.
Extemes Testleck sehlieBen
Raccorder la fuite calibres externe.
Externes Testleck Offnen.
Durch DrOeken der Werteingabetasten (4/19)
und (4/6) wird die auf dem Testleck aufgedruckte Leckrate eingestellt.
Der Kalibriervorgang ist nach dem DrOcken
der Taste "ENTER" abgeschlossen.
1m Normalbetrieb ist der Faktor-ULTRA damit
bestimmt Die Faktoren GROSS und FINE
werden aus dem Faktor-ULTRA berechnet.
1m Teilstrombetrieb (siehe die Betriebsarten
(3) und (4) in Abb. 20) kennen die Kalibrierfaktoren GROSS, FINE und ULTRA einzelnen
bestimmt werden. Dazu muB vor dem Kalibrieren durch DrOcken der Taste "HAND" die automatische MeBbereichswahl ausgeschaltet
werden. Durch DrOcken der Werteingabetasten (4/19) und (4/6) kann der entsprechende
MeBbereich angewahlt werden. Hierzu muB
Faktor-ULTRA berechnet.
Einen vorhandenen Untergrund mit
Nullpunkt-Taste (4/14) unterdrOcken.
der
47
~------------------------~
das Servicefeld mit
klappt werden.
Elektronik~Einheit
ausge-
avec
['unite
geOffnet
geOffnet
GROSS- V1.2, V2 und Vext geOffnet
(Veld = extemes Teilstromventil
von der Option "Teilstrompumpsatz")
Die Kalibrierfaktoren sollten in folgender Reihenfolge bestimmt werden:
ULTRA mit TL 8,
FINE mit TL 8 und
GROSS mit TL 4-6.
Oas Testlack TL 4-6 kann dazu in FINE kaJibriert werden.
FOr jaden Kalibrierfaktor ist aine Kalibrierung
notwendig.
Der' Abgleich des Massenspektrometers darf
dabei abeT nur ainmal 81101gen.
Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim KaUbrieran mit dar Taste "HAND" aut die andere
und Kalibrierung" abgebrochen werden.
2.6.4 Kallbrieren 1m Schnuffelbetrleb
SchnOffelspitze in die Luft halten.
Mit Multifunktionstaste "Trigger und KaJibrierung" das Kalibrieren anwahlen und mit der
Taste "ENTER" quittieren.
Auf der Statusanzeige (26/1) im Servicefeld
erSCheint "CAL".
Einen vorhandenen Untergrund mit der Nullpunkt-Taste (4/14) unterdrOcken.
Carriger un eventuel fond helium avec la
touche zero (4114).
SchnOffelspitze YOr die Offnung des SchnOffelTestlecks halten.
Durch OrQcken der Werteingabetasten (4/19)
und (4/6) wire! die auf dem Testlack aufgedruckte Leckrate eingestellt
Der Kalibriervorgang ist nach dem Dn1cken
der Taste "ENTER" abgeschlossen.
Oer Faktor-SN1FF ist damit bestimmt
Bei zu geringer Empfindlichkeit kann bairn Kalibrieren mit der Taste "HAND" auf die andere
Katode umgeschaltet werden.
Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch
DrOcken der Taste "Trigger und Kalibrierung"
abgebrochen werden.
ULTRA· V1
FINE - V1, V2
und V2
und Veld
Katode umgeschaltet werden.
Oar Kalibriervorgang kann jederzeit dUTCh
OrOcken dar Tasten "STOP" odar "Trigger
48
a
mm ________________~-------Abb. 25 Auskleppen der Elektronlk-Elnlielt mil Servlc.
laid
Fig. 25 Folding out the electronlC5 unit with service
panal
Fig. 25 Basculement de I'unlte electroniqu8 avec
panneau de servlce,
4
3
Erlluterungen ;cur Abb. 25
Lecksuch-Modul
VerschluB lur Elektronlk-Elnlleit
Elektronik·Elnhelt mit Servlceleld
Scllraubendreher
1
2
3
4
4
legende de la fig. 25
,
2
3
4
AbbJFIg,2S
2.7 Servlcefunktlon der
Elektron ik-Elnhelt
Die auf dar Ruckseite des UL 100 PLUS
Lecksuch-Moduls eingebaute Elektronik-Einheit (25/3) laBt sich so ausklappen, daB das
Servicefeld fOr den Bediener zuganglich wird.
Dazu wird mit elnem Schraubendreher (25/4)
dar VerriegeJungsbolzen (25/2) am LecksuchModul (2511) hereingadnickt und die Elektronik-Einheit (25/3) ausgeklappt.
Ober den Schlitzschalter (26/2) laBt sich der
UL 100 PLUS in den Normalbetrieb bzw. den
Servicebetrieb umschalten.
SQrvicQZWQck
In SteHung "NORMAL" des Schlitzschalters
(26/2) lassen sich Ventile - wenn von der
Steuerung getiffnet - durch Betatigen des ent- .
sprechenden Bedienschalters (26/13) zwangsweise schlieBen.
Sollen von der Stauerung gaschlossene Ventile von Hand auch ge6ffnet werden k6nnen,
muB vorher der Schlitzscf:lalter (26/2) mit
einem passenden Schraubendreher von Stellung' "NORMAL" auf SteJlung "SERVICE"
gaschaltet werden. 1m "SERVICE"-Betrieb ist
die Mikrocomputer-Steuerung des UL 100
PLUS weitgehend aul3er Funktion.
a
Auf der alphanumerischen Status- und
Fehleranzeige (2611) wird der Mode durch die
Anzeige "SERV" ausgegeben. Ober die Bedienschalter (26/13) kOnnen nun die Ventile
beliebig geschlossen und ge6ffnet werden.
Die jeweilige Venlilsteflung wird durch LEOs
im Funktionsschema (26/6) angezeigt.
Achtung
Keine automatischen Verriegelungen im
. SERVICE·Mode. Es kOnnen auch unsinnige
oder fUr Teile des Gerates gefahrliche Zustanda eingestellt werden.
In diesem Mode erhal! man folgende Zusatzanzeigen aut der 8edieneinheit
- DUTCh DrUcken dar Taste "STOP" (4/2)
Anzeige PE/Pv.
Die jeweUige VentilsteUung wi(d durch LEOs
im Funktionsschema (26/6) angezeigt. Nach
der Funktionskonlrolle mussen die Schaller
(26/13) unbedingt wieder in Steflung "AUTOMATIK" geschaltet werden.
a.
a.
a
49
~------------------------~
3
2
4
, ,,
I
! L--, ~
STATUS/ERROR
[ill]
VALVES
VI
V2
~
:····0· .. ··········· .. ··:
Vl.2
v,
, .... - ...
0-
V]
NORMAL
SERVICE
VI.2 CAL. LEAK
TeST
OUTPUTS
VN11
MASS
TUNE SEL
It P
°e'
234
I
13
Servlcefeld
12
11
10
9
8
7
I
o
0
I
~lr'1
Abb. 26
..........................
.
. .:
···
..
·
.
···· 0
.:..
6
5
11 ....
V1
~ .......... .9.......~
........... :::::~:::s;::::::::..
l::t>-
'CAL'
j.
~
LEAK
Fig. 26 Service panel
FJg. 26
!.
:" .................... :
11 Umschalter ftir Massa 2, 3,oder 4 (Ab Werk auf M 4)
12 Potentiometer IUr Abglelch Masse 2, 3 und 4
13 Bedlenschalter fUr Ventllbetitlgung von Hand
Durch Drucken der Taste "START" (4/24)
Anzeige Heliumleckrate. bel korrektem Va~
kuumdruck der TMP.
Durch DrOcken bestimmter Tasten der
Bedieneinheit (siehe Abb. 4) erMlt man auf
der a1phanumerischen Status~ und Fehleran~
zeige (26/1) folgende Zusatzanzeigen:
Taste "AutomatlkITriggerloglk" (4I1S)
- zyklische Anzeige der Betriebsstunden und
Kennung des Servicemodes: "OPERATION·TIME; =HOURS and ""MINUTES"
und "SERV". Der Abbruch der zyk1. Anzeige erlolgt mit einer belieblgen Taste.
Taste "ENTER" (4113)
- zyklische Anzeige von Offset Vorversta.-ker,
Kalibrierlaktor, Turbopumpendrehzahl und
Kennung des Servicemodes: "VARIABLES:
OFA-xxx CAL-x.xxx TMP xxxx RPM" und
"SERV". Der Abbruch der zykl. Anzeige
erlolgt mit einer befieblgen Taste.
Taste "Zero" (4114)
- zyklische Anzeige Geratenummer und Kennung des Servicemodes: "IDENT-NUMBER:
DXXlOOQOOO(" und "SERV". Der Abbruch der
zykl. Anzeige erlolgt mit einer beliebigen
Erlillterungen zur Abb. 28
1
4-stelllge alpha numerische Fehler·und Stetusanzelge
2
Schlll:.:schatler, UmSChaltung SERVICE/NORMAL
3
4
5
6
Testpunkle lilT GeriUespannungen
LED lOr Fehlermeldung bel Emissionsausfall
LeO lOr Funktlon der Emission
Funktlonsschema mil Zuslandsan:;zelge dUTch LEOs
7
8
9
LED fllr Anodenheizung
LED fUr BatTleb Katoda 1
LED IUr Betrleb Katoda 2
10 LED fUr Fehlermeldung bel Hel.::ungsausfall
~
Taste.
Taste "Hand" (4IS)
- fUr zur Anzeige und Einsteflung von PE, PV,
Baudrate, Zeit und Datum. Zyklische Anzeige ainer Zahl (0 ... 255), die dem EinlaBdruck entspricht "PE-xxx".
Mit der Taste "Hand" (4/S) kann die Anzeiga zwischen Vorvakuumdruck "PV-xxx" und
EinlaBdruck "PE-xxx" hin- und hergeschattet
werden. Nach Austausch einer ROhre PE
oder PV ist bei Atmospharendruck der
Sonwert auf 246 abzugleichen. Taste
"'ENTER" (4/13) bedingt den Abbruch der
zykl. Anzeige.
Hinwels
BeLAbgleich von PV, TMP ausschalten.
50
a
a
a
a
~------------------------Mit dar Taste "AutomatikITriggerlogik" (4118)
beginnt nun Anzeige und Anderung von Baudrate, Datum und Zeit
Die Taste "ENTER" (4/13) bestatigt jeweils
- "MODIFY VALUES OF BAUD, TIME AND
DATE"
- "MODIFY VALUES OF BAUD, TIME AND
DATE"
den angezeigten Wert und fQhrt zur nachsten
DarsteUung. Es erscheint zunAchst:
- "MODIFY VALUES OF BAUD, TIME AND
DATE"
- AnschlieBend wird die Baudrate angezeigt:
-BAUD xxx",
Der angezeigte Wert "xxxx" kann mit den
Werteingabetasten (4/6) und (4/19) verandert
oder mit der Taste "Zero" (4/14) auf "9600"
rOckgesetzt werden.
Die Taste "ENTER" (4113) bestatigt den angezeigten Wert und fOhrt zur Anzeige dar Uhrzeit "TIME". Nach ca. 1 s erscheinen die
Stunden "H = xx". Die Stunden kOnnen mit
den Werteingabetasten (4/6) und (4/19) VBr-
Andert oder mit der Taste "Zero" (4/14) auf
"00" ruckgesetzt werden.
a
"zero" (4114).
(4114).
(4114).
Die Taste "ENTER" (4113) bestatigt den an·
gezeigten Wert und fUhrt zur Anzeige der Mi-
nute.
"M-xx".
"M-xx".
Die Minuten kOnnen mit den Werteingabetasten (4/6) und (4/19) verandert oder mit der
Taste "Zero'" (4/14) auf "00" rOckgesetzt
werden.
Die Taste "ENTER" (4/13) bestatigt den angezeigten Wert und fOhrt zur Anzeige des Datums "DATE". Nach ca 1 s erscheint der eingestallt Tag "D-xx". Die Tage kennen mit den.
Werteingabetasten (4/6) und (4119) verandert
oder mit der Taste "Zero" (4/14) auf "01"
rQckgesetzt werden.
Die Taste "ENTER" (4/13) bestatigt den angezeigten Wert und ffihrt zur Anzeige des Monats.
"M-xx".
Die Monate kennan mit den Werteingabetasten (4/6) und (4/19) verandert oder mit
der Taste "Zera" (4/14) auf "01" rOckgesetzt
werden.
Die Taste "ENTER" (4/13) bestatlgt den angezeigten Wert und Whrt zur Anzeige des
Jahres.
"J=xx".
Die Jahre' kennen mit den Werteingabetasten
(4/6) und (4/19) verandert oder mit der Taste
"Zero" (4/14) auf "90" rUckgesetzt werden.
Die Taste "ENTER" (4/13) bestatigt den angezeigten Wert und zeigt nochmals die gewahlten Einsteilungen von Baudrate, Zeit und
Datum.
Dar Ul 100 PLUS kann nach Einstellung des
"SERVICE 1 NORMAL"-Schlitzschafters
(25/2) in Stellung "NORMAL" und einer anschlieBenden autom. Initialisierungsphase aile
Funktionen wieder ausfuhren.
Hinwels
Die Ventilstellung "OFFEN" wird jeweils durch
eine leuchtende LEO angezeigt
a
a
"M-xx"
"J-xx"
a
51
- - - - -______--'--,--il
Die Bedienscha!ter (26/13) mOssen bairn Einklappen der Elektronik·Einheit (2513) immer in
Stellung .. AUTOMATIK" geschaltet werden.
Auf der alphanumerischen Status- und Fehleranzeige (26/1) wire! dam Servicepersonal bei
einem Fehler im UL 100 PLUS ein Fehlercode gemeldet, der die Wartung bzw. Instandsetzung wesentlich vereinfachl
~usatzlich lassen sich aile wichtigen Gerate-
und Ihrs Bedeutung 1m Elnzelnen:
VN11
VN11
VN11
spannungen an den Mef3stellen "TEST OUTPUTS" (26/3) prillen.
Ole Bezelchnung der Prii1buchsen (26/3)
neg. Versorgungsspannun9,
code.
stabilisiert = -11,5 bis -15,5 V
VP2
Versorgungsspannung,
unstabilisiert = 20,0 bis 30 V
interner Takt fOr MS-Versorgung
f • 68 kHz ±5 % (5 V's)
CP
lAP
Istwert-Anoden-Potential
VP2
CP
lAP
4,3 bis 4,9 V (Xl 00) fOr Masse 4
VP11
pas. Versorgungsspannung,
stabilislert ·11,5 bis 15,5 V
VP11
V02
Bezugsmasse fOr PrOfpotentiaie
V02
ISP
ISP
IKP
VP2
CP
lAP
VP11
V02
ISP
3.0 to 3.4 V (Xl00)
IKP
IKP
a
v
a
a
2.7.1 Statusanzeige
Die Bedeutung der Statusmeldungan:
"INIT"
"INIT"
"INIT"
Die Anzeige "INIT" erscheint nach dem Einschalten des UL 100 PLUS wah rend dar Injtialislerungsphase fOr 9inige Sekunden.
"Laufschrlft"
Nach dam Einschalten des UL 100 PLUS arscheint in der Statusanzeige (26/1) einmal
durchlaufend:
UL 100 PLUS VERSION·2.0
UL 100 PLUS VERSION-2.0
UL 100 PLUS VERSION·2.0
DATE-xx.xx.xx TIME-xx.xx.xx.
OATE·xx.xx.xx TIME-xx.xx.xx.
DATE-xx.xx.xx TIME-xx.xx.xx.
Accelerate, die Mikroprozessorsteuerung war·
tet nach der Initialisierung auf das Unlerschreiten das Vorvakuumdrucks unter 0,1
mbar sowie auf das Ende des Hochlaufs dar
Turbomolekularpumpe (63.000 min").
"VAC" und "SNIFF"
Der Ul 100 PLUS verlOgt grundsatzlich Ober
zwei Betriebsarten, die Vakuumlecksuche
"VAC" (siehe Abschnitt 2.4) und die SchnOffellecksucha "SNIF" (sieha Abschnitt 2.4.8).
Der UL 100 PLUS zeigt die gegebenanfalls
Ober den SchlOssel Nr. 6 gewahlte Betriebsart
wAhrend des Geratehochlaufes an. Wird der
SchlOssel Nr. 6 nicht aktiv, geht der Leeksucher automatisch in den Vakuumlecksuchbetrieb.
en
Hlnwels
Die einmal gewahlte Betriebsart "VAC" oder
"SNIFF" bleibt nach dam Ausschalten des
Garales emalten.
52
~------------------~----sind geschlossen, V2 ist geOffnet Die Turbomolekularpumpe 18uft mit (63.000 min-1 ).
"EVAC"
erscheint n8ch BetAtigsn der Taste "START"
(4/,24), bei vorangegangenem Lecksuchslatus
Stand-By ("STBY") oder Fluten ("VENT").
Die Ventila V2 und V3 sind geschlossen, V,
ist geOffnet.
Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosS8-
"MEAS"
erscheint n8ch dam Evakuieren ("EVAC"),
wenn dar Druck ain Einlal3 unter 0,2 mbar
oder im Teilstrombetrieb unter 100 mbar gesunken ist und die Leckrate auf der Bedienainhait angezeigt wird.
Die Ventile Vl und V2 sind geOffnet, V3 ist
geschlossen.
Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosse·
nem Teilstromventil gearbeitet, sind bei einem
Einlaf3-Druck von 100 mbar > PE > 0,2 mbar
Vl und' V3 geschlossen und V2, Vl.2 und
Vext ge6ffnel. Bei einem Einlaf3-Druck von PE
< 0,2 mbar sind Vl, V2 und Vext ge6ffnet,
V3 und Vl.2 sind geschlossen.
"VENT"
erscheint nach Fluten des EinlaBbereiches und
Verlassen des Lecksuchstatus "MEAS" durch
langes (> 2 5) Betatigen der Taste "STOP!
VENT" (4/2).
Die Ventile V2 und V3 sind ge6ffnet, Vl. Vl.2
und Vext ist geschlossen.
"CAL"
Cal erscheint beim kalibrieren.
2.7.2 Fehlermeldung
Die Bedeutung der Fehlermeldungen im ainzelnen:
"EROO"
Erscheint im Servicafeld in der Statusanzeige
die Anzeige "ERDO", liegt ein Systemfehler
var. In der Statusanzeige erscheint als st.!lndig
durchlaufender Text:
"STBY"
Stand-By,
Lecksuch-Bereitschaftsmeldung
des UL 100 PLUS: nach erfolgreicher Inbe~
triehnahme, nach Verlassen des LecksuchstaIus "MEAS" durch kurzes «2 s) Betatigen
der Taste "STOP I VENT" und nach behebbarem Fehlerzustand. Die Ventils V1 und V3
nem Teilstromventil gearbeitet, sind V1, V1.2
und V3 geschlossen und V2 'und V ext geoff-
net
ERDD
*
*
CODE-xx
LlNE·xxxxx
Zahlenwert von 1 bis 40
xxxxx Zahlenwert von 1 bis 32 767
xx
Durch einen Neustart kann es moglich sein,
daB sich dar Systemfehler automatisch be·
seitigt. Sollte der Systemfehler wiederholt auftreten, ist unbedingt der Service zu benachrichtigen.
EROO
xx
*
xxxxx
*
a
a
a
EROO
xx
xxxxx
*
*
CODE-xx
lINE-xxxxx
Value from 1 to 40
Value from 1 to 32 767
53
- die Ventilsteuerung arbeitet fehlerhaft
(siehe unler "CONT")
"ER06" "
Die Drehzahl der TMP 50 liegt unterhalb
63 000 min-1 (siehe unter "CaNT").
"ER07" "
Oer Offset des Elektrometerverstarkers ist
kleiner 15 mV. (siehe unter CONT).
"ERoe" •
Der Offset des Elektrometerverstarkers ist
grOBe'r 90 mV (siehe unter CaNT).
Normalerweise betragt der Offset ca. 50 mV
a
"ER09"
Die lonenquelle ist defekt (Bruch beider
Katoden) oder Fehler in der Massenspektrometer-Versorgung.
MERlO"
Die Fehlermeldung "ER 10" erscheint, bei etnem Fehlar im batteriegepufferten Speicher.
Die GrundeinsteHung wird durchgefOhrt.
Oiese Fehlermeldung wird nur in der Initialisierungsphase abwechselnd dutch "EA 10 1
INIT" angezeigt
"EA2l" •
WAhrend des Hochlaufes (SNIF) wird der
Einlal3druck (Pe) innerhalb von 2 min nach
Inbetriebnahme nicht erreicht
Fehlerursachen kOnnen sein:
- VakuumanschluB zwischen EinlaBflansch
und SchnOffler undicht
- SchnOffeUeitung undicht.
- Schnuffelspitze defekt
(siehe unter "CONT")
Nach Auftreten eines im StatuSlFehler-Display
angezeigten Fehlers, wechselt die Anzeige
periodisch zwischen der Fehlermeldung und
letzter Statusanzeige. Dabei blinkt die FehlerIndikator lED (4/20).
·CONT
"ER01" •
Es wurde sin Milerer Vorvakuumdruck a1s 0,4
mbar festgestellt, z.B. verursacht durch sine"
Lufteinbruch am PrOfling. Zurn Schutz der
lonenquelle hat sich die MassenspektrometerVersorgung
selbsttatig
abgeschaltet (siehe
unter "CONT").
"ER02"
Es wurds sin Fadenbruch an der Thermov8CMeBstelie EinfaB {Pel festgestellt
ruten),
"ER03"
Es wurds sin Fadenbruch an der ThermovacMeBstelle Vorvakuum (Pv) festgestellt (Service
rufen).
"EROS" "
WAhrend des Hochlaufes (" ACel Of) wird der
Vorvakuumdruck von Pv < 0,1 mbar innerhafb 3 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht
Fehlerursachen kOnnen sain:
- das Pumpmodul fehlt
- der Vorvakuumbereich einschUeBlich Vakuumkupplung entMlt ein grobes Leck
- 'die Vorvakuumpumpe 1M nicht an oder
srreicht die Nenndrehzahl nicht
E~scheint
54
nach Beseitigung des Fehlars im
on.
a
S.A.V.).
"EROS" •
a
mm ________~---------------Status-Display die Meldung "CONT" 1m
Wechsel mit der letzten 'Fehlermeldung, so
kann der UL 100 PLUS durch ein- oder zweimaliges kurzes Beta-ligen der Taste "START"
(4/24) 2um Weiterarbeiten gebracht werden.
Anschliel3end befindat sich der UL 100 PLUS
nach ggf. notigem Hochlauf im Stand-ByLecksuchmodus ("STBY").
2.7.3 Abgleich der Massenpositlon
Urn die maximale Empfindlichkeit und Slabilit8.t
zu ,erreichen, muB das Massenspektrometer
des' 'UL 100 PLUS auf die richtige Massen-
position abgeglichen werden.
Der UL 100 PLUS wird werksseitig auf M2
und M4 abgeglichen und eingestellt auf Masse
4 ausgeliefert.
Ein Abgleich ist nur fOr Masse 3 notwendig,
Kalibrierung OberprOft werden ( Abschnitl2.6).
Der Abgleich kann nur durchgefOhrt werden,
wenn das entsprechende Gas eingelassen
wird. FOr Masse 2 und 3 ist es notwendig, ein
H2 -Testleck (zum Beispiel TL 4 - 6, Kat- Nr.
155 80) mit Wasserstoff-Druckgasflasche am
EinlaB des Lecksuchers anzuschlieBen. Fur
Masse 4 kann ein extemes Heliumtestleck
oder (falls vorhanden) das interne Test/eck
verwendet werden.
Der Abgleich erfolgt fUr aile Massen wie folgt:
- Testleck am EinlaB anschlie/3en und Taste
"START" (4/24) drOcken, um in den
MEAS-Zustand zu gelangen.
- Umschalter (26/") am Servicefeld auf
gewOnschte Masse steiten.
- Potentiometer (26112) far die gewOnschte
Masse mil Schraubendreher so einstellen,
daB maxi'male Anzeige erscheint (die Anzeige muB dann bel Verstellung des Potis in
beiden Richtungen kleiner werden!).
- AnschlieBend Testleck schliel3en und OberprOfen, daB die Anzeige zUrUckgeht (es dart
bei Masse 2 und 3 eine Restanzeige
aufgrund des relativ hohen natOrlichen
Untergrundes bzw. Partialdruckes bleiben,
bei Masse 4 muB die Null-Indikator LED
(4/21) leuchten).
fOr Masse 2 und 4 sollte der Abgleich bel der
a
a
a
55
3
Entretlen
Maintenance .Schedule
3.1
Wartung
3
3.1 Wartungsplan
3
3.1
Die Wartung am UL '00 PLUS ist bel BOOarf
durchzufUhren. Sie beschrtinkt sich im a1lgemeinen auf das Wachseln des Ols in der Vcrvakuumpumpe sowie auf das Wechseln der
Note
lonenquelle.
Hinwels
FOr Aul3entemperaturen von
ca. + 10
°C bis
kleiner 18°C sollte die Drehschieberpumpe 0
1.6 8 mit Arctic-OJ gefOllt werden. Nur dann
ist bei diesen Temperaturen ein problemloser
(Ieichter) Anlauf m()glich.
a
a
a
3.2 Wartungsarbelten
3.2.1 Vorpumpe TRIVAC 0 1.6 B
3.2.1 Backing Pump TRIVAC D 1,6 B
3.2.1 Pompa
a vide prlmalre TRIVAC
01,6B
FOr aile Wartungsarbeiten der Drehschieber-
GA 01.200 verwiesen•.
3.2.2 Turbo-Molekularpumpe
3.2.2 Turbo-MoleCular Pump
3.2.2 Pompa turbomoleculalre
Vakuumpumpe TRIVAC 0 1.6 B wird auf die
TURBOVAC50
Die im UL 100 PLUS eingebaule Turbo·Molekularpumpe TURBOVAC 50 ist wartungsfrei.
TURBOVAC50
werden.
3.2.3 Luttfllter wechseln
- UL 100 PLUS ausschalten.
- Netzstecker vern Ger4t abziehen.
Aile Daten und Angaben kOnnen der Gebrauchsanweisung GA 05.100 entnommen
Ii vide rotative Ii palettes TRIVAC 0 1,6 B.
Hlnwels
Note
Der Luftfilter befindat sich hinter der Seitanwand uber dem eleklrischen AnschluBfeld.
- Beide Schnellverschlusse (28/1) mit einem
Schraubendreher durch eine Unksdrehung
entriegeln (Knackgerausch hOmar).
- Seitenwand (28/2) am unteren Ende yom
UL 100 PLUS abziehen und vorsichtig nach
TUROBOVAC 50
a
a
Erlliuterungen zur Abb. 27
,
OlablaBschraubo
2
01standsmarka, minimum
3
5
01sland
Olslandsmarks, max/mum
Abdeckung, OralnlaBschrauba
8
Tragegrllf
4
6----
5 -_ _ __
011 level
4
Maximum 011 level mark
Cover, olllllling plug
Handle
5
. 8
4_-,-__
011 draIn plug
MinImum 011 level mark
3
1
2
6
Poignee
2-----:
Abb.27 ClablaBschraube und Olstandsschauglas
AbblFlg, 27
56
mm __________________________
El1iuterungen zur Abb. 28
, SchnellverschlUssa
2
3
"
Seltenwand
Luftfllter
Anset:;: fOr Luflrohr
Abb.28 fmnen der rachlen Sellenwend
Fig. 28 Opening the rlghl·hend side
Fig. 28 Ouvorluro do la parollalerale droile
2
Side
3
"
Legende de Ie fig. 28
1 Verrous rapldes
2
3
"
Parol laterale
Filtre a air
Piece du tube a air
AbbJFlg.28
unten ziehen. Hierbei schiebt srch gleich-
zeitig dar Ansatz (2B14) mit Luftrohr aus dar
FOhrungsschiene, die fest an dar Saitanwand montiert ist.
- Erdverbindung an dar Seitenwand abziehen.
- Luftfilter (2813) aus dar FOhrungsschiene dar
Seitenwand herausziehen. Dar Luftfilter besteht aus einem MetaJlgitter mit aufgeklebter
Filterwatte.
- Luftfitter wechseln.
a
~
Elnbau
Montage
- Dar neue Luftfilter in die srate FQhrungssehiens (die dar Seitenwand am n6chsten
~
- SchnellverschlOsse schlisBen.
3.2.4 Wechsel der lonenquelle
Benotigtes Werkzeug:
Schraubendreher 1,0 x 5,5r:nm
InnensechskantschlOssel SW4
UL 100 PLUS ausschalten.
Meltre UL 100 PLUS hors circuit
Netzstecker vom Gerat abziehen:
Seitenwand Ober dem elektrischen AnschluBreid wie im Abschnitt 3.2.3 beschrieben abnehmen.
ist) einschieben.
- Erdleitung an den Stecker dar Seitenwand
aufstBcken.
Remplacer Ie filtre.
•
- Seitenwand so ansetzen, daB dar Ansatz .
(28/4) mit Luftrohr in die verbleibende
FOhrungsnut hinter dem Luftfilter einrastel
- Seitenwand vorsichtig nach oben schieben
und in den Gehauserahmen einlegen.
a
~
a
a
Erlauterungen zur Abb. 29
~ ~;~:!~~~~[,~~~t~::~E~$&zessorversorgung
3
4
5
e
7
e
Vier Innensechskantschrauben
lonenquelle
SlacleVerblndung
Oberwurlmutlar
Gewinde fllr Abdrllckschrauba
Flensch
3
4
5
6
7
8
AbbJFig.29
57
___________________________ mm
Oberwurfmutter (29/6) IOsan und die Steckverb'lndung (29/5) von dar lonenquelle (29/4)
abziehen.
Vier Innensechskantschrauben (29/3) 8USschrauben und den Aluminiumflansch abnehmen. Eine Innensechskantschrauba (2913) in
das Abdruckgewinde (29n) dar lonenquelle
(29/4) einschrauben und so den Flansch
lonenquelle (2!)/4) aus dam Massanspektrometergehaus8 (29/2) herausnehmen.
Hlnwels
Zwischen dam Flansch dar lonenquelle (29/8)
und dam Massenspektrometergehause (29/2)
befindet sich eine Kunststoff-Flachdichtung,
die bei Beschadigung oder Verschmutzung
gegen sine neue Dichtung zu wachseln ist.
Aile Teite auf einwandfreien Zustand prOfen.
Dar Einbau eriolgt sinngemAB in umgekehrter
Reihenfotge.
Hlnwels
Die vier Innensechskantschrauben (2913)
mOssen beim Einbau der lonenquelle aberkreuz angezogen werden.
3.3 Softwareumriistung fiir
Softwareverslonen ab V 2.0
3.3
3.3
3.3.1 Identl11katlon der Software des
(29/8) dar lonenquelle vern Massenspektro-
a
a
metergeMuse (29/2), abdrOcken.
a
3.3.1 Identification du logiciel de
Zur Identifikation der im UL 100 PLUS implementierten Software-Version die ElektronikEinheit Offnen, wie in der Gebrauchsanweisung des UL 100 PLUS im Abschnftt 2.7 beschrieben, um die alphanumerische StatusAnzeige beobachten zu kOnnen. Nach dem
Einschatten des UL 100 PLUS (ggf. vomer
ausschalten) erscheint als erste Statusmeldung die Versionsnummer in der Form "V2.x"
(z.B. "V2.0").
3.3.2 Ausbau der Mlkrocomputerlelterkane
- UL100 ausschalten und von der Netz$pannung trennen.
- Evtl. vomandenen PrOfling entfemen.
- Bedieneinheit vom Lecksuchmodul abnehmen.
- SchnerrverschlOsse (3013) der rechten Sei·
w
Ie
a
Erliuterungen zur Abb. 30
1
2
3
4
Abdeckhaube
Innensechskanlschraube
SchnellverschluB
Rechle $eilenwand
Ulgende de la fig. 30
Abb.1 Fig. 30
58
1
Capot
2
3
4
Farmeture raplde
Parol laterale
Abb.30 (Jffnen des UL 100 PLUS zum Ausbau dar
Mikrocomputerplallne
Fig. SO Opening the UL 100 PLUS lor acces,lng the
microprocessor pcb.
FIg. 30 Ouverte de la parollaterale pour demonter la
carte mlcroproces,eur
a.
mm ______~-----------------tenwand (30/4) Offnsn und Seitenwand antfemen.
- 2 Innensechskantschrauben (30/2) mit
5 mm SchlOssel entfemen.
- Abcleckhaube (30/1) des Lecksuchmoduls in
Langs-lTestanschluBrichtung ca. 20 mm verschieben.
- Abcieckhaube ca. 30 mm anheben.
- Abdeckhaube waiter in Ungsrichtung ver5chieben und in den Nuten eingeschobene
MikrocomputerJeiterkarte vorsichtig herausgleitan lassen. bis die Abdeckhaube entfernt
werden kann.
'
• Die Mikrocomputerleiterkarte vorsichtig umdrehen, urn die Bauteileseite erreichen zu
kOnnen.
roi laterale (3014).
a.
a
a
sants.
3.3.3 Austausch der Programm-EPROMs
BenOtigtes Werkzeug und Material~
- Innensechskant-SchlOsseJ 5 mm
• Flachschraubendreher mit 5 mm Klingen-
breite
- IC-Auszieher oder Flachschraubendreher mit
3 mm Klingenbreite o. abgewinkelte Pinzette
- 8atz (bestehend 8US zwei) EPROMs mit
neuer Softwareversion.
Vorgehenswelse
UL 100 PLUS. wie in Abschnitt 3.3.2. beschrieben, Offnen.
Mit Hilte eines speziellen IC-Auszieher oder
einer abgewinkelten Pinzette, sind nun die beiden EPROM-Bausteine (31/4) und (31/5) vorsichtig aus der- Fassung herauszuhebeln (Abb.
25
bzw.
BestOckungszeichnung
"CPU
a
SIMO'", Nr. 200 27 290).
SIMO'", No. 200 27 290)•.
SIMO'", no. 200 27 290).
Oas 1. EPROM (31/5) der neuen SoftwareVersion mit der Bezeichnung 8 4.3 R2.x ist in
Position 014, unmittelbar neben dem Mikroprozessor (013, TMS 9995) in der gleichen
Richtung wie dieser (die stimseitige Kerbe
(31/8) muB in die gleiche Richtung zeigen)
einzustecken.
Erliuterungen zur Abb. 31
1 Mlkrocomputorloltorkarle
2 Slecker X4
3 Stecker X3
4 (015)Vx.xx
5 (014) 84. Vx.)(l(
6 SteckorX1
7 SleckorX1.1
8 Auslausch·EPROM's
2
4
5
6
7
a
3
_ _ _ _- 4
(015) Vx.xx
(OI4) 84. Vx.xx:
Plug XI
Plug XU
EPROM's
-----5
>-_ _ _ _ 6
Abb. 3t
Fig. 3t
Ag. 31
a
----7
a
AbbJFig.31
59
Die Mikrocomputer[eiterkarte ist wieder in die
Fuhrungsnuten der Abcleckhaube (3011) einzuschieben. MOglicherwaise 1st der PerlinaxAbstandsstreifen herausgefaJlen und muB in
diesem Fall zuersl, var der Mikrocomputerleiterkarte in die gleichen FOhrungsschlitze
eingeschoben werden.
Bavor die Abcleckhauba wieder vollstandig auf
die geschlitzten FOhrungsbolzen aufgesetzt
wird, noah alnma! aile Steckvorrichtungen auf
korrekten Sitz prOfsn.
Die Abdeckhaube ist mit Btwas Kraft in Richtung rachter Seitenwand in die Ursprungslage
zurQckzuschieben.
Die zwei Innensechskantschrauben (30/2) sind
wieder einzuschrauben und mit dam
5 mm Schlussel fest anzudrehen.
Rachte Seitenwand wieder anbringen.
Remonter la paroi laterals.
Zurn Test der erfolgreichen Installation der
neuen Software-VerSion ist der Ul100 wie
gewohnt in Betrieb zu nehmen. Es sollte zunachst festgestelft werden, ob in der Statusanzeige die richtige Software-Version angezeigt
wird. Nach Erreichen des "STBY"·Zustands
mOssen die Funktionen entsprachend Abschnitt 2 ausfOhrbar saln.
Die altan Programm-EPROMs bitta an LEYBOLD AG in 5000 KOln- 51, Postfach 510
760, Abt APE 22 zurQcksenden.
Das 2. EPROM (31/4) der neuen SoftwareVersion mit der Bezeichnung R2.x ist in Position 015 in der gleichen Richtung wie 014
einzustecken.
3.3.4 Elnbau der
Mlkrocomputerlelter~
karte
Die Mikrocorriputerleiterkarte ist in die Ausgangsla'ge (Bauteile nach unten) zu drehen.
a
01r0 executahlos.
Oer Statusreport gibt im Servicefall wichtige
Informationsn Ober den internen Zustand des
Ul10a PLUS. Oer Statusreport ist jedach nur
tiber die RS 232-C-Schnittstelle auslasbar.
Siehe hierzu die Schnittstellenbeschreibung
5810.207.
Allgemeine Hlnwelse
Eine Anderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behaJten wir uns vcr. Die
Abbildungen sind unverbindlich.
LEYBOLO AG '. Bonner StraBe 498 . Postfach 51 0760 . 0-5000 Katn 51 . Telefon (0221) 347-0 . Telefax (0221) 347-12 50 • Telex 888481-20 Ih d
OFS 2,0-3-93
60